买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：东京应化工业株式会社

摘要：本发明涉及氢阻隔剂、氢阻隔膜形成用组合物、氢阻隔膜、氢阻隔膜的制造方法、及电子元件。本发明的课题在于提供能向各种材料赋予氢阻隔性能的氢阻隔剂、包含该氢阻隔剂的氢阻隔膜形成用组合物、包含前述的氢阻隔剂的氢阻隔膜、使用了前述的氢阻隔膜形成用组合物的氢阻隔膜的制造方法、和具备氢阻隔膜的电子元件。使用具有咪唑基的特定结构的盐化合物作为氢阻隔剂。另外，将前述的氢阻隔剂配合至基材成分中，制备氢阻隔膜形成用组合物。进而，使用前述的氢阻隔膜形成用组合物，形成氢阻隔膜。

主权项：1.氢阻隔剂，其包含下式1-1表示的化合物， 式1-1中，Xm+表示m价的抗衡阳离子，所述抗衡阳离子为非环式或环式的含氮脂肪族阳离子或者含氮芳香族阳离子，所述非环式或环式的含氮脂肪族阳离子包含下述式4表示的阳离子，所述含氮芳香族阳离子包含下述式5～10中任一式表示的阳离子，R2表示不具有取代基的亚甲基，R3表示卤素原子、羟基、巯基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、碳原子数为1以上且8以下的直链状或支链状的烷基、苯基或萘基，m表示1，n表示0以上且3以下的整数，R4、R5、R6、R7及R8各自独立地为氢原子、卤素原子、羟基、巯基、甲硅烷基、硅烷醇基、碳原子数为1以上且12以下的烷氧基、硝基、亚硝基、碳原子数为1以上且12以下的烷基、或碳原子数为1以上且12以下的芳基，其中，R4、R5、R6、R7及R8中的至少1个为氢原子以外的基团，R4、R5、R6、R7及R8中的至少2个可以键合而形成环状结构， 式4中，R31各自独立地表示氢原子，s表示2以上且6以下的整数； 式5～10中，RH各自独立地表示氢原子或烷基，R41、R43、R45、R46、R47及R48各自独立地表示氢原子、卤素原子、氰基、硝基、碳原子数为1以上且20以下的直链状或支链状的烷基、碳原子数为5以上且30以下的环烷基、碳原子数为2以上且10以下的链烯基、或碳原子数为2以上且10以下的炔基，R42、R44及R49各自独立地表示氢原子、卤素原子、碳原子数为1以上且20以下的直链状或支链状的烷基、碳原子数为5以上且30以下的环烷基、碳原子数为2以上且10以下的链烯基、或碳原子数为2以上且10以下的炔基，R41～R49各自独立地可以被卤素原子、氰基或硝基取代，R41及R42可以相互键合而形成环，至少2个R41可以相互键合而形成环，R43及R44可以相互键合而形成环，2个R43可以相互键合而形成环，至少2个R45可以相互键合而形成环，至少2个R46可以相互键合而形成环，至少2个R47可以相互键合而形成环，R48及R49可以相互键合而形成环，至少2个R48可以相互键合而形成环。

全文数据：氢阻隔剂、氢阻隔膜形成用组合物、氢阻隔膜、氢阻隔膜的制造方法、及电子元件技术领域本发明涉及氢阻隔剂、氢阻隔膜形成用组合物、氢阻隔膜、氢阻隔膜的制造方法、及电子元件。背景技术一直以来，在各种电子元件中，形成了各种功能性膜。电子元件中，伴随着导电性有机材料、有机半导体的开发的进行，有机电子元件的开发已有进展。作为所述有机电子元件的代表例，可举出有机EL元件。电子元件为有机EL元件时，作为功能性膜，可举出例如钝化膜、透明电极膜、透明绝缘层、平坦化膜、有机发光膜、保护膜等。对于电子元件而言，如有机EL元件那样，为了驱动元件，常常具备TFT。另外，电子元件也常常具备由铜等金属形成的布线。此处，对于TFT而言，可能由于因与氢气的接触而发生的还原反应从而导致功能受损，关于金属布线，也可能由于基于氢气的还原从而导致电特性发生变化。另一方面，电子元件中的功能性膜的材料中，有因材料的制造方法而释放氢气的材料。例如，对于作为钝化膜的材料使用的SiN等而言，有时因其制造方法而内含氨气。因此，有时由SiN产生因氨的分解而生成的氢气。如上所述，对于有机EL元件等电子元件而言，有时由于在内部产生氢，从而导致TFT、金属布线等构件受到不良影响。由于上述问题，例如，提出了在有机场致发光元件有机EL元件中包含金属薄膜作为氢吸收物质的方法参见专利文献1。。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-79755号公报发明内容发明所要解决的课题然而，对于专利文献1中记载的方法而言，难以应用于要求透明性的位置，而且在电子元件的制造方法中增加了包含氢吸收物质的工序，电子元件的制造工序变得复杂，还成为电子元件的制造成本上升的重要原因。因此，要求通过配合在电子元件原本具备的功能层中从而能向功能层赋予氢阻隔性的氢阻隔剂、使用该氢阻隔剂形成的氢阻隔膜。本发明是鉴于上述课题而作出的，目的在于提供：能向各种材料赋予氢阻隔性能的氢阻隔剂、包含该氢阻隔剂的氢阻隔膜形成用组合物、包含前述的氢阻隔剂的氢阻隔膜、使用了前述的氢阻隔膜形成用组合物的氢阻隔膜的制造方法、和具备氢阻隔膜的电子元件。用于解决课题的手段本申请的发明人发现，通过使用具有咪唑基的特定结构的盐化合物作为氢阻隔剂、将前述的氢阻隔剂配合在基材成分中来制备氢阻隔膜形成用组合物、以及使用前述的氢阻隔膜形成用组合物来形成氢阻隔膜，能解决上述课题，从而完成了本发明。具体而言，本发明提供以下的方案。需要说明的是，所谓的作为本发明的“氢阻隔”性能的对象的“氢”，是指H2分子、H自由基、H+质子的各种成分及由各个成分的组合形成的全部混合成分这两方。本发明的第1方式为氢阻隔剂，其包含下式1表示的化合物。[化学式1]式1中，Xm+表示m价的抗衡阳离子，R1表示可以具有取代基的芳香族基团，R2表示可以具有取代基的亚烷基，R3表示卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸酯基、膦基phosphinogroup、氧膦基phosphinylgroup、膦酸酯基、或有机基团，m表示1以上的整数，n表示0以上且3以下的整数，R2可以与R1键合而形成环状结构。本发明的第2方式为氢阻隔膜形成用组合物，其包含基材成分A和第1方式涉及的氢阻隔剂B。本发明的第3方式为氢阻隔膜，其包含第1方式涉及的氢阻隔剂。本发明的第4方式为氢阻隔膜，其是由第2方式涉及的氢阻隔膜形成用组合物的固化物形成的，其中，基材成分A包含碱溶性树脂A1、和光聚合性化合物A2，所述氢阻隔膜形成用组合物还包含光聚合引发剂C。本发明的第5方式为氢阻隔膜的制造方法，其包括下述步骤：将第2方式涉及的氢阻隔膜形成用组合物涂布于基板上而形成涂布膜的步骤，其中，基材成分A包含碱溶性树脂A1、和光聚合性化合物A2，所述氢阻隔膜形成用组合物还包含光聚合引发剂C；和对涂布膜进行曝光的步骤。本发明的第6方式是电子元件，其包含钝化膜、和第3方式或第4方式涉及的氢阻隔膜。发明的效果通过本发明，可提供能向各种材料赋予氢阻隔性能的氢阻隔剂、包含该氢阻隔剂的氢阻隔膜形成用组合物、包含前述的氢阻隔剂的氢阻隔膜、使用了前述的氢阻隔膜形成用组合物的氢阻隔膜的制造方法、和具备氢阻隔膜的电子元件。具体实施方式《氢阻隔剂》氢阻隔剂包含下式1表示的化合物。氢阻隔剂通过被配置在各种材料中从而向各种物品赋予氢阻隔性。[化学式2]式1中，Xm+表示m价的抗衡阳离子，R1表示可以具有取代基的芳香族基团，R2表示可以具有取代基的亚烷基，R3表示卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酸酯基、或有机基团，m表示1以上的整数，n表示0以上且3以下的整数，R2可以与R1键合而形成环状结构。m价的抗衡阳离子Xm+优选为非环式或环式的含氮脂肪族阳离子、含氮芳香族阳离子或金属阳离子。m优选为1以上且3以下的整数，更优选为1或2，进一步优选为1。作为上述环式的含氮脂肪族阳离子，作为构成环的原子，可包含氮原子以外的杂原子例如，氧原子、硫原子等。作为上述非环式或环式的含氮脂肪族阳离子，优选下述式2～4中任一式表示的阳离子。[化学式3]式2中，R11～R14各自独立地表示氢原子、可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的环烷基、可以具有取代基的链烯基、可以具有取代基的炔基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的芳烷基、或可以具有取代基的杂环基，选自R11～R14中的至少2个可以连接而形成环。式2中，作为可以具有取代基的烷基，优选碳原子数为1以上且30以下的烷基。作为可以具有取代基的烷基的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、正丁基、正己基、正辛基、正癸基、正十二烷基、正十八烷基、异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、1-乙基戊基、三氟甲基、2-乙基己基、苯甲酰甲基、1-萘甲酰基甲基、2-萘甲酰基甲基、4-甲基硫烷基苯甲酰甲基、4-苯基硫烷基苯甲酰甲基、4-二甲基氨基苯甲酰甲基、4-氰基苯甲酰甲基、4-甲基苯甲酰甲基、2-甲基苯甲酰甲基、3-氟苯甲酰甲基、3-三氟甲基苯甲酰甲基、及3-硝基苯甲酰甲基等。作为可以具有取代基的环烷基，优选碳原子数为5以上且30以下的环烷基。作为可以具有取代基的环烷基的具体例，可举出环戊基、及环己基等。作为可以具有取代基的链烯基，优选碳原子数为2以上且10以下的链烯基。作为可以具有取代基的链烯基的具体例，可举出乙烯基、烯丙基、及苯乙烯基等。作为可以具有取代基的炔基，优选碳原子数为2以上且10以下的炔基。作为可以具有取代基的炔基的具体例，可举出乙炔基、丙炔基、及炔丙基等。作为可以具有取代基的芳基，优选碳原子数为6以上且30以下的芳基。作为可以具有取代基的芳基的具体例，可举出苯基、联苯基、1-萘基、2-萘基、9-蒽基、9-菲基、1-芘基、5-并四苯基、1-茚基、2-薁基、9-芴基、三联苯基、四联苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、二甲苯基、邻异丙苯基、间异丙苯基、对异丙苯基、均三甲苯基、戊搭烯基、联萘基、三联萘基、四联萘基、庚搭烯基、联苯烯基、引达省基、荧蒽基、苊烯基、醋蒽烯基、非那烯基phenalenyl、芴基、蒽基、联蒽基、三联蒽基、四联蒽基、蒽醌基、菲基、三亚苯基、芘基、蔗基、并四苯基、七曜烯基、苉基picenyl、苝基、五联苯基pentaphenyl、戊省基、四伸苯基、六联苯基、己省基、玉红省基、晕苯基、联三萘基、七联苯基、庚省基、及皮蒽基、卵苯基等。作为可以具有取代基的芳烷基，优选碳原子数为7以上且20以下的芳烷基，可举出例如苄基、苯乙基、α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-α-萘基乙基、及2-β-萘基乙基等。作为可以具有取代基的杂环基，优选包含氮原子、氧原子、硫原子、磷原子的芳香族或脂肪族的杂环。作为杂环的具体例，可举出噻吩基、苯并[b]噻吩基、萘并[2，3-b]噻吩基、噻蒽基、呋喃基、吡喃基、异苯并呋喃基、色烯基、呫吨基、吩噁噻基、2H-吡咯基、吡咯基、咪唑基、吡唑基、吡啶基、吡嗪基、嘧啶基、哒嗪基、吲哚嗪基、异吲哚基、3H-吲哚基、吲哚基、1H-吲唑基、嘌呤基、4H-喹嗪基、异喹啉基、喹啉基、酞嗪基、萘啶基、喹喔啉基、喹唑啉基、噌啉基、蝶啶基、4aH-咔唑基、咔唑基、β-咔啉基、菲啶基、吖啶基、白啶基、菲咯啉基、吩嗪基、吩砒嗪基、异噻唑基、吩噻嗪基、异噁唑基、呋咱基、吩噁嗪基、异色满基、色满基、吡咯烷基、吡咯啉基、咪唑烷基、咪唑啉基、吡唑烷基、吡唑啉基、哌啶基、哌嗪基、二氢吲哚基、异二氢吲哚基、奎宁环基、吗啉基、及噻吨酮基等。此外，前述的可以具有取代基的烷基、可以具有取代基的环烷基、可以具有取代基的链烯基、可以具有取代基的炔基、可以具有取代基的芳基、可以具有取代基的芳烷基、或可以具有取代基的杂环基的氢原子可以进一步被其他取代基取代。作为这样的取代基，可举出氟原子、氯原子、溴原子、及碘原子等卤素原子；氰基；硝基；甲氧基、乙氧基、及叔丁氧基等烷氧基；苯氧基、及对甲苯基氧基等芳基氧基；乙酰氧基、丙酰基氧基、及苯甲酰基氧基等酰基氧基；甲氧基羰基、及丁氧基羰基等烷氧基羰基；苯氧基羰基等芳基氧基羰基；乙烯基氧基羰基、及烯丙基氧基羰基等链烯基氧基羰基；乙酰基、苯甲酰基、异丁酰基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、及甲草酰基等酰基；甲基硫烷基、及叔丁基硫烷基等烷基硫烷基；苯基硫烷基、及对甲苯基硫烷基等芳基硫烷基；甲基氨基、及环己基氨基等脂肪族仲氨基；二甲基氨基、二乙基氨基、吗啉代morpholino基、及哌啶子基piperidino等脂肪族叔氨基；苯基氨基、对甲苯基氨基等芳香族仲氨基；甲基、乙基、叔丁基、及十二烷基等烷基；苯基、对甲苯基、二甲苯基、异丙苯基、萘基、蒽基、菲基等芳基；羟基；羧基；磺酰胺基；甲酰基；巯基；磺基；甲磺酰基；对甲苯磺酰基；伯氨基；亚硝基；三氟甲基、及三氯甲基等卤代烷基；三甲基甲硅烷基；磷酸亚基；膦酰基；烷基磺酰基；芳基磺酰基；三烷基铵基；二甲基锍基；三苯基苯甲酰甲基鏻基等。式2中，选自R11～R14中的至少2个连接而形成环时，作为连接基团，可举出亚烷基、亚环烷基或将它们连接而形成的2价基团。作为连接基团，优选碳原子数为1以上且10以下的2价基团。由选自R11～R14中的至少2个形成的环可包含氧原子作为构成环的原子。R212N+＝CNR22223式3中，R21各自独立地表示氢原子、烷基或环烷基，R22各自独立地表示氢原子、烷基、环烷基、-C＝NR23-NR2323个R23各自独立地为氢原子、烷基或环烷基、或＝C-NR24224个R24各自独立地为氢原子或有机基团。作为R21～R23中所述的烷基，优选碳原子数为1以上且10以下的烷基。作为烷基的具体例，可举出甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、癸基、十二烷基、十八烷基、异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基、及1-乙基戊基等。作为R21～R23中所述的环烷基，优选碳原子数为5以上且30以下的环烷基。作为环烷基的具体例，可举出环戊基、及环己基等。作为R24中所述的有机基团，可举出烷基、环烷基、芳烷基、及芳基等。作为式3表示的阳离子，可举出1，2-二异丙基-3-[双二甲基氨基亚甲基]胍鎓、1-甲基双胍鎓、1-正丁基双胍鎓、1-2-乙基己基双胍鎓、1-正十八烷基双胍鎓、1，1-二甲基双胍鎓、1，1-二乙基双胍鎓、1-环己基双胍鎓、2-乙基-1，1，3，3-四甲基胍鎓、1-苄基胍鎓、1，3-二苄基胍鎓、1-苄基-2，3-二甲基胍鎓、1-苯基胍鎓等，优选1，2-二异丙基-3-[双二甲基氨基亚甲基]胍鎓。[化学式4]式4中，R31各自独立地表示氢原子或有机基团，s表示2以上且6以下的整数。作为R31中所述的有机基团，可举出烷基、环烷基、芳烷基、及芳基等。上述烷基、上述环烷基、上述芳烷基、及上述芳基可以具有取代基。