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申请/专利权人：河北中科微电子有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多工位圆晶甩干机，包括甩干箱，所述甩干箱底侧壁上固定连接有多个支撑腿，所述甩干箱的底侧壁上固定连接有机箱，所述机箱内固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有主动杆，所述主动杆贯穿甩干箱的底侧壁，所述主动杆上固定连接有第一斜齿轮，所述第一斜齿轮的侧壁上啮合连接有多个第二斜齿轮，每个所述第二斜齿轮的侧壁上固定连接有转动杆，每个所述转动杆上转动连接有支撑板，每个所述支撑板固定连接在甩干箱的内底侧壁上。本实用新型通过设置主动杆、第一斜齿轮、第二斜齿轮、转动杆、第三斜齿轮、第四斜齿轮、从动杆等部件相互配合，可同时对多个晶圆片进行甩干，提高了晶圆片的甩干效率。
主权项：1.一种多工位圆晶甩干机，包括甩干箱17，其特征在于，所述甩干箱17底侧壁上固定连接有多个支撑腿2，所述甩干箱17的底侧壁上固定连接有机箱10，所述机箱10内固定连接有电机9，所述电机9的输出轴固定连接有主动杆15，所述主动杆15贯穿甩干箱17的底侧壁，所述主动杆15上固定连接有第一斜齿轮16，所述第一斜齿轮16的侧壁上啮合连接有多个第二斜齿轮8，每个所述第二斜齿轮8的侧壁上固定连接有转动杆7，每个所述转动杆7上转动连接有支撑板6，每个所述支撑板6固定连接在甩干箱17的内底侧壁上，每个所述转动杆7的一端固定连接有第三斜齿轮5，每个所述第三斜齿轮5的侧壁上啮合连接有第四斜齿轮3，每个所述第四斜齿轮3的侧壁上贯穿并固定连接有从动杆4，每个所述从动杆4的底端转动连接在甩干箱17的内部底侧壁上，所述主动杆15和多个从动杆4的上端均固定连接有转盘12，每个所述转盘12上设有圆晶固定装置。
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权利要求：
百度查询： 河北中科微电子有限公司 一种多工位圆晶甩干机
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