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申请/专利权人：上海普达特半导体设备有限公司
摘要：本发明提供一种喷液管调节总成，包括管道活动腔、第一轴孔和第二轴孔、有第一固定结构的第一球关节结构、有第二固定结构的第二球关节结构和喷液管；喷液管贯穿管道活动腔销轴连接第一轴孔和第二轴孔，喷液管对应第一轴孔和第二轴孔的位置分别有第一球关节和第二球关节，第一固定结构和第二固定结构分别控制对应球关节在对应轴孔内无法活动；第一球关节和第二球关节转动实现喷液管位置调整。本发明设置球关节结构，可直接手动调节喷液管至合适位置后固定，可用于不同类型晶圆清洗，并提高喷液精度，降低更换成本；另外通过升降螺钉控制球关节高度提高喷液管位置精度；最后可变形的连通管使喷液管可伸缩调节，提高喷液管位置调节自由度。
主权项：1.一种喷液管调节总成，其特征在于，所述喷液管调节总成包括：固定框架、第一球关节结构、第二球关节结构和活动管道；所述固定框架内包括管道活动腔、第一轴孔和第二轴孔，所述管道活动腔连通所述第一轴孔和所述第二轴孔；所述第一球关节结构包括第一固定结构，所述第二球关节结构包括第二固定结构；所述活动管道包括喷液管，所述喷液管贯穿所述管道活动腔并销轴连接在所述第一轴孔和所述第二轴孔中，所述喷液管的出液口的一端从所述管道活动腔伸出；所述喷液管的外壁对应所述第一轴孔的位置存在第一球关节，所述第一球关节位于所述第一轴孔内并可在所述第一轴孔内滚动，所述第一固定结构可控制所述第一球关节在所述第一轴孔内无法活动；所述喷液管的外壁对应所述第二轴孔的位置存在第二球关节，所述第二球关节位于所述第二轴孔内并可在所述第二轴孔内滚动，所述第二固定结构可控制所述第二球关节在所述第二轴孔内无法活动；所述管道活动腔的内径按预设分布设置，所述喷液管可在所述管道活动腔内通过所述第一球关节和所述第二球关节的滚动而转动，以调整所述喷液管的出液口的一端的位置。
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权利要求：
百度查询： 上海普达特半导体设备有限公司 一种喷液管调节总成
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