作为上述取代基，可举出氟原子、氯原子、溴原子、及碘原子等卤素原子；氰基；硝基；甲氧基、乙氧基、及叔丁氧基等烷氧基；苯氧基、及对甲苯基氧基等芳基氧基；乙酰氧基、丙酰基氧基、及苯甲酰基氧基等酰基氧基；甲氧基羰基、及丁氧基羰基等烷氧基羰基；苯氧基羰基等芳基氧基羰基；乙烯基氧基羰基、及烯丙基氧基羰基等链烯基氧基羰基；乙酰基、苯甲酰基、异丁酰基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、及甲草酰基等酰基；甲基硫烷基、及叔丁基硫烷基等烷基硫烷基；苯基硫烷基、及对甲苯基硫烷基等芳基硫烷基；甲基氨基、及环己基氨基等脂肪族仲氨基；二甲基氨基、二乙基氨基、吗啉代基、及哌啶子基等脂肪族叔氨基；苯基氨基、对甲苯基氨基等芳香族仲氨基；甲基、乙基、叔丁基、及十二烷基等烷基；苯基、对甲苯基、二甲苯基、异丙苯基、萘基、蒽基、菲基等芳基；羟基；羧基；磺酰胺基；甲酰基；巯基；磺基；甲磺酰基；对甲苯磺酰基；伯氨基；亚硝基；三氟甲基、及三氯甲基等卤代烷基；三甲基甲硅烷基；磷酸亚基；膦酰基；烷基磺酰基；芳基磺酰基；三烷基铵基；二甲基锍基；三苯基苯甲酰甲基鏻基等。s优选为3以上且5以下的整数，更优选为3或4。关于抗衡阳离子Xm，优选为包含芳香族基团的阳离子。抗衡阳离子Xm中包含的芳香族基团优选为芳香族杂环基。抗衡阳离子Xm中包含的芳香族基团优选为含氮芳香族杂环基。作为抗衡阳离子Xm+中所述的含氮芳香族阳离子，优选为下述式5～13中任一式表示的阳离子。[化学式5]式中，RH各自独立地表示氢原子或烷基。R41、R43、R45、R46、R47、R48、R50、R51、及R52各自独立地表示氢原子、卤素原子、氰基、硝基、烷基、环烷基、链烯基、或炔基。R42、R44、及R49各自独立地表示氢原子、卤素原子、烷基、环烷基、链烯基、或炔基。R41～R52各自独立地可以被卤素原子、氰基、或硝基取代。R41及R42可以相互键合而形成环。至少2个R41可以相互键合而形成环。R43及R44可以相互键合而形成环。2个R43可以相互键合而形成环。至少2个R45可以相互键合而形成环。至少2个R46可以相互键合而形成环。至少2个R47可以相互键合而形成环。R48及R49可以相互键合而形成环。至少2个R48可以相互键合而形成环。至少2个R50可以相互键合而形成环。至少2个R51可以相互键合而形成环。至少2个R52可以相互键合而形成环。作为R41～R52中所述的卤素原子，可举出氟原子、氯原子、溴原子、或碘原子。作为RH及R41～R52中所述的烷基，可以是直链烷基，也可以是支链烷基。该烷基的碳原子数没有特别限制。烷基的碳原子数优选为1以上且20以下，更优选为1以上且10以下，特别优选为1以上且5以下。作为RH及R41～R52中所述的烷基的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、叔戊基、正己基、正庚基、正辛基、2-乙基正己基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基、正十七烷基、正十八烷基、正十九烷基、及正二十烷基。作为R41～R52中所述的环烷基，优选碳原子数为5以上且30以下的环烷基。作为环烷基的具体例，可举出环戊基、及环己基等。作为R41～R52中所述的链烯基，优选碳原子数为2以上且10以下的链烯基。作为链烯基的具体例，可举出乙烯基、烯丙基、及苯乙烯基等。作为R41～R52中所述的炔基，优选碳原子数为2以上且10以下的炔基。作为炔基的具体例，可举出乙炔基、丙炔基、及炔丙基等。m为2以上的整数时，作为m价的抗衡阳离子Xm+中的非环式或环式的含氮脂肪族阳离子，优选由下述式14～16中任一式表示。[化学式6]上述式中，RH各自独立地表示氢原子或烷基。R53及R55各自独立地表示烷基、或环烷基。R54表示亚烷基、亚环烷基、或将它们连接而形成的2价基团。R56表示亚烷基。R53～R56各自独立地可以被卤素原子、氰基、或硝基取代。至少2个R53可以相互键合而形成环。R53及R54可以相互键合而形成环。2个R55可以相互键合而形成环。作为RH的具体例及优选例，可举出与上述的具体例及优选例同样的基团。作为RH及R53～R55中所述的烷基，可举出与作为RH及R41～R52中所述的烷基而在上文中说明的具体例及优选例同样的烷基。作为R53～R55中所述的环烷基，可举出与作为R41～R52中所述的环烷基而在上文中说明的具体例及优选例同样的环烷基。作为R56中所述的亚烷基，可举出碳原子数为1以上且5以下的亚烷基。作为亚烷基的具体例，可举出亚甲基、亚乙基、亚丙基、及亚丁基等。m为2以上的整数时，作为m价的抗衡阳离子Xm+中所述的含氮芳香族阳离子，可举出在分子中具有2，2-联吡啶鎓骨架、3，3-联吡啶鎓骨架、4，4-联吡啶鎓骨架、2，2-联吡嗪鎓骨架、4，4-联喹啉鎓骨架、4，4-联异喹啉鎓骨架、4-[2-4-吡啶鎓乙烯基]吡啶鎓骨架、或4-[4-4-吡啶鎓苯基]吡啶鎓骨架的2价以上的阳离子。作为抗衡阳离子Xm+中所述的金属阳离子，优选为选自由典型金属元素、过渡金属元素、及半金属元素组成的组中的金属原子的阳离子、或包含上述金属原子的原子团的阳离子。作为上述典型金属元素，可举出碱金属元素由元素周期表第1族中除了氢之外的元素组成的金属元素，例如钠、钾、碱土金属元素由元素周期表第2族的元素组成的金属元素，例如镁、由元素周期表第12族的元素组成的金属元素例如锌、由元素周期表第13族中除了硼之外的元素组成的金属元素例如铝、由元素周期表第14族中除了碳、硅之外的元素组成的金属元素例如锡、由元素周期表第15族中除了氮、磷、砷之外的元素组成的金属元素例如锑、由元素周期表第16族中除了氧、硫、硒、碲之外的元素组成的金属元素例如钋。作为上述过渡金属元素，可举出由元素周期表第3～11族的元素组成的金属元素例如铪。作为上述半金属元素，可举出硼、硅、砷、硒、碲等。作为包含上述金属原子的原子团的阳离子，可举出包含金属原子和非金属原子这两方的原子团等。具体而言，可举出[ZrO]2+、[C2H5OAl]2+、[n-C4H92Sn-O-Snn-C4H92]2+等。式1中，R1表示可以具有取代基的芳香族基团。可以具有取代基的芳香族基团可以是可以具有取代基的芳香族烃基，也可以是可以具有取代基的芳香族杂环基。芳香族烃基的种类在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。芳香族烃基可以为单环式的芳香族基团，也可以由2个以上的芳香族烃基稠合而形成，还可以由2个以上的芳香族烃基通过单键进行键合而形成。作为芳香族烃基，优选苯基、萘基、联苯基、蒽基、及菲基。芳香族杂环基的种类在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。芳香族杂环基可以为单环式基，也可以为多环式基。作为芳香族杂环基，优选吡啶基、呋喃基、噻吩基、咪唑基、吡唑基、噁唑基、噻唑基、异噁唑基、异噻唑基、苯并噁唑基、苯并噻唑基、及苯并咪唑基。作为苯基、多环芳香族烃基、或芳香族杂环基可以具有的取代基，可举出卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、及有机基团。苯基、多环芳香族烃基、或芳香族杂环基具有多个取代基时，该多个取代基可以相同也可以不同。芳香族基团所具有的取代基为有机基团时，作为该有机基团，可举出烷基、链烯基、环烷基、环烯基、芳基、及芳烷基等。该有机基团可以在该有机基团中包含杂原子等除烃基以外的键、取代基。另外，该有机基团为直链状、支链状、环状均可。该有机基团通常为1价，在形成环状结构等情况下，可成为2价以上的有机基团。芳香族基团在相邻的碳原子上具有取代基时，在相邻的碳原子上键合的2个取代基可以键合而形成环状结构。作为环状结构，可举出脂肪族烃环、包含杂原子的脂肪族环。芳香族基团所具有的取代基为有机基团时，该有机基团中包含的键没有特别限制，只要不损害本发明的效果即可，有机基团可含有包含氧原子、氮原子、硅原子等杂原子的键。作为包含杂原子的键的具体例，可举出醚键、硫醚键、羰基键、硫代羰基键、酯键、酰胺键、氨基键-NRA-：RA表示氢原子或1价有机基团、氨基甲酸酯键、亚氨基键-N＝C-RB-、-C＝NRB-：RB表示氢原子或1价有机基团、碳酸酯键、磺酰基键、亚磺酰基键、偶氮键等。作为有机基团可以具有的包含杂原子的键，从式1表示的咪唑化合物的耐热性的观点考虑，优选醚键、硫醚键、羰基键、硫代羰基键、酯键、酰胺键、氨基键-NRA-：RA表示氢原子或1价有机基团、氨基甲酸酯键、亚氨基键-N＝C-RB-、-C＝NRB-：RB表示氢原子或1价有机基团、碳酸酯键、磺酰基键、及亚磺酰基键。有机基团为除烃基以外的取代基时，除烃基以外的取代基的种类在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。作为除烃基以外的取代基的具体例，可举出卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、氰基、异氰基、氰酸酯基、异氰酸酯基、硫氰酸酯基、异硫氰酸酯基、甲硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、氨基、单烷基氨基、二烷基铝基、单芳基氨基、二芳基氨基、氨基甲酰基、硫代氨基甲酰基、硝基、亚硝基、羧酸盐酯基carboxylategroup、酰基、酰基氧基、亚磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酸酯基、烷基醚基、链烯基醚基、烷基硫醚基、链烯基硫醚基、芳基醚基、及芳基硫醚基等。上述取代基中包含的氢原子可以被烃基取代。另外，上述取代基中包含的烃基为直链状、支链状、及环状均可。作为苯基、多环芳香族烃基、或芳香族杂环基所具有的取代基，优选碳原子数为1以上且12以下的烷基、碳原子数为1以上且12以下的芳基、碳原子数为1以上且12以下的烷氧基、碳原子数为1以上且12以下的芳基氧基、碳原子数为1以上且12以下的芳基氨基、及卤素原子。作为R1，从能廉价且容易地合成式1表示的化合物、上述化合物在水、有机溶剂中的溶解性良好方面考虑，优选分别可以具有取代基的苯基、呋喃基、噻吩基。式1中，R2为可以具有取代基的亚烷基。亚烷基可以具有的取代基在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。作为亚烷基可以具有的取代基的具体例，可举出羟基、烷氧基、氨基、氰基、及卤素原子等。亚烷基可以为直链亚烷基，也可以为支链亚烷基，优选为直链亚烷基。亚烷基的碳原子数没有特别限制，优选为1以上且20以下，优选为1以上且10以下，更优选为1以上且5以下。需要说明的是，亚烷基的碳原子数中不包括键合于亚烷基的取代基的碳原子。作为键合于亚烷基的取代基的烷氧基可以为直链烷氧基，也可以为支链烷氧基。作为取代基的烷氧基的碳原子数没有特别限制，优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下，特别优选为1以上且3以下。作为键合于亚烷基的取代基的氨基可以为单烷基氨基或二烷基氨基。单烷基氨基或二烷基氨基中包含的烷基可以为直链烷基，也可以为支链烷基。单烷基氨基或二烷基氨基中包含的烷基的碳原子数没有特别限制，优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下，特别优选为1以上且3以下。关于作为R2而优选的亚烷基的具体例，可举出亚甲基、乙烷-1，2-二基、正丙烷-1，3-二基、正丙烷-2，2-二基、正丁烷-1，4-二基、正戊烷-1，5-二基、正己烷-1，6-二基、正庚烷-1，7-二基、正辛烷-1，8-二基、正壬烷-1，9-二基、正癸烷-1，10-二基、正十一烷-1，11-二基、正十二烷-1，12-二基、正十三烷-1，13-二基、正十四烷-1，14-二基、正十五烷-1，15-二基、正十六烷-1，16-二基、正十七烷-1，17-二基、正十八烷-1，18-二基、正十九烷-1，19-二基、及二十烷-1，20-二基。R3为卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酸酯基、或有机基团。n为0以上且3以下的整数。n为2以上且3以下的整数时，多个R3各自可以相同也可以不同。R3为有机基团时，该有机基团与R1中所述的芳香族基团可以作为取代基而具有的有机基团同样。R3为有机基团时，作为有机基团，优选烷基、芳香族烃基、及芳香族杂环基。作为烷基，优选碳原子数为1以上且8以下的直链状或支链状的烷基，更优选甲基、乙基、正丙基、及异丙基。作为芳香族烃基，优选苯基、萘基、联苯基、蒽基、及菲基，更优选苯基、及萘基，特别优选苯基。作为芳香族杂环基，优选吡啶基、呋喃基、噻吩基、咪唑基、吡唑基、噁唑基、噻唑基、异噁唑基、异噻唑基、苯并噁唑基、苯并噻唑基、及苯并咪唑基，更优选呋喃基、及噻吩基。R3为烷基时，烷基在咪唑环上的键合位置为2位、4位、5位均是优选的，更优选为2位。R3为芳香族烃基及芳香族杂环基时，这些基团在咪唑上的键合位置优选为2位。上述式1表示的化合物中，从能廉价且容易地合成、在水、有机溶剂中的溶解性优异方面考虑，优选下述式1-1表示的化合物，更优选由式1-1表示、且R2为亚甲基的化合物。[化学式7]式1-1中，X、R2、R3、m及n与式1含义相同，R4、R5、R6、R7、及R8各自独立地为氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团，其中，R4、R5、R6、R7、及R8中的至少1个为氢原子以外的基团。R4、R5、R6、R7、及R8中的至少2个可以键合而形成环状结构。R2可与R6键合而形成环状结构。R4、R5、R6、R7、及R8为有机基团时，该有机基团与式1中的R1作为取代基而具有的有机基团同样。从上述化合物在溶剂中的溶解性方面考虑，R4、R5、R6、及R7优选为氢原子。其中，R4、R5、R6、R7、及R8中的至少1个优选为下述取代基，R8特别优选为下述取代基。R8为下述取代基时，R4、R5、R6、及R7优选为氢原子。-O-R9R9为氢原子或有机基团。R9为有机基团时，该有机基团与式1中的R1作为取代基而具有的有机基团同样。作为R9，优选烷基，更优选碳原子数为1以上且8以下的烷基，特别优选碳原子数为1以上且3以下的烷基，最优选甲基。上述式1-1表示的化合物中，优选下述式1-1-1表示的化合物。[化学式8]式1-1-1中，对于X、R3、R4、R5、R6、R7、及R8、m及n而言，除了R4、R5、R6、R7、及R8中的至少1个为氢原子以外的基团之外，与式1含义相同。式1-1-1表示的化合物中，优选R4、R5、R6、R7、及R8中的至少1个为前述的-O-R9表示的基团，特别优选R8为-O-R9表示的基团。R8为-O-R9表示的基团时，R4、R5、R6、及R7优选为氢原子。作为式1表示的化合物的优选的具体例，可举出以下的化合物。[化学式9][化学式10][化学式11]上述式1表示的化合物的制造方法作为上述式1表示的化合物的制造方法，没有特别限制。例如，可通过在溶剂中或非溶剂中使下述式10表示的化合物与能形成m价的抗衡阳离子Xm+的碱进行中和反应来制造上述式1表示的化合物。[化学式12]式10中，R1、R2、R3及n与式1含义相同，具体例及优选例也同样。作为能形成m价的抗衡阳离子Xm+的碱，优选为非环式或环式的含氮脂肪族化合物、含氮芳香族化合物、或者金属原子或包含上述金属原子的原子团。作为能形成m价的抗衡阳离子Xm+的碱，更优选能形成上述式2～4中任一式表示的非环式或环式的含氮脂肪族阳离子、上述式5～13中任一式表示的含氮芳香族阳离子、上述式14～16中任一式表示的含氮脂肪族阳离子、或者选自由典型金属元素、过渡金属元素及半金属元素组成的组中的金属原子的阳离子或包含上述金属原子的原子团的阳离子的碱。作为使上述式10表示的化合物与上述碱在溶剂中进行中和反应的方法，可举出下述方法：在加热下或非加热下，例如在极性溶剂中，将上述式10表示的化合物与上述碱混合；等等。作为上述极性溶剂，可举出醇。具体而言，可举出甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、叔丁醇等。可在加热下例如40℃以上、优选50℃以上、更优选55℃以上，将上述式10表示的化合物和上述碱溶解于上述溶剂中而进行混合。作为加热时的温度的上限，没有特别限制，优选上述溶剂的沸点以下。即使在非加热下上述式10表示的化合物或上述碱难以溶解于溶剂中的情况下，随着中和反应及盐形成的进行，也能逐渐溶解于溶剂中。作为使上述式10表示的化合物与上述碱在非溶剂中进行中和反应的方法，例如可举出下述方法：在常温下，一边使用乳钵等将作为固体的上述式10表示的化合物、和作为固体或液体的上述碱粉碎或磨碎，一边将它们混合；等等。另外，作为上述式10表示的化合物与上述碱的比例摩尔比，没有特别限制，将式10表示的化合物的摩尔数记为M1，将提供m价的抗衡阳离子Xm+的上述碱的摩尔数记为M2时，作为M1M2m的值，优选为2080～8020，更优选为3070～7030。另外，通过将Xm+为钠阳离子、钾阳离子的上述式1表示的化合物、与能形成除钠阳离子及钾阳离子以外的m价的抗衡阳离子Xm+的碱混合来进行盐交换，从而还能制造Xm+为除钠阳离子及钾阳离子以外的抗衡阳离子的上述式1表示的化合物。《氢阻隔膜形成用组合物》氢阻隔膜形成用组合物包含基材成分A、和前述的氢阻隔剂B。以下，对氢阻隔膜形成用组合物中可包含的成分、和作为氢阻隔膜形成用组合物而优选的组合物进行说明。基材成分A是向氢阻隔膜形成用组合物赋予制膜性的成分，所述制膜性是能直接利用熔融加工法等公知的方法来制造所期望的形状的膜的制膜性，或者是能通过曝光、加热、与水的反应等处理来制造所期望的形状的膜的制膜性。基材成分A没有特别限制，只要是能向氢阻隔膜形成用组合物赋予所期望的制膜性的材料即可。作为基材成分A，典型地，可使用：由高分子化合物形成的树脂材料；通过利用加热进行交联而产生高分子化合物、或者利用加热而发生分子内环化等化学改性，从而进行固化的热固性材料；可通过曝光而进行固化的光聚合性的化合物；通过组合物中、气氛中的水分而进行水解缩合的水解缩合性的硅烷化合物等。作为水解缩合性的硅烷化合物，可举出四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、二乙基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二乙基二乙氧基硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷等烷氧基硅烷化合物等。水解缩合性硅烷化合物可以是这些硅烷化合物的部分水解缩合物。〔树脂材料〕基材成分A中，作为树脂材料的例子，可举出聚缩醛树脂、聚酰胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树脂聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚芳酯等、FR-AS树脂、FR-ABS树脂、AS树脂、ABS树脂、聚苯醚树脂、聚苯硫醚树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚醚酮树脂、氟系树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰胺双马来酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂、聚苯并噻唑树脂、聚苯并咪唑树脂、有机硅树脂、BT树脂、聚甲基戊烯、超高分子量聚乙烯、FR-聚丙烯、甲基丙烯酸树脂例如，聚甲基丙烯酸甲酯等、及聚苯乙烯等。使用树脂材料作为基材成分A时，可通过下述方式来制造氢阻隔膜：从现有已知的制膜方法中选择采用所期望的方法，将在树脂材料中配合有规定量的前述的氢阻隔剂B而成的树脂材料形成膜。作为制膜方法，可举出T模法浇铸法、吹胀法、加压法等熔融加工法、使用了溶液的浇铸法等。浇铸法中，将包含树脂材料和氢阻隔剂B的溶液涂布或流延在基板上，形成由溶液形成的膜，然后，利用加热等方法将溶剂从该膜除去，形成氢阻隔膜。根据需要，可以对使用树脂材料得到的氢阻隔膜实施单轴拉伸、双轴拉伸等拉伸处理。使用上述的树脂材料作为基材成分A时，根据需要，氢阻隔膜形成用组合物可包含抗氧化剂、紫外线吸收剂、阻燃剂、脱模剂、增塑剂、填充材料、及增强材料等添加剂、增强材料。另外，氢阻隔膜形成用组合物为浇铸用的组合物时，氢阻隔膜形成用组合物可包含溶剂。溶剂的种类可根据树脂材料的种类适当选择。氢阻隔膜形成用组合物包含上述的树脂材料和氢阻隔剂B时，相对于氢阻隔膜形成用组合物的树脂材料的质量而言，氢阻隔剂的含量优选为0.01质量％以上且30质量％以下，更优选为0.05质量％以上且20质量％以下，特别优选为0.1质量％以上且10质量％以下。〔热固性材料〕作为热固性材料，可举出一直以来广泛使用的各种热固性树脂的前体材料。作为热固性树脂的具体例，可举出酚醛树脂、环氧树脂、氧杂环丁烷树脂、三聚氰胺树脂、尿素树脂、不饱和聚酯树脂、醇酸树脂、聚氨酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂、聚苯并咪唑树脂等。另外，通过加热而发生分子内的芳香环形成反应、及或分子间的交联反应的树脂也可作为热固性材料而合适地使用。以下，也将通过加热而发生分子内的芳香环形成反应、及或分子间的交联反应的树脂称为前体树脂。这些中，从特别容易形成耐热性、耐化学药品性、机械特性等优异的氢阻隔膜方面考虑，特别优选环氧树脂前体、和前体树脂。以下，关于热固性材料，对特别优选作为基材成分A的前体材料进行说明。环氧树脂前体作为环氧树脂前体，可使用以往广为人知的各种环氧化合物。所述环氧化合物的分子量没有特别限制。环氧化合物中，从容易形成耐热性、耐化学药品性、机械特性等优异的氢阻隔膜方面考虑，优选在分子内具有2个以上环氧基的多官能环氧化合物。环氧树脂前体可以单独使用或组合2种以上而使用。多官能环氧化合物没有特别限制，只要是2官能以上的环氧化合物即可。作为多官能环氧化合物的例子，可举出双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、双酚AD型环氧树脂、萘型环氧树脂、四溴双酚A型环氧树脂、及联苯型环氧树脂等2官能环氧树脂；二聚酸缩水甘油酯、及三缩水甘油酯等缩水甘油酯型环氧树脂；四缩水甘油基氨基二苯基甲烷、三缩水甘油基对氨基苯酚、四缩水甘油基间苯二甲胺、及四缩水甘油基双氨基甲基环己烷等缩水甘油基胺型环氧树脂；1，3-二缩水甘油基-5-甲基-5-乙基乙内酰脲等乙内酰脲型环氧树脂；对苯二酚型环氧树脂；芴型环氧树脂；三缩水甘油基异氰脲酸酯等杂环式环氧树脂；间苯三酚三缩水甘油基醚、三羟基联苯三缩水甘油基醚、三羟基苯基甲烷三缩水甘油基醚、甘油三缩水甘油基醚、2-[4-2，3-环氧丙氧基苯基]-2-[4-[1，1-双[4-2，3-环氧丙氧基苯基]乙基]苯基]丙烷、及1，3-双[4-[1-[4-2，3-环氧丙氧基苯基]-1-[4-[1-[4-2，3-环氧丙氧基苯基]-1-甲基乙基]苯基]乙基]苯氧基]-2-丙醇等3官能型环氧树脂；四羟基苯基乙烷四缩水甘油基醚、四缩水甘油基二苯甲酮、双间苯二酚四缩水甘油基醚、及四环氧丙氧基联苯等4官能型环氧树脂。这些环氧化合物可以被卤化，也可以被氢化。作为市售的多官能环氧化合物，可举出例如JapanEpoxyResin公司制的JERCOAT828、1001、801N、806、807、152、604、630、871、YX8000、YX8034、YX4000、DIC公司制的EPICLON830、EXA835LV、HP4032D、HP820、株式会社ADEKA制的EP4100系列、EP4000系列、EPU系列、DaicelCorporation制的CELLOXIDE系列2021、2021P、2083、2085、3000等、EPOLEAD系列、EHPE系列、新日铁化学公司制的YD系列、YDF系列、YDCN系列、YDB系列、苯氧基树脂由双酚类和表氯醇合成的多羟基聚醚，且在两末端具有环氧基；YP系列等、NagaseChemteX公司制的DENACOL系列、共荣社化学公司制的Epolight系列等，但不限于这些。另外，从形成高硬度的固化物方面考虑，脂环式环氧化合物作为多官能环氧化合物也是优选的。作为脂环式环氧化合物的具体例，可举出2-3，4-环氧环己基-5，5-螺-3，4-环氧环己烷间二氧杂环己烷、己二酸双3，4-环氧环己基甲基酯、己二酸双3，4-环氧-6-甲基环己基甲基酯、3’，4’-环氧-6’-甲基环己烷甲酸3，4-环氧-6-甲基环己酯、ε-己内酯改性3’，4’-环氧环己烷甲酸3，4-环氧环己基甲酯、三甲基己内酯改性3’，4’-环氧环己烷甲酸3，4-环氧环己基甲酯、β-甲基-δ-戊内酯改性3’，4’-环氧环己烷甲酸3，4-环氧环己基甲酯、亚甲基双3，4-环氧环己烷、乙二醇的二3，4-环氧环己基甲基醚、双3，4-环氧环己烷甲酸亚乙酯、环氧环六氢邻苯二甲酸二辛酯、及环氧环六氢邻苯二甲酸二-2-乙基己酯、具有氧化三环癸烯基的环氧树脂、下述式a01-1～a01-5表示的化合物。这些脂环式环氧化合物的具体例中，从形成高硬度的固化物方面考虑，优选下述式a01-1～a01-5表示的脂环式环氧化合物。[化学式13]式a01-1中，Z01表示单键或连接基团具有1个以上原子的二价基团。Ra01～Ra018各自独立地为选自由氢原子、卤素原子、及有机基团组成的组中的基团。作为连接基团Z01，可举出例如选自由二价烃基、-O-、-O-CO-、-S-、-SO-、-SO2-、-CBr2-、-CCBr32-、-CCF32-、及-Ra019-O-CO-组成的组中的2价基团及它们中的多个连接而成的基团等。关于作为连接基团Z的二价烃基，可举出例如碳原子数为1以上且18以下的直链状或支链状的亚烷基、二价的脂环式烃基等。作为碳原子数为1以上且18以下的直链状或支链状的亚烷基，可举出例如亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基、二亚甲基、三亚甲基等。作为上述二价的脂环式烃基，可举出例如1，2-亚环戊基、1，3-亚环戊基、环戊叉基、1，2-亚环己基、1，3-亚环己基、1，4-亚环己基、环己叉基等亚环烷基包含环烷叉基cycloalkylidene等。Ra019为碳原子数为1以上且8以下的亚烷基，优选为亚甲基或亚乙基。[化学式14]式a01-2中，Ra01～Ra012为选自由氢原子、卤素原子、及有机基团组成的组中的基团。[化学式15]式a01-3中，Ra01～Ra010为选自由氢原子、卤素原子、及有机基团组成的组中的基团。Ra02及Ra08可以相互键合。[化学式16]式a01-4中，Ra01～Ra012为选自由氢原子、卤素原子、及有机基团组成的组中的基团。Ra02及Ra010可以相互键合。[化学式17]式a01-5中，Ra01～Ra012为选自由氢原子、卤素原子、及有机基团组成的组中的基团。式a01-1～a01-5中，Ra01～Ra018为有机基团时，有机基团在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，可以为烃基，也可以为由碳原子和卤素原子形成的基团，也可以为不仅包含碳原子及氢原子还包含卤素原子、氧原子、硫原子、氮原子、硅原子之类的杂原子的那样的基团。作为卤素原子的例子，可举出氯原子、溴原子、碘原子、及氟原子等。作为有机基团，优选烃基、由碳原子、氢原子及氧原子形成的基团、卤代烃基、由碳原子、氧原子及卤素原子形成的基团、和由碳原子、氢原子、氧原子及卤素原子形成的基团。有机基团为烃基时，烃基可以为芳香族烃基，也可以为脂肪族烃基，还可以为包含芳香族骨架和脂肪族骨架的基团。有机基团的碳原子数优选为1以上且20以下，更优选为1以上且10以下，特别优选为1以上且5以下。作为烃基的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、2-乙基己基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基、正十七烷基、正十八烷基、正十九烷基、及正二十烷基等链状烷基；乙烯基、1-丙烯基、2-正丙烯基烯丙基、1-正丁烯基、2-正丁烯基、及3-正丁烯基等链状烯基；环丙基、环丁基、环戊基、环己基、及环庚基等环烷基；苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、α-萘基、β-萘基、联苯-4-基、联苯-3-基、联苯-2-基、蒽基、及菲基等芳基；苄基、苯乙基、α-萘基甲基、β-萘基甲基、α-萘基乙基、及β-萘基乙基等芳烷基。卤代烃基的具体例为氯甲基、二氯甲基、三氯甲基、溴甲基、二溴甲基、三溴甲基、氟甲基、二氟甲基、三氟甲基、2，2，2-三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、全氟丁基、及全氟戊基、全氟己基、全氟庚基、全氟辛基、全氟壬基、及全氟癸基等卤代链状烷基；2-氯环己基、3-氯环己基、4-氯环己基、2，4-二氯环己基、2-溴环己基、3-溴环己基、及4-溴环己基等卤代环烷基；2-氯苯基、3-氯苯基、4-氯苯基、2，3-二氯苯基、2，4-二氯苯基、2，5-二氯苯基、2，6-二氯苯基、3，4-二氯苯基、3，5-二氯苯基、2-溴苯基、3-溴苯基、4-溴苯基、2-氟苯基、3-氟苯基、4-氟苯基等卤代芳基；2-氯苯基甲基、3-氯苯基甲基、4-氯苯基甲基、2-溴苯基甲基、3-溴苯基甲基、4-溴苯基甲基、2-氟苯基甲基、3-氟苯基甲基、4-氟苯基甲基等卤代芳烷基。由碳原子、氢原子、及氧原子形成的基团的具体例为羟基甲基、2-羟基乙基、3-羟基正丙基、及4-羟基正丁基等羟基链状烷基；2-羟基环己基、3-羟基环己基、及4-羟基环己基等卤代环烷基；2-羟基苯基、3-羟基苯基、4-羟基苯基、2，3-二羟基苯基、2，4-二羟基苯基、2，5-二羟基苯基、2，6-二羟基苯基、3，4-二羟基苯基、及3，5-二羟基苯基等羟基芳基；2-羟基苯基甲基、3-羟基苯基甲基、及4-羟基苯基甲基等羟基芳烷基；甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁基氧基、异丁基氧基、仲丁基氧基、叔丁基氧基、正戊基氧基、正己基氧基、正庚基氧基、正辛基氧基、2-乙基己基氧基、正壬基氧基、正癸基氧基、正十一烷基氧基、正十三烷基氧基、正十四烷基氧基、正十五烷基氧基、正十六烷基氧基、正十七烷基氧基、正十八烷基氧基、正十九烷基氧基、及正二十烷基氧基等链状烷氧基；乙烯基氧基、1-丙烯基氧基、2-正丙烯基氧基烯丙基氧基、1-正丁烯基氧基、2-正丁烯基氧基、及3-正丁烯基氧基等链状烯基氧基；苯氧基、邻甲苯基氧基、间甲苯基氧基、对甲苯基氧基、α-萘基氧基、β-萘基氧基、联苯-4-基氧基、联苯-3-基氧基、联苯-2-基氧基、蒽基氧基、及菲基氧基等芳基氧基；苄基氧基、苯乙基氧基、α-萘基甲基氧基、β-萘基甲基氧基、α-萘基乙基氧基、及β-萘基乙基氧基等芳烷基氧基；甲氧基甲基、乙氧基甲基、正丙氧基甲基、2-甲氧基乙基、2-乙氧基乙基、2-正丙氧基乙基、3-甲氧基正丙基、3-乙氧基正丙基、3-正丙氧基正丙基、4-甲氧基正丁基、4-乙氧基正丁基、及4-正丙氧基正丁基等烷氧基烷基；甲氧基甲氧基、乙氧基甲氧基、正丙氧基甲氧基、2-甲氧基乙氧基、2-乙氧基乙氧基、2-正丙氧基乙氧基、3-甲氧基正丙氧基、3-乙氧基正丙氧基、3-正丙氧基正丙氧基、4-甲氧基正丁基氧基、4-乙氧基正丁基氧基、及4-正丙氧基正丁基氧基等烷氧基烷氧基；2-甲氧基苯基、3-甲氧基苯基、及4-甲氧基苯基等烷氧基芳基；2-甲氧基苯氧基、3-甲氧基苯氧基、及4-甲氧基苯氧基等烷氧基芳基氧基；甲酰基、乙酰基、丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、庚酰基、辛酰基、壬酰基、及癸酰基等脂肪族酰基；苯甲酰基、α-萘甲酰基、及β-萘甲酰基等芳香族酰基；甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、正丁基氧基羰基、正戊基氧基羰基、正己基羰基、正庚基氧基羰基、正辛基氧基羰基、正壬基氧基羰基、及正癸基氧基羰基等链状烷基氧基羰基；苯氧基羰基、α-萘氧基羰基、及β-萘氧基羰基等芳基氧基羰基；甲酰基氧基、乙酰基氧基、丙酰基氧基、丁酰基氧基、戊酰基氧基、己酰基氧基、庚酰基氧基、辛酰基氧基、壬酰基氧基、及癸酰基氧基等脂肪族酰基氧基；苯甲酰基氧基、α-萘甲酰基氧基、及β-萘甲酰基氧基等芳香族酰基氧基。Ra01～Ra018各自独立地优选为选自由氢原子、卤素原子、碳原子数为1以上且5以下的烷基、及碳原子数为1以上且5以下的烷氧基组成的组中的基团，尤其是从容易形成机械特性优异的固化膜方面考虑，更优选Ra01～Ra018全部为氢原子。式a01-2～a01-5中，Ra01～Ra012与式a01-1中的Ra01～Ra012同样。式a01-2及式a01-4中，作为Ra02及Ra010相互键合时形成的2价基团，可举出例如-CH2-、-CCH32-。式a01-3中，作为Ra02及Ra08相互键合时形成的2价基团，可举出例如-CH2-、-CCH32-。作为式a01-1表示的脂环式环氧化合物中优选的化合物的具体例，可举出下述式a01-1a、式a01-1b、及式a01-1c表示的脂环式环氧化合物、2，2-双3，4-环氧环己烷-1-基丙烷[＝2，2-双3，4-环氧环己基丙烷]等。[化学式18]作为式a01-2表示的脂环式环氧化合物中优选的化合物的具体例，可举出下述式a01-2a表示的双环壬二烯二环氧化物、或二环壬二烯二环氧化物等。[化学式19]作为式a01-3表示的脂环式环氧化合物中优选的化合物的具体例，可举出S螺[3-氧杂三环[3.2.1.02，4]辛烷-6，2’-氧杂环丙烷]等。作为式a01-4表示的脂环式环氧化合物中优选的化合物的具体例，可举出4-乙烯基环己烯二氧化物、二戊烯二氧化物、柠檬烯二氧化物、1-甲基-4-3-甲基氧杂环丙烷-2-基-7-氧杂双环[4.1.0]庚烷等。作为式a01-5表示的脂环式环氧化合物中优选的化合物的具体例，可举出1，2，5，6-二环氧环辛烷等。[前体树脂]作为基材成分A，优选作为通过加热而发生分子内的芳香环形成反应、及或分子间的交联反应的树脂的前体树脂。通过分子内的芳香环形成反应，构成树脂的分子链的结构发生刚直化，能形成耐热性及机械特性优异的氢阻隔膜。作为分子内的芳香环形成反应中优选的反应，可举出例如下式I～VI表示的反应。需要说明的是，下式中的反应只不过是芳香环形成反应的例子，作为基材成分A使用的、通过加热而发生分子内的芳香环形成反应的树脂的结构不限于下式中所示的前体聚合物的结构。[化学式20]在分子中具有选自羟基、羧酸酐基、羧基、及环氧基中的基团的树脂通过分子间的交联反应，构成树脂的分子链相互交联，可形成三维交联结构。因此，若使用通过加热而发生交联反应的、在分子中具有选自羟基、羧酸酐基、羧基、及环氧基中的基团的树脂作为基材成分A，则能得到耐热性及机械特性优异的氢阻隔膜。使用具有羟基的树脂的情况下，通过脱水缩合剂的作用，在树脂中包含的分子间发生基于羟基间的脱水缩合的交联。另外，羟基包含活性氢原子，富于反应性，因此，通过与各种交联剂反应，形成包含经交联的树脂的固化物。使用具有羧酸酐基的树脂的情况下，通过酸酐基的水解而产生的羧基彼此通过脱水缩合剂的作用而发生脱水缩合从而进行交联。另外，酸酐基自身也富于反应性，因此，例如通过使用具有2个以上羟基的多元醇、具有2个以上氨基的多胺等交联剂，从而可形成包含经交联的树脂的固化物。使用具有羧基的树脂的情况下，通过脱水缩合剂的作用，在树脂中包含的分子间发生基于羧基间的脱水缩合的交联。另外，也可使用具有如异氰酸酯基那样可与羧基反应的官能团的交联剂来进行交联。使用具有环氧基的树脂的情况下，根据需要，通过使用公知的固化促进剂等，从而在树脂中包含的分子间发生基于环氧基间的加成聚合反应的交联。作为在分子中具有羟基的树脂，可举出例如Novolac树脂。作为Novolac树脂，没有特别限制，优选为通过以相对于酚类1摩尔而言甲醛、多聚甲醛paraformaldehyde等缩合剂为0.5摩尔以上且1.0摩尔以下的比例、在酸性催化剂存在下使其进行缩合反应而得到的树脂。作为酚类，可举出例如苯酚、邻甲酚、间甲酚、对甲酚等甲酚类；2，3-二甲苯酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚等二甲苯酚类；邻乙基苯酚、间乙基苯酚、对乙基苯酚等乙基酚类、2-异丙基苯酚、3-异丙基苯酚、4-异丙基苯酚、邻丁基苯酚、间丁基苯酚、对丁基苯酚、对叔丁基苯酚等烷基酚类；2，3，5-三甲基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚等三烷基酚类；间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、对苯二酚单甲基醚、连苯三酚、间苯三酚等多元酚类；烷基间苯二酚、烷基邻苯二酚、烷基对苯二酚等烷基多元酚类烷基多元酚类中包含的烷基的碳原子数为1以上且4以下、α-萘酚、β-萘酚、羟基联苯hydroxydiphenyl、双酚A等。这些酚类可以单独使用或组合2种以上而使用。酚类中，优选间甲酚及对甲酚，更优选并用间甲酚和对甲酚。可通过调整两者的配合比率，来调节作为光致抗蚀剂的敏感度、耐热性等各特性。间甲酚与对甲酚的配合比率没有特别限制，优选为间甲酚对甲酚＝37以上且82以下质量比。间甲酚的比率低于上述下限值时，有时敏感度下降。高于上述上限值时，有时耐热性下降。作为Novolac树脂的制造中使用的酸性催化剂，可举出例如盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、亚磷酸等无机酸类、甲酸、草酸、乙酸、硫酸二乙酯、对甲苯磺酸等有机酸类、乙酸锌等金属盐类等。这些酸性催化剂可以单独使用或组合2种以上而使用。利用凝胶渗透色谱法GPC测定得到的按照聚苯乙烯换算的Novolac树脂的质均分子量优选为1000以上且50000以下。作为在分子中具有羧酸酐基的树脂，优选为使包含选自马来酸酐、柠康酸酐、及衣康酸酐中的1种以上单体的、具有不饱和双键的单体的混合物聚合而得到的共聚物。作为这样的聚合物，优选苯乙烯-马来酸共聚物。作为在分子中具有羧基的树脂，优选为将前述的在分子中具有羧酸酐基的树脂中的酸酐基水解而得到的树脂、使包含选自甲基丙烯酸、巴豆酸、马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、及衣康酸中的1种以上单体的、具有不饱和双键的单体的混合物聚合而得到的共聚物。关于在分子中具有环氧基的含有环氧基的树脂，在后文中详细说明。这样的通过加热而发生分子内的芳香环形成反应、分子间的交联反应的化合物中，从容易形成耐热性优异的氢阻隔膜方面考虑，优选聚酰胺酸、聚苯并噁唑前体、聚苯并噻唑前体、聚苯并咪唑前体、苯乙烯-马来酸共聚物、及含有环氧基的树脂。以下，对这些树脂进行说明。〔苯乙烯-马来酸共聚物〕苯乙烯-马来酸共聚物的种类在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。苯乙烯-马来酸共聚物中的、苯乙烯马来酸的共聚比率质量比优选为19以上且91以下，更优选为28以上且81以下，特别优选为11以上且81以下。苯乙烯-马来酸共聚物的分子量没有特别限制，以按照聚苯乙烯换算的质均分子量计，优选为1000以上且100000以下，更优选为5000以上且12000以下。〔含有环氧基的树脂〕使用含有环氧基的树脂作为基材成分A时，根据需要，通过在固化剂、固化促进剂的存在下进行加热，能使含有环氧基的树脂所具有的环氧基彼此发生交联。结果，能得到耐热性、机械特性优异的固化物。含有环氧基的树脂没有特别限制，只要是由具有环氧基的分子构成的树脂即可。含有环氧基的树脂可以是使具有环氧基的单体或包含具有环氧基的单体的单体混合物聚合而得到的聚合物。含有环氧基的树脂可以是使用例如表氯醇这样的具有环氧基的化合物向具有羟基、羧基、氨基等具有反应性的官能团的聚合物中导入环氧基而得到的树脂。从入手、制备、聚合物中的环氧基的量的调整等容易进行方面考虑，作为具有环氧基的聚合物，优选为使具有环氧基的单体或包含具有环氧基的单体的单体混合物聚合而得到的聚合物。作为含有环氧基的树脂的优选的例子，可举出苯酚Novolac型环氧树脂、溴化苯酚Novolac型环氧树脂、邻甲酚Novolac型环氧树脂、双酚ANovolac型环氧树脂、及双酚ADNovolac型环氧树脂等Novolac环氧树脂；二环戊二烯型酚醛树脂的环氧化物等环式脂肪族环氧树脂；萘型酚醛树脂的环氧化物等芳香族环氧树脂。另外，含有环氧基的树脂中，从容易制备、或容易调整氢阻隔膜的物性方面考虑，优选具有环氧基的甲基丙烯酸酯的均聚物、或者具有环氧基的甲基丙烯酸酯与其他单体的共聚物。具有环氧基的甲基丙烯酸酯可以是具有链状脂肪族环氧基的甲基丙烯酸酯，也可以是后述那样的具有脂环式环氧基的甲基丙烯酸酯。另外，具有环氧基的甲基丙烯酸酯可包含芳香族基团。具有环氧基的甲基丙烯酸酯中，优选具有链状脂肪族环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯、具有脂环式环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯，更优选具有脂环式环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯，从图案化特性的观点考虑，进一步优选在脂环式环氧基中的环结构中包含多环式结构的具有脂环式环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯。作为包含芳香族基团、且具有环氧基的甲基丙烯酸酯的例子，可举出甲基丙烯酸4-缩水甘油基氧基苯酯、甲基丙烯酸3-缩水甘油基氧基苯酯、甲基丙烯酸2-缩水甘油基氧基苯酯、甲基丙烯酸4-缩水甘油基氧基苯基甲酯、甲基丙烯酸3-缩水甘油基氧基苯基甲酯、及甲基丙烯酸2-缩水甘油基氧基苯基甲酯等。作为具有链状脂肪族环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯的例子，可举出甲基丙烯酸环氧烷基酯、及甲基丙烯酸环氧烷基氧基烷基酯等之类的、在酯基-O-CO-中的氧基-O-上键合有链状脂肪族环氧基的甲基丙烯酸酯。这样的甲基丙烯酸酯所具有的链状脂肪族环氧基可以在链中包含1个或多个氧基-O-。链状脂肪族环氧基的碳原子数没有特别限制，优选为3以上且20以下，更优选为3以上且15以下，特别优选为3以上且10以下。作为具有链状脂肪族环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯的具体例，可举出甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸6，7-环氧庚酯等甲基丙烯酸环氧烷基酯；甲基丙烯酸2-缩水甘油基氧基乙酯、甲基丙烯酸3-缩水甘油基氧基正丙酯、甲基丙烯酸4-缩水甘油基氧基正丁酯、甲基丙烯酸5-缩水甘油基氧基正己酯、甲基丙烯酸6-缩水甘油基氧基正己酯等甲基丙烯酸环氧烷基氧基烷基酯。作为具有脂环式环氧基的脂肪族甲基丙烯酸酯的具体例，可举出例如下述式a05-1～a05-15表示的化合物。这些中，优选下述式a05-1～a05-5表示的化合物，更优选下述式a05-1～a05-2表示的化合物。另外，关于上述各化合物，酯基的氧原子在脂环上的键合部位不限于此处示出的位置，可包含一部分位置异构体。[化学式21][化学式22][化学式23]上述式中，Ra032表示氢原子或甲基，Ra033表示碳原子数为1以上且6以下的2价的脂肪族饱和烃基，Ra034表示碳原子数为1以上且10以下的2价烃基，t0表示0以上且10以下的整数。作为Ra033，优选直链状或支链状的亚烷基，例如亚甲基、亚乙基、亚丙基、1，4-亚丁基、乙基亚乙基、1，5-亚戊基、1，6-亚己基。作为Ra034，例如优选亚甲基、亚乙基、亚丙基、1，4-亚丁基、乙基亚乙基、1，5-亚戊基、1，6-亚己基、亚苯基、亚环己基。作为具有环氧基的聚合物，可使用具有环氧基的甲基丙烯酸酯的均聚物、及具有环氧基的甲基丙烯酸酯与其他单体的共聚物中的任一种，具有环氧基的聚合物中的、来自具有环氧基的甲基丙烯酸酯的单元的含量例如为1～100质量％，优选为10质量％以上且90质量％以下，更优选为30质量％以上且80质量％以下，特别优选为50质量％以上且75质量％以下。具有环氧基的聚合物为具有环氧基的甲基丙烯酸酯与其他单体的共聚物时，作为其他单体，可举出不饱和羧酸、不具有环氧基的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰胺类、烯丙基化合物、乙烯基醚类、乙烯基酯类、苯乙烯类等。这些化合物可以单独使用或组合2种以上而使用。从氢阻隔膜形成用组合物的保存稳定性、使用氢阻隔膜形成用组合物形成的氢阻隔膜相对于碱等的耐化学药品性方面考虑，具有环氧基的甲基丙烯酸酯与其他单体的共聚物优选不包含来自不饱和羧酸的单元。作为不饱和羧酸的例子，可举出甲基丙烯酸；甲基丙烯酰胺；巴豆酸；马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、这些二羧酸的酐。作为不具有环氧基的甲基丙烯酸酯的例子，可举出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸戊酯、甲基丙烯酸叔辛酯等直链状或支链状的甲基丙烯酸烷基酯；甲基丙烯酸氯乙酯、甲基丙烯酸2，2-二甲基羟基丙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、三羟甲基丙烷单甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸糠基酯；含有具有脂环式骨架的基团的甲基丙烯酸酯。