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申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属于多区域精确控温设备技术领域，具体公开了一种多区控温装置，包括框架、铜均温板、铜软连接件、半导体制冷器、温控装置、继电器和电源模块，所述框架内部设有芯片发热区，铜均温板、半导体制冷器和水冷板均设置在芯片发热区侧边，铜均温板通过铜软连接件与半导体制冷器连接；所述温控装置包括传感器、比较器、控制器、执行器，铜均温板通过铜软连接件与传感器连接，传感器、比较器、控制器、执行器依次电性连接，继电器分别与执行器、电源模块、半导体制冷器之间采用电性连接；通过传感器测量温度，并将其转换为电信号，利用比较器产生误差信号，然后利用控制器接收误差信号，并计算出控制信号，然后通过执行器控制继电器工作占空比。
主权项：1.一种多区控温装置，其特征在于：包括框架1、铜均温板2、铜软连接件10、半导体制冷器3、温控装置5、继电器12和电源模块11，所述框架1内部设有芯片发热区，铜均温板2、半导体制冷器3和水冷板4均设置在芯片发热区上，铜均温板2上均匀设置有多个芯片主体17，铜均温板2通过铜软连接件10与半导体制冷器3连接；所述温控装置5包括传感器13、比较器14、控制器15、执行器16，铜软连接件10与传感器13连接，并且传感器13、比较器14、控制器15、执行器16依次电性连接，继电器12分别与执行器16、电源模块11、半导体制冷器3之间采用电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 一种多区控温装置
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