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申请/专利权人：江阴市州禾电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供的一种防止晶圆装反的芯片装片用工作台，包括工作台本体和环形架体；工作台本体的中间局域具有圆形通孔；环形架体可拆卸式固定在工作台本体上，且与工作台本体共用同一轴线；环形架体从内圈到外圈依次分为平面区和斜面区；平面区的上表面具有仿形槽，仿形槽与晶圆环的形状相适配；仿形槽的底部靠近其外侧内壁上竖直设有一定位螺丝。本实用新型有效防止晶圆装反，确保后续装片机的工作效率。
主权项：1.一种防止晶圆装反的芯片装片用工作台，其特征在于，包括工作台本体和环形架体；所述工作台本体的中间局域具有圆形通孔；所述环形架体可拆卸式固定在所述工作台本体上，且与所述工作台本体共用同一轴线；所述环形架体从内圈到外圈依次分为平面区和斜面区；所述平面区的上表面具有仿形槽，所述仿形槽与晶圆环的形状相适配；所述仿形槽的底部靠近其外侧内壁上竖直设有一定位螺丝。
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百度查询： 江阴市州禾电子科技有限公司 一种防止晶圆装反的芯片装片用工作台
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