不具有环氧基的甲基丙烯酸酯中，优选含有具有脂环式骨架的基团的甲基丙烯酸酯。含有具有脂环式骨架的基团的甲基丙烯酸酯中，构成脂环式骨架的脂环式基可以为单环，也可以为多环。作为单环的脂环式基，可举出环戊基、环己基等。另外，作为多环的脂环式基，可举出降冰片基、异冰片基、三环壬基、三环癸基、四环十二烷基等。作为含有具有脂环式骨架的基团的甲基丙烯酸酯，可举出例如下述式a06-1～a06-8表示的化合物。这些中，优选下述式a06-3～a06-8表示的化合物，更优选下述式a06-3或a06-4表示的化合物。[化学式24][化学式25]上述式中，Ra035表示氢原子或甲基，Ra036表示单键或碳原子数为1以上且6以下的2价的脂肪族饱和烃基，Ra037表示氢原子或碳原子数为1以上且5以下的烷基。作为Ra036，优选单键、直链状或支链状的亚烷基、例如亚甲基、亚乙基、亚丙基、1，4-亚丁基、乙基亚乙基、1，5-亚戊基、1，6-亚己基。作为Ra037，优选甲基、乙基。作为甲基丙烯酰胺类的例子，可举出甲基丙烯酰胺、N-烷基甲基丙烯酰胺、N-芳基甲基丙烯酰胺、N，N-二烷基甲基丙烯酰胺、N，N-芳基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基甲基丙烯酰胺、N-羟基乙基-N-甲基甲基丙烯酰胺等。作为烯丙基化合物的例子，可举出乙酸烯丙酯、己酸烯丙酯、辛酸烯丙酯、月桂酸烯丙酯、棕榈酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、乙酰乙酸烯丙酯、乳酸烯丙酯等烯丙基酯类；烯丙基氧基乙醇；等等。作为乙烯基醚类的例子，可举出己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、1-甲基-2，2-二甲基丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羟基乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯基醚、二甲基氨基乙基乙烯基醚、二乙基氨基乙基乙烯基醚、丁基氨基乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、四氢糠基乙烯基醚等脂肪族乙烯基醚；乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基-2，4-二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、乙烯基蒽基醚等乙烯基芳基醚；等等。作为乙烯基酯类的例子，可举出丁酸乙烯酯、异丁酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、二乙基乙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、己酸乙烯酯、氯乙酸乙烯酯、二氯乙酸乙烯酯、甲氧基乙酸乙烯酯、丁氧基乙酸乙烯酯、苯基乙酸乙烯酯、乙酰乙酸乙烯酯、乳酸乙烯酯、β-苯基丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、水杨酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、萘甲酸乙烯酯等。作为苯乙烯类的例子，可举出苯乙烯；甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、异丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、环己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酰氧基甲基苯乙烯等烷基苯乙烯；甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等烷氧基苯乙烯；氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等卤代苯乙烯；等等。含有环氧基的树脂的分子量在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，以按照聚苯乙烯换算的质均分子量计，优选为3,000以上且30,000以下，更优选为5,000以上且15,000以下。使用上述的热固性材料作为基材成分A时，根据需要，氢阻隔膜形成用组合物可包含固化剂、固化促进剂、脱水缩合剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、阻燃剂、脱模剂、增塑剂、填充材料、及增强材料等添加剂、增强材料。另外，为了使制膜容易进行，氢阻隔膜形成用组合物可包含溶剂。溶剂的种类可根据热固性材料的种类适当选择。氢阻隔膜形成用组合物包含上述的热固性材料、和氢阻隔剂B时，相对于氢阻隔膜形成用组合物的热固性材料的质量而言，氢阻隔剂的含量优选为0.01质量％以上且30质量％以下，更优选为0.05质量％以上且20质量％以下，特别优选为0.1质量％以上且10质量％以下。作为氢阻隔膜形成用组合物，除了包含上文中说明的基材成分A的组合物以外，作为所谓光致抗蚀剂组合物而为人所知的感光性组合物也是优选的。通过在现有已知的各种感光性组合物中添加规定量的前述的氢阻隔剂B，能得到感光性的氢阻隔膜形成用组合物。在现有已知的感光性组合物中，可包含各种光固化性的化合物、碱溶性树脂、通过曝光而提高相对于碱的溶解性的树脂等作为基材成分A。感光性的氢阻隔膜形成用组合物可以是通过曝光而变得不溶于显影液的负型的感光性组合物，也可以是通过曝光而变得可溶于显影液的正型的感光性组合物。以下，对优选的感光性组合物进行说明。1第1方式的感光性组合物第1方式的感光性组合物是不仅含有碱溶性树脂A1、光聚合性化合物A2、及光聚合引发剂C、还含有氢阻隔剂B、及有机溶剂的负型感光性组合物。第1方式的感光性组合物中，碱溶性树脂A1和光聚合性化合物A2属于基材成分A。作为第1方式的感光性组合物中的碱溶性树脂A1，没有特别限制，可使用现有已知的碱溶性树脂。该碱溶性树脂A1可具有烯键式不饱和基团，也可不具有烯键式不饱和基团。需要说明的是，本说明书中，所谓碱溶性树脂，是指：利用树脂浓度为20质量％的树脂溶液溶剂：丙二醇单甲基醚乙酸酯在基板上形成膜厚为1μm的树脂膜，在2.38质量％的四甲基氢氧化铵TMAH水溶液中浸渍1分钟时，膜厚溶解0.01μm以上的树脂。作为具有烯键式不饱和基团的碱溶性树脂A1，例如可使用通过使环氧化合物与不饱和羧酸的反应产物进一步与多元酸酐反应而得到的树脂。其中，优选下述式a-1表示的树脂。该式a-1表示的树脂从其本身光固化性高方面考虑是优选的。[化学式26]上述式a-1中，Xa表示下述式a-2表示的基团。[化学式27]上述式a-2中，Ra1各自独立地表示氢原子、碳原子数为1以上且6以下的烃基、或卤素原子，Ra2各自独立地表示氢原子或甲基，Wa表示单键或下述式a-3表示的基团。[化学式28]另外，上述式a-1中，Ya表示从二羧酸酐中除去酸酐基-CO-O-CO-后剩余的残基。作为二羧酸酐的例子，可举出马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基内亚甲基四氢邻苯二甲酸酐、氯菌酸酐ChlorendicAnhydride、甲基四氢邻苯二甲酸酐、戊二酸酐等。另外，上述式a-1中，Za表示从四羧酸二酐中除去2个酸酐基后剩余的残基。作为四羧酸二酐的例子，可举出均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四甲酸二酐、联苯四甲酸二酐、二苯基醚四甲酸二酐等。另外，上述式a-1中，m表示0以上且20以下的整数。另外，作为具有烯键式不饱和基团的碱溶性树脂A1，也可使用使甲基丙烯酸与将多元醇类与一元酸或多元酸缩合而得到的聚酯预聚物反应而得到的聚酯甲基丙烯酸酯；使多元醇与具有2个异氰酸酯基的化合物反应、然后与甲基丙烯酸进行反应而得到的聚氨酯甲基丙烯酸酯；使双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚或甲酚Novolac型环氧树脂、Resol型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、聚羧酸聚缩水甘油酯、多元醇聚缩水甘油酯、脂肪族或脂环式环氧树脂、胺环氧树脂、二羟基苯型环氧树脂等环氧树脂、与甲基丙烯酸反应而得到的环氧甲基丙烯酸酯树脂等。需要说明的是，本说明书中，“甲基丙烯酸”表示丙烯酸和甲基丙烯酸这两方。同样地，“甲基丙烯酸酯”表示丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯这两方。另一方面，作为不具有烯键式不饱和基团的碱溶性树脂A1，可使用使不饱和羧酸、与其他不饱和化合物共聚而得到的树脂。作为其他不饱和化合物，优选使用选自含有环氧基的不饱和化合物、及含有脂环式基的不饱和化合物中的至少1种。作为不饱和羧酸，可举出甲基丙烯酸、巴豆酸等单羧酸；马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等二羧酸；这些二羧酸的酐；等等。这些中，从共聚反应性、得到的树脂的碱溶解性、入手的容易性等方面考虑，优选甲基丙烯酸及马来酸酐。这些不饱和羧酸可以单独使用或组合2种以上而使用。作为含有环氧基的不饱和化合物，可举出不具有脂环式基的含有环氧基的不饱和化合物、和具有脂环式基的含有环氧基的不饱和化合物。作为具有脂环式基的含有环氧基的不饱和化合物，可举出前述的式a05-1～a05-15表示的化合物。作为不具有脂环式基的含有环氧基的不饱和化合物，可举出甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸6，7-环氧庚酯等甲基丙烯酸环氧烷基酯；甲基丙烯酸2-缩水甘油基氧基乙酯、甲基丙烯酸3-缩水甘油基氧基正丙酯、甲基丙烯酸4-缩水甘油基氧基正丁酯、甲基丙烯酸5-缩水甘油基氧基正戊酯、甲基丙烯酸6-缩水甘油基氧基正己酯等甲基丙烯酸环氧烷基氧基烷基酯；α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸6，7-环氧庚酯等α-烷基丙烯酸环氧烷基酯类；邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚等缩水甘油基醚类；等等。这些中，从共聚反应性、固化后的树脂的强度等方面考虑，优选甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸6，7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、及对乙烯基苄基缩水甘油基醚。这些含有环氧基的不饱和化合物可以单独使用或组合2种以上而使用。作为含有脂环式基的不饱和化合物，没有特别限制，只要是具有脂环式基的不饱和化合物即可。脂环式基可以为单环，也可以为多环。作为单环的脂环式基，可举出环戊基、环己基等。另外，作为多环的脂环式基，可举出金刚烷基、降冰片基、异冰片基、三环壬基、三环癸基、四环十二烷基等。具体而言，作为含有脂环式基的不饱和化合物，可举出例如前述的式a06-1～a06-8表示的化合物。使不饱和羧酸进一步与上述以外的其他化合物聚合也是优选的。作为这样的其他化合物，可举出甲基丙烯酸酯类、甲基丙烯酰胺类、烯丙基化合物、乙烯基醚类、乙烯基酯类、苯乙烯类、马来酰亚胺类等。这些化合物可以单独使用或组合2种以上而使用。作为甲基丙烯酸酯类，可举出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸戊酯、甲基丙烯酸叔辛酯等直链状或支链状的甲基丙烯酸烷基酯；甲基丙烯酸氯乙酯、甲基丙烯酸2，2-二甲基羟基丙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、三羟甲基丙烷单甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸糠基酯；等等。作为甲基丙烯酰胺类，可举出甲基丙烯酰胺、N-烷基甲基丙烯酰胺、N-芳基甲基丙烯酰胺、N，N-二烷基甲基丙烯酰胺、N，N-芳基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基甲基丙烯酰胺、N-羟基乙基-N-甲基甲基丙烯酰胺等。作为烯丙基化合物，可举出乙酸烯丙酯、己酸烯丙酯、辛酸烯丙酯、月桂酸烯丙酯、棕榈酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、乙酰乙酸烯丙酯、乳酸烯丙酯等烯丙基酯类；烯丙基氧基乙醇；等等。作为乙烯基醚类，可举出己基乙烯基醚、辛基乙烯基醚、癸基乙烯基醚、乙基己基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、1-甲基-2，2-二甲基丙基乙烯基醚、2-乙基丁基乙烯基醚、羟基乙基乙烯基醚、二乙二醇乙烯基醚、二甲基氨基乙基乙烯基醚、二乙基氨基乙基乙烯基醚、丁基氨基乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、四氢糠基乙烯基醚等烷基乙烯基醚；乙烯基苯基醚、乙烯基甲苯基醚、乙烯基氯苯基醚、乙烯基-2，4-二氯苯基醚、乙烯基萘基醚、乙烯基蒽基醚等乙烯基芳基醚；等等。作为乙烯基酯类，可举出丁酸乙烯酯、异丁酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、二乙基乙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、己酸乙烯酯、氯乙酸乙烯酯、二氯乙酸乙烯酯、甲氧基乙酸乙烯酯、丁氧基乙酸乙烯酯、苯基乙酸乙烯酯、乙酰乙酸乙烯酯、乳酸乙烯酯、β-苯基丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、水杨酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、萘甲酸乙烯酯等。作为苯乙烯类，可举出苯乙烯；甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、异丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、环己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯、乙酰氧基甲基苯乙烯等烷基苯乙烯；甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯、二甲氧基苯乙烯等烷氧基苯乙烯；氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯、4-氟-3-三氟甲基苯乙烯等卤代苯乙烯；等等。