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碳化硅粉料石墨加热装置 

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申请/专利权人:郑州鬃晶科技有限公司

摘要:本实用新型涉及石墨加热领域,具体涉及一种碳化硅粉料石墨加热装置。包括箱体、下加热器、箱盖和上加热器,下加热器和上加热器的相对位置可根据加热情况需要进行微调,通过箱体与下加热器的协同配合以及上加热器与箱盖的协同配合共同完成对坩埚内石墨粉的加热。本实用新型安装拆卸方便,在一定程度上提高了石墨加热器的加热效果。

主权项:1.一种碳化硅粉料石墨加热装置,其特征在于,包括:箱体;下加热器,由石墨材质构成,为可拆卸结构,其固定于箱体内;箱盖,匹配设置于箱体上部;上加热器,由石墨材质构成,为可拆卸结构,其固定于箱盖内;下加热器包括:主加热器;侧加热器一,固定于主加热器一侧;侧加热器二,固定于主加热器另一侧,侧加热器二与侧加热器一对称设置;主加热器包括:电极一,一端穿入至箱体内,且电极一固定于箱体一侧;左加热板,一端与左加热板上部固定连接;连接件一,与左加热板可拆卸连接;底板,一侧与连接件一固定连接;连接件二,一侧与底板另一侧固定连接,连接件二的结构与连接件一的结构一致;右加热板,底部与连接件二可拆卸连接;电极二,一端与右加热板上部固定连接;底板平放于左加热板和右加热板之间,底板一侧通过连接件一与左加热板可拆卸连接,底板另一侧通过连接件二与右加热板可拆卸连接;左加热板下端开设插槽,插槽从左加热板的前端延伸至后端。

全文数据:

权利要求:

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