作为马来酰亚胺类，可举出N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-正丙基马来酰亚胺、N-异丙基马来酰亚胺、N-正丁基马来酰亚胺、N-正戊基马来酰亚胺、N-正己基马来酰亚胺等用碳原子数为1以上且10以下的烷基进行了N取代的马来酰亚胺；N-环戊基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-环庚基马来酰亚胺等用碳原子数为3以上且20以下的脂环式基进行了N取代的马来酰亚胺：N-苯基马来酰亚胺、N-α-萘基马来酰亚胺、N-β-萘基马来酰亚胺等用碳原子数为6以上且20以下的芳基进行了N取代的N-芳基马来酰亚胺；N-苄基马来酰亚胺、N-苯乙基马来酰亚胺等用碳原子数为7以上且20以下的芳烷基进行了N取代的N-芳烷基马来酰亚胺。另外，至少含有来自不饱和羧酸的结构单元、和具有可与后述的光聚合性化合物A2聚合的部位的结构单元的共聚物，或至少含有来自不饱和羧酸的结构单元、来自含有环氧基的不饱和化合物的结构单元、和具有可与后述的光聚合性化合物A2聚合的部位的结构单元的共聚物也可作为碱溶性树脂A1而合适地使用。使用这些碱溶性树脂时，能形成机械强度优异、与基板的密合性优异的氢阻隔膜。上述的含有具有可与光聚合性化合物A2聚合的部位的结构单元的共聚物可以进一步具有来自上述的甲基丙烯酸酯类、甲基丙烯酰胺类、烯丙基化合物、乙烯基醚类、乙烯基酯类、苯乙烯类、及马来酰亚胺类等的1种以上的结构单元。具有可与光聚合性化合物A2聚合的部位的结构单元优选具有烯键式不饱和基团作为可与光聚合性化合物A2聚合的部位。具有这样的结构单元的共聚物可通过使不饱和羧酸的均聚物中包含的羧基的至少一部分、与含有环氧基的不饱和化合物反应来制备。另外，通过使具有来自不饱和羧酸的结构单元和来自含有环氧基的不饱和化合物的结构单元的共聚物中的环氧基的至少一部分、与不饱和羧酸反应，也能制备含有具有可与光聚合性化合物A2聚合的部位的结构单元的共聚物。该碱溶性树脂A1中的来自上述不饱和羧酸的结构单元的比例优选为3质量％以上且25质量％以下，更优选为5质量％以上且25质量％以下。另外，来自上述含有环氧基的不饱和化合物的结构单元的比例优选为30质量％以上且95质量％以下，更优选为50质量％以上且90质量％以下。另外，来自上述含有脂环式基的不饱和化合物的结构单元的比例优选为1质量％以上且30质量％以下，更优选为3质量％以上且25质量％以下，进一步优选为5质量％以上且20质量％以下。通过成为上述的范围，能在使得到的树脂的碱溶性适度的同时，提高感光性组合物与基板的密合性、感光性组合物的固化后的强度。碱溶性树脂A1的质均分子量优选为1000以上且40000以下，更优选为2000以上且30000以下。通过成为上述的范围，能在得到良好的显影性的同时，得到充分的耐热性、膜强度。相对于第1方式的感光性组合物的固态成分而言，碱溶性树脂A1的含量优选为5质量％以上且80质量％以下，更优选为15质量％以上且50质量％以下。通过成为上述的范围，存在容易取得显影性的均衡性的倾向。作为第1方式的感光性组合物中的光聚合性化合物A2，有单官能单体和多官能单体。作为单官能单体，可举出甲基丙烯酰胺、羟甲基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基甲基丙烯酰胺、丙氧基甲基甲基丙烯酰胺、丁氧基甲氧基甲基甲基丙烯酰胺、N-羟甲基甲基丙烯酰胺、N-羟基甲基甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、巴豆酸、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸、叔丁基丙烯酰胺基磺酸、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯、甲基丙烯酸2-羟基丁酯、甲基丙烯酸2-苯氧基-2-羟基丙酯、邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基-2-羟基丙酯、甘油单甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸四氢糠基酯、二甲基氨基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2，2，2-三氟乙酯、甲基丙烯酸2，2，3，3-四氟丙酯、邻苯二甲酸衍生物的甲基丙烯酸半酯等。这些单官能单体可以单独使用或组合2种以上而使用。另一方面，作为多官能单体，可举出乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、丁二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、甘油二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、2，2-双4-甲基丙烯酰氧基二乙氧基苯基丙烷、2，2-双4-甲基丙烯酰氧基多乙氧基苯基丙烷、甲基丙烯酸2-羟基-3-甲基丙烯酰基氧基丙酯、乙二醇二缩水甘油基醚二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油基醚二甲基丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二甲基丙烯酸酯、甘油三丙烯酸酯、甘油聚缩水甘油基醚聚甲基丙烯酸酯、氨基甲酸酯甲基丙烯酸酯即，甲苯二异氰酸酯、三甲基-1，6-己二异氰酸酯与1，6-己二异氰酸酯与甲基丙烯酸2-羟基乙酯的反应产物、亚甲基双甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺基亚甲基醚、多元醇与N-羟甲基甲基丙烯酰胺的缩合物等多官能单体、1，3，5-三丙烯酰基六氢-1，3，5-三嗪triacrylformal等。这些多官能单体可以单独使用或组合2种以上而使用。相对于第1方式的感光性组合物的固态成分而言，光聚合性化合物A2的含量优选为1质量％以上且30质量％以下，更优选为5质量％以上且20质量％以下。通过成为上述的范围，存在容易取得敏感度、显影性、分辨性的均衡性的倾向。作为第1方式的感光性组合物中的光聚合引发剂C，没有特别限制，可使用现有已知的光聚合引发剂。作为光聚合引发剂C，具体而言，可举出1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-〔4-2-羟基乙氧基苯基〕-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-4-异丙基苯基-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-4-十二烷基苯基-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、双4-二甲基氨基苯基酮、2-甲基-1-〔4-甲基硫基苯基〕-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-4-吗啉代苯基-丁烷-1-酮、1-[9-乙基-6-2-甲基苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]乙酮1-O-乙酰肟、9-乙基-6-硝基-9H-咔唑-3-基[4-2-甲氧基-1-甲基乙氧基-2-甲基苯基]甲酮O-乙酰肟、2-苯甲酰基氧基亚氨基-1-[4-苯基硫基苯基]-1-辛酮、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、4-苯甲酰基-4’-甲基二甲基硫醚、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸丁酯、4-二甲基氨基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲基氨基-2-异戊基苯甲酸、苯偶酰-β-甲氧基乙基缩醛、苯偶酰二甲基缩酮、1-苯基-1，2-丙二酮-2-O-乙氧基羰基肟、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、2，4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、噻吨、2-氯噻吨、2，4-二乙基噻吨、2-甲基噻吨、2-异丙基噻吨、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、偶氮双异丁腈、过氧化苯甲酰、过氧化氢异丙苯、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并噻唑、2-邻氯苯基-4，5-二间甲氧基苯基-咪唑基二聚体、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4，4’-双二甲基氨基二苯甲酮、4，4’-双二乙基氨基二苯甲酮、4，4’-二氯二苯甲酮、3，3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苯偶酰、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻正丁基醚、苯偶姻异丁基醚、苯偶姻丁基醚、苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲基氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、对叔丁基苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、α，α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮dibenzosuberone、4-二甲基氨基苯甲酸戊酯、9-苯基吖啶、1，7-双-9-吖啶基庚烷、1，5-双-9-吖啶基戊烷、1，3-双-9-吖啶基丙烷、对甲氧基三嗪、2，4，6-三三氯甲基均三嗪、2-甲基-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-[2-5-甲基呋喃-2-基乙烯基]-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-[2-呋喃-2-基乙烯基]-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-[2-4-二乙基氨基-2-甲基苯基乙烯基]-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-[2-3，4-二甲氧基苯基乙烯基]-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-4-甲氧基苯基-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-4-乙氧基苯乙烯基-4，6-双三氯甲基均三嗪、2-4-正丁氧基苯基-4，6-双三氯甲基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-3-溴-4-甲氧基苯基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-2-溴-4-甲氧基苯基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-3-溴-4-甲氧基苯乙烯基苯基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-2-溴-4-甲氧基苯乙烯基苯基均三嗪等。这些光聚合引发剂可以单独使用或组合2种以上而使用。这些中，从敏感度方面考虑，特别优选使用肟系的光聚合引发剂。作为肟系的光聚合引发剂中特别优选的化合物，可举出O-乙酰基-1-[6-2-甲基苯甲酰基-9-乙基-9H-咔唑-3-基]乙酮肟、1-[9-乙基-6-吡咯-2-基羰基-9H-咔唑-3-基]乙酮1-O-乙酰肟、及1-4-苯基硫基-1，2-辛烷二酮2-O-苯甲酰基肟。作为光聚合引发剂，另外还优选使用下述式c1表示的肟系化合物。[化学式29]Rc1为选自由1价有机基团、氨基、卤素、硝基、及氰基组成的组中的基团，n1为0以上且4以下的整数，n2为0或1，Rc2为可以具有取代基的苯基、或可以具有取代基的咔唑基，Rc3为氢原子、或碳原子数为1以上且6以下的烷基。式c1中，Rc1在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，可从各种有机基团中适当选择。作为Rc1为有机基团时的优选例，可举出烷基、烷氧基、环烷基、环烷氧基、饱和脂肪族酰基、饱和脂肪族酰基氧基、烷氧基羰基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯氧基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的苯甲酰基氧基、可以具有取代基的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘氧基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的萘甲酰基氧基、可以具有取代基的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、氨基、被1个或2个有机基团取代的氨基、吗啉-1-基、及哌嗪-1-基、卤素、硝基、及氰基等。n1为2以上且4以下的整数时，Rc1可以相同也可以不同。另外，取代基的碳原子数中不包括取代基进一步具有的取代基的碳原子数。Rc1为烷基时，优选碳原子数为1以上且20以下，更优选碳原子数为1以上且6以下。另外，Rc1为烷基时，可以为直链，也可以为支链。作为Rc1为烷基时的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、正己基、正庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、正壬基、异壬基、正癸基、及异癸基等。另外，Rc1为烷基时，烷基可以在碳链中包含醚键-O-。作为在碳链中具有醚键的烷基的例子，可举出甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙基氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。Rc1为烷氧基时，优选碳原子数为1以上且20以下，更优选碳原子数为1以上且6以下。另外，Rc1为烷氧基时，可以为直链，也可以为支链。作为Rc1为烷氧基时的具体例，可举出甲氧基、乙氧基、正丙基氧基、异丙基氧基、正丁基氧基、异丁基氧基、仲丁基氧基、叔丁基氧基、正戊基氧基、异戊基氧基、仲戊基氧基、叔戊基氧基、正己基氧基、正庚基氧基、正辛基氧基、异辛基氧基、仲辛基氧基、叔辛基氧基、正壬基氧基、异壬基氧基、正癸基氧基、及异癸基氧基等。另外，Rc1为烷氧基时，烷氧基可以在碳链中包含醚键-O-。作为在碳链中具有醚键的烷氧基的例子，可举出甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙基氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙基氧基等。Rc1为环烷基或环烷氧基时，优选碳原子数为3以上且10以下，更优选碳原子数为3以上且6以下。作为Rc1为环烷基时的具体例，可举出环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、及环辛基等。作为Rc1为环烷氧基时的具体例，可举出环丙基氧基、环丁基氧基、环戊基氧基、环己基氧基、环庚基氧基、及环辛基氧基等。Rc1为饱和脂肪族酰基、或饱和脂肪族酰基氧基时，优选碳原子数为2以上且20以下，更优选碳原子数为2以上且7以下。作为Rc1为饱和脂肪族酰基时的具体例，可举出乙酰基、丙酰基、正丁酰基、2-甲基丙酰基、正戊酰基、2，2-二甲基丙酰基、正己酰基、正庚酰基、正辛酰基、正壬酰基、正癸酰基、正十一烷酰基、正十二烷酰基、正十三烷酰基、正十四烷酰基、正十五烷酰基、及正十六烷酰基等。作为Rc1为饱和脂肪族酰基氧基时的具体例，可举出乙酰基氧基、丙酰基氧基、正丁酰基氧基、2-甲基丙酰基氧基、正戊酰基氧基、2，2-二甲基丙酰基氧基、正己酰基氧基、正庚酰基氧基、正辛酰基氧基、正壬酰基氧基、正癸酰基氧基、正十一烷酰基氧基、正十二烷酰基氧基、正十三烷酰基氧基、正十四烷酰基氧基、正十五烷酰基氧基、及正十六烷酰基氧基等。Rc1为烷氧基羰基时，优选碳原子数为2以上且20以下，更优选碳原子数为2以上且7以下。作为Rc1为烷氧基羰基时的具体例，可举出甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙基氧基羰基、异丙基氧基羰基、正丁基氧基羰基、异丁基氧基羰基、仲丁基氧基羰基、叔丁基氧基羰基、正戊基氧基羰基、异戊基氧基羰基、仲戊基氧基羰基、叔戊基氧基羰基、正己基氧基羰基、正庚基氧基羰基、正辛基氧基羰基、异辛基氧基羰基、仲辛基氧基羰基、叔辛基氧基羰基、正壬基氧基羰基、异壬基氧基羰基、正癸基氧基羰基、及异癸基氧基羰基等。Rc1为苯基烷基时，优选碳原子数为7以上且20以下，更优选碳原子数为7以上且10以下。另外，Rc1为萘基烷基时，优选碳原子数为11以上且20以下，更优选碳原子数为11以上且14以下。作为Rc1为苯基烷基时的具体例，可举出苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作为Rc1为萘基烷基时的具体例，可举出α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-α-萘基乙基、及2-β-萘基乙基。Rc1为苯基烷基、或萘基烷基时，Rc1可以在苯基、或萘基上进一步具有取代基。Rc1为杂环基时，杂环基为包含1个以上N、S、O的五元或六元的单环，或为所述单环彼此稠合、或所述单环与苯环稠合而成的杂环基。杂环基为稠环时，环数为3以下。作为构成所述杂环基的杂环，可举出呋喃、噻吩、吡咯、噁唑、异噁唑、噻唑、噻二唑、异噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、哒嗪、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、异吲哚、吲哚嗪、苯并咪唑、苯并三唑、苯并噁唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、异喹啉、喹唑啉、酞嗪、噌啉、及喹喔啉等。Rc1为杂环基时，杂环基可以进一步具有取代基。Rc1为被1个或2个有机基团取代的氨基时，关于有机基团的优选例，可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、碳原子数为3以上且10以下的环烷基、碳原子数为2以上且20以下的饱和脂肪族酰基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的碳原子数为11以上且20以下的萘基烷基、及杂环基等。这些优选的有机基团的具体例与Rc1同样。作为被1个或2个有机基团取代的氨基的具体例，可举出甲基氨基、乙基氨基、二乙基氨基、正丙基氨基、二正丙基氨基、异丙基氨基、正丁基氨基、二正丁基氨基、正戊基氨基、正己基氨基、正庚基氨基、正辛基氨基、正壬基氨基、正癸基氨基、苯基氨基、萘基氨基、乙酰基氨基、丙酰基氨基、正丁酰基氨基、正戊酰基氨基、正己酰基氨基、正庚酰基氨基、正辛酰基氨基、正癸酰基氨基、苯甲酰基氨基、α-萘甲酰基氨基、及β-萘甲酰基氨基等。作为Rc1中包含的苯基、萘基及杂环基进一步具有取代基时的取代基，可举出碳原子数为1以上且6以下的烷基、碳原子数为1以上且6以下的烷氧基、碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基、碳原子数为2以上且7以下的烷氧基羰基、碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基氧基、具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的单烷基氨基、具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的二烷基氨基、吗啉-1-基、哌嗪-1-基、卤素、硝基、及氰基等。Rc1中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时，其取代基的个数在不妨碍本发明的目的的范围内没有限制，优选为1以上且4以下。Rc1中包含的苯基、萘基、及杂环基具有多个取代基时，多个取代基可以相同也可以不同。Rc1中，从化学稳定、立体障碍小、肟酯化合物的合成容易等方面考虑，优选选自由碳原子数为1以上且6以下的烷基、碳原子数为1以上且6以下的烷氧基、及碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基组成的组中的基团，更优选碳原子数为1以上且6以下的烷基，特别优选甲基。对于Rc1所键合的苯基，将苯基与肟酯化合物的主骨架的化学键的位置作为1位，将甲基的位置作为2位时，Rc1在苯基上键合的位置优选为4位或5位，更优选为5位。另外，n1优选为0以上且3以下的整数，更优选为0以上且2以下的整数，特别优选为0或1。Rc2为可以具有取代基的苯基或可以具有取代基的咔唑基。另外，Rc2为可以具有取代基的咔唑基时，咔唑基上的氮原子可以被碳原子数为1以上且6以下的烷基取代。Rc2中，苯基或咔唑基所具有的取代基在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。作为苯基或咔唑基可以在碳原子上具有的优选的取代基的例子，可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、碳原子数为1以上且20以下的烷氧基、碳原子数为3以上且10以下的环烷基、碳原子数为3以上且10以下的环烷氧基、碳原子数为2以上且20以下的饱和脂肪族酰基、碳原子数为2以上且20以下的烷氧基羰基、碳原子数为2以上且20以下的饱和脂肪族酰基氧基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯氧基、可以具有取代基的苯基硫基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的苯甲酰基氧基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘氧基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的萘甲酰基氧基、可以具有取代基的碳原子数为11以上且20以下的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、可以具有取代基的杂环基羰基、氨基、被1个或2个有机基团取代的氨基、吗啉-1-基、及哌嗪-1-基、卤素、硝基、及氰基等。Rc2为咔唑基时，作为咔唑基可以在氮原子上具有的优选的取代基的例子，可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、碳原子数为3以上且10以下的环烷基、碳原子数为2以上且20以下的饱和脂肪族酰基、碳原子数为2以上且20以下的烷氧基羰基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的碳原子数为11以上且20以下的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、及可以具有取代基的杂环基羰基等。这些取代基中，优选碳原子数为1以上且20以下的烷基，更优选碳原子数为1以上且6以下的烷基，特别优选乙基。关于苯基或咔唑基可以具有的取代基的具体例，关于烷基、烷氧基、环烷基、环烷氧基、饱和脂肪族酰基、烷氧基羰基、饱和脂肪族酰基氧基、可以具有取代基的苯基烷基、可以具有取代基的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、及被1个或2个有机基团取代的氨基，与Rc1同样。Rc2中，作为苯基或咔唑基所具有的取代基中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时的取代基的例子，可举出碳原子数为1以上且6以下的烷基；碳原子数为1以上且6以下的烷氧基；碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基；碳原子数为2以上且7以下的烷氧基羰基；碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基氧基；苯基；萘基；苯甲酰基；萘甲酰基；被选自由碳原子数为1以上且6以下的烷基、吗啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基组成的组中的基团取代的苯甲酰基；具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的单烷基氨基；具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的二烷基氨基；吗啉-1-基；哌嗪-1-基；卤素；硝基；氰基。苯基或咔唑基所具有的取代基中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时，其取代基的个数在不妨碍本发明的目的的范围内没有限制，优选为1以上且4以下。苯基、萘基、及杂环基具有多个取代基时，多个取代基可以相同也可以不同。Rc2中，从容易得到灵敏度优异的光聚合引发剂方面考虑，优选下述式c2、或c3表示的基团，更优选下述式c2表示的基团，特别优选A为S的下述式c2表示的基团。[化学式30]Rc4为选自由1价有机基团、氨基、卤素、硝基、及氰基组成的组中的基团，A为S或O，n3为0以上且4以下的整数。[化学式31]Rc5及Rc6各自为1价有机基团。式c2中的Rc4为有机基团时，可以在不妨碍本发明的目的的范围内从各种有机基团中选择。作为式c2中Rc4为有机基团时的优选例，可举出碳原子数为1以上且6以下的烷基；碳原子数为1以上且6以下的烷氧基；碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基；碳原子数为2以上且7以下的烷氧基羰基；碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基氧基；苯基；萘基；苯甲酰基；萘甲酰基；被选自由碳原子数为1以上且6以下的烷基、吗啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基组成的组中的基团取代的苯甲酰基；具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的单烷基氨基；具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的二烷基氨基；吗啉-1-基；哌嗪-1-基；卤素；硝基；氰基。Rc4中，优选苯甲酰基；萘甲酰基；被选自由碳原子数为1以上且6以下的烷基、吗啉-1-基、哌嗪-1-基、及苯基组成的组中的基团取代的苯甲酰基；硝基，更优选苯甲酰基；萘甲酰基；2-甲基苯基羰基；4-哌嗪-1-基苯基羰基；4-苯基苯基羰基。另外，式c2中，n3优选为0以上且3以下的整数，更优选为0以上且2以下的整数，特别优选为0或1。n3为1时，Rc4的键合位置优选相对于Rc4所键合的苯基与氧原子或硫原子键合的化学键为对位。式c3中的Rc5可以在不妨碍本发明的目的的范围内从各种有机基团中选择。作为Rc5的优选例，可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、碳原子数为3以上且10以下的环烷基、碳原子数为2以上且20以下的饱和脂肪族酰基、碳原子数为2以上且20以下的烷氧基羰基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的碳原子数为11以上且20以下的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、及可以具有取代基的杂环基羰基等。Rc5中，优选碳原子数为1以上且20以下的烷基，更优选碳原子数为1以上且6以下的烷基，特别优选乙基。式c3中的Rc6在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，可以从各种有机基团中选择。关于作为Rc6而优选的基团的具体例，可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的萘基、及可以具有取代基的杂环基。作为Rc6，这些基团中，更优选可以具有取代基的苯基，特别优选2-甲基苯基。作为Rc4、Rc5、或Rc6中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时的取代基，可举出碳原子数为1以上且6以下的烷基、碳原子数为1以上且6以下的烷氧基、碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基、碳原子数为2以上且7以下的烷氧基羰基、碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基氧基、具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的单烷基氨基、具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的二烷基氨基、吗啉-1-基、哌嗪-1-基、卤素、硝基、及氰基等。Rc4、Rc5、或Rc6中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时，其取代基的个数在不妨碍本发明的目的的范围内没有限制，优选为1以上且4以下。Rc4、Rc5、或Rc6中包含的苯基、萘基、及杂环基具有多个取代基时，多个取代基可以相同也可以不同。式c1中的Rc3为氢原子、或碳原子数为1以上且6以下的烷基。作为Rc3，优选甲基、或乙基，更优选甲基。式c1表示的肟酯化合物中，作为特别优选的化合物，可举出下述的PI-1～PI-42。[化学式32][化学式33][化学式34][化学式35][化学式36][化学式37]另外，下述式c4表示的肟酯化合物也优选作为光聚合引发剂。[化学式38]Rc7为氢原子、硝基或1价有机基团，Rc8及Rc9各自为可以具有取代基的链状烷基、可以具有取代基的环状有机基团、或氢原子，Rc8与Rc9可以相互键合而形成环，Rc10为1价有机基团，Rc11为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基，n4为0以上且4以下的整数，n5为0或1。此处，作为用于制造式c4的肟酯化合物的肟化合物，优选下式c5表示的化合物。[化学式39]Rc7、Rc8、Rc9、Rc10、n4、及n5与式c4同样。式c4及c5中，Rc7为氢原子、硝基或1价有机基团。Rc7在式c4中的芴环上键合于与-COn5-表示的基团所键合的六元芳香环不同的六元芳香环。式c4中，Rc7在芴环上的键合位置没有特别限制。式c4表示的化合物具有1个以上Rc7时，从式c4表示的化合物的合成容易等方面考虑，优选1个以上Rc7中的1个键合于芴环中的2位。Rc7为多个时，多个Rc7可以相同也可以不同。Rc7为有机基团时，Rc7在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，可从各种有机基团中适当选择。作为Rc7为有机基团时的优选例，可举出烷基、烷氧基、环烷基、环烷氧基、饱和脂肪族酰基、饱和脂肪族酰基氧基、烷氧基羰基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯氧基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的苯甲酰基氧基、可以具有取代基的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘氧基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的萘甲酰基氧基、可以具有取代基的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、可以具有取代基的杂环基羰基、被1个或2个有机基团取代的氨基、吗啉-1-基、及哌嗪-1-基等。Rc7为烷基时，烷基的碳原子数优选为1以上且20以下，更优选为1以上且6以下。另外，Rc7为烷基时，可以为直链，也可以为支链。作为Rc7为烷基时的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、正己基、正庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、正壬基、异壬基、正癸基、及异癸基等。另外，Rc7为烷基时，烷基可以在碳链中包含醚键-O-。作为在碳链中具有醚键的烷基的例子，可举出甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙基氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。Rc7为烷氧基时，烷氧基的碳原子数优选为1以上且20以下，更优选为1以上且6以下。另外，Rc7为烷氧基时，可以为直链，也可以为支链。作为Rc7为烷氧基时的具体例，可举出甲氧基、乙氧基、正丙基氧基、异丙基氧基、正丁基氧基、异丁基氧基、仲丁基氧基、叔丁基氧基、正戊基氧基、异戊基氧基、仲戊基氧基、叔戊基氧基、正己基氧基、正庚基氧基、正辛基氧基、异辛基氧基、仲辛基氧基、叔辛基氧基、正壬基氧基、异壬基氧基、正癸基氧基、及异癸基氧基等。另外，可举出Rc7为烷氧基时，烷氧基可以在碳链中包含醚键-O-。作为在碳链中具有醚键的烷氧基的例子，可举出甲氧基乙氧基、乙氧基乙氧基、甲氧基乙氧基乙氧基、乙氧基乙氧基乙氧基、丙基氧基乙氧基乙氧基、及甲氧基丙基氧基等。Rc7为环烷基或环烷氧基时，环烷基或环烷氧基的碳原子数优选为3以上且10以下，更优选为3以上且6以下。作为Rc7为环烷基时的具体例，可举出环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、及环辛基等。作为Rc7为环烷氧基时的具体例，可举出环丙基氧基、环丁基氧基、环戊基氧基、环己基氧基、环庚基氧基、及环辛基氧基等。Rc7为饱和脂肪族酰基或饱和脂肪族酰基氧基时，饱和脂肪族酰基或饱和脂肪族酰基氧基的碳原子数优选为2以上且21以下，更优选为2以上且7以下。作为Rc7为饱和脂肪族酰基时的具体例，可举出乙酰基、丙酰基、正丁酰基、2-甲基丙酰基、正戊酰基、2，2-二甲基丙酰基、正己酰基、正庚酰基、正辛酰基、正壬酰基、正癸酰基、正十一烷酰基、正十二烷酰基、正十三烷酰基、正十四烷酰基、正十五烷酰基、及正十六烷酰基等。作为Rc7为饱和脂肪族酰基氧基时的具体例，可举出乙酰基氧基、丙酰基氧基、正丁酰基氧基、2-甲基丙酰基氧基、正戊酰基氧基、2，2-二甲基丙酰基氧基、正己酰基氧基、正庚酰基氧基、正辛酰基氧基、正壬酰基氧基、正癸酰基氧基、正十一烷酰基氧基、正十二烷酰基氧基、正十三烷酰基氧基、正十四烷酰基氧基、正十五烷酰基氧基、及正十六烷酰基氧基等。Rc7为烷氧基羰基时，烷氧基羰基的碳原子数优选为2以上且20以下，更优选为2以上且7以下。作为Rc7为烷氧基羰基时的具体例，可举出甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙基氧基羰基、异丙基氧基羰基、正丁基氧基羰基、异丁基氧基羰基、仲丁基氧基羰基、叔丁基氧基羰基、正戊基氧基羰基、异戊基氧基羰基、仲戊基氧基羰基、叔戊基氧基羰基、正己基氧基羰基、正庚基氧基羰基、正辛基氧基羰基、异辛基氧基羰基、仲辛基氧基羰基、叔辛基氧基羰基、正壬基氧基羰基、异壬基氧基羰基、正癸基氧基羰基、及异癸基氧基羰基等。Rc7为苯基烷基时，苯基烷基的碳原子数优选为7以上且20以下，更优选为7以上且10以下。另外，Rc7为萘基烷基时，萘基烷基的碳原子数优选为11以上且20以下，更优选为11以上且14以下。作为Rc7为苯基烷基时的具体例，可举出苄基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、及4-苯基丁基。作为Rc7为萘基烷基时的具体例，可举出α-萘基甲基、β-萘基甲基、2-α-萘基乙基、及2-β-萘基乙基。Rc7为苯基烷基、或萘基烷基时，Rc7可以在苯基、或萘基上进一步具有取代基。Rc7为杂环基时，杂环基为包含1个以上N、S、O的五元或六元的单环，或为所述单环彼此稠合、或所述单环与苯环稠合而成的杂环基。杂环基为稠环时，环数为3以下。杂环基可以为芳香族基团杂芳基，也可以为非芳香族基团。作为构成所述杂环基的杂环，可举出呋喃、噻吩、吡咯、噁唑、异噁唑、噻唑、噻二唑、异噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、哒嗪、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、异吲哚、吲哚嗪、苯并咪唑、苯并三唑、苯并噁唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、异喹啉、喹唑啉、酞嗪、噌啉、喹喔啉、哌啶、哌嗪、吗啉、哌啶、四氢吡喃、及四氢呋喃等。Rc7为杂环基时，杂环基可以进一步具有取代基。Rc7为杂环基羰基时，杂环基羰基中包含的杂环基与Rc7为杂环基的情况同样。Rc7为被1个或2个有机基团取代的氨基时，有机基团的优选例可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、碳原子数为3以上且10以下的环烷基、碳原子数为2以上且21以下的饱和脂肪族酰基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的碳原子数为11以上且20以下的萘基烷基、及杂环基等。这些优选的有机基团的具体例与Rc7同样。作为被1个或2个有机基团取代的氨基的具体例，可举出甲基氨基、乙基氨基、二乙基氨基、正丙基氨基、二正丙基氨基、异丙基氨基、正丁基氨基、二正丁基氨基、正戊基氨基、正己基氨基、正庚基氨基、正辛基氨基、正壬基氨基、正癸基氨基、苯基氨基、萘基氨基、乙酰基氨基、丙酰基氨基、正丁酰基氨基、正戊酰基氨基、正己酰基氨基、正庚酰基氨基、正辛酰基氨基、正癸酰基氨基、苯甲酰基氨基、α-萘甲酰基氨基、及β-萘甲酰基氨基等。作为Rc7中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时的取代基，可举出碳原子数为1以上且6以下的烷基、碳原子数为1以上且6以下的烷氧基、碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基、碳原子数为2以上且7以下的烷氧基羰基、碳原子数为2以上且7以下的饱和脂肪族酰基氧基、具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的单烷基氨基、具有碳原子数为1以上且6以下的烷基的二烷基氨基、吗啉-1-基、哌嗪-1-基、卤素、硝基、及氰基等。Rc7中包含的苯基、萘基、及杂环基进一步具有取代基时，其取代基的个数在不妨碍本发明的目的的范围内没有限制，优选为1以上且4以下。Rc7中包含的苯基、萘基、及杂环基具有多个取代基时，多个取代基可以相同也可以不同。上文中说明的基团中，作为Rc7，为硝基、或Rc12-CO-表示的基团时，存在敏感度提高的倾向，是优选的。Rc12在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，可以从各种有机基团中选择。关于作为Rc12而优选的基团的例子，可举出碳原子数为1以上且20以下的烷基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的萘基、及可以具有取代基的杂环基。作为Rc12，这些基团中，特别优选2-甲基苯基、噻吩-2-基、及α-萘基。另外，Rc7为氢原子时，存在透明性变得良好的倾向，是优选的。需要说明的是，Rc7为氢原子且Rc10为后述的式c4a或c4b表示的基团时，存在透明性变得更良好的倾向。式c4中，Rc8及Rc9各自为可以具有取代基的链状烷基、可以具有取代基的环状有机基团、或氢原子。Rc8与Rc9可以相互键合而形成环。这些基团中，作为Rc8及Rc9，优选可以具有取代基的链状烷基。Rc8及Rc9为可以具有取代基的链状烷基时，链状烷基可以为直链烷基，也可以为支链烷基。Rc8及Rc9为不具有取代基的链状烷基时，链状烷基的碳原子数优选为1以上且20以下，更优选为1以上且10以下，特别优选为1以上且6以下。作为Rc8及Rc9为链状烷基时的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、正己基、正庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、正壬基、异壬基、正癸基、及异癸基等。另外，Rc8及Rc9为烷基时，烷基可以在碳链中包含醚键-O-。作为在碳链中具有醚键的烷基的例子，可举出甲氧基乙基、乙氧基乙基、甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙基氧基乙氧基乙基、及甲氧基丙基等。Rc8及Rc9为具有取代基的链状烷基时，链状烷基的碳原子数优选为1以上且20以下，更优选为1以上且10以下，特别优选为1以上且6以下。这种情况下，链状烷基的碳原子数中不包括取代基的碳原子数。具有取代基的链状烷基优选为直链状。烷基可以具有的取代基在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。作为取代基的优选例，可举出氰基、卤素原子、环状有机基团、及烷氧基羰基。作为卤素原子，可举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。这些中，优选氟原子、氯原子、溴原子。作为环状有机基团，可举出环烷基、芳香族烃基、杂环基。作为环烷基的具体例，与Rc7为环烷基时的优选例同样。作为芳香族烃基的具体例，可举出苯基、萘基、联苯基、蒽基、及菲基等。作为杂环基的具体例，与Rc7为杂环基时的优选例同样。Rc7为烷氧基羰基时，烷氧基羰基中包含的烷氧基可以为直链状，也可以为支链状，优选为直链状。烷氧基羰基中包含的烷氧基的碳原子数优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下。链状烷基具有取代基时，取代基的个数没有特别限制。优选的取代基的个数根据链状烷基的碳原子数而改变。取代基的个数典型地为1以上且20以下，优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下。Rc8及Rc9为环状有机基团时，环状有机基团可以为脂环式基，也可以为芳香族基团。作为环状有机基团，可举出脂肪族环状烃基、芳香族烃基、杂环基。Rc8及Rc9为环状有机基团时，环状有机基团可以具有的取代基与Rc8及Rc9为链状烷基时同样。Rc8及Rc9为芳香族烃基时，芳香族烃基优选为苯基、或多个苯环介由碳-碳键键合而形成的基团、或多个苯环稠合而形成的基团。芳香族烃基为苯基、或多个苯环键合或稠合而形成的基团时，芳香族烃基中包含的苯环的环数没有特别限制，优选为3以下，更优选为2以下，特别优选为1。作为芳香族烃基的优选的具体例，可举出苯基、萘基、联苯基、蒽基、及菲基等。Rc8及Rc9为脂肪族环状烃基时，脂肪族环状烃基可以为单环式也可以为多环式。脂肪族环状烃基的碳原子数没有特别限制，优选为3以上且20以下，更优选为3以上且10以下。作为单环式的环状烃基的例子，可举出环丙基、环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、降冰片基、异冰片基、三环壬基、三环癸基、四环十二烷基、及金刚烷基等。Rc8及Rc9为杂环基时，杂环基为包含1个以上N、S、O的五元或六元的单环，或为所述单环彼此稠合、或所述单环与苯环稠合而成的杂环基。杂环基为稠环时，环数为3以下。杂环基可以为芳香族基团杂芳基，也可以为非芳香族基团。作为构成所述杂环基的杂环，可举出呋喃、噻吩、吡咯、噁唑、异噁唑、噻唑、噻二唑、异噻唑、咪唑、吡唑、三唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、哒嗪、苯并呋喃、苯并噻吩、吲哚、异吲哚、吲哚嗪、苯并咪唑、苯并三唑、苯并噁唑、苯并噻唑、咔唑、嘌呤、喹啉、异喹啉、喹唑啉、酞嗪、噌啉、喹喔啉、哌啶、哌嗪、吗啉、哌啶、四氢吡喃、及四氢呋喃等。Rc8与Rc9可以相互键合而形成环。由Rc8与Rc9所形成的环构成的基团优选为环烷叉基。Rc8与Rc9键合而形成环烷叉基时，构成环烷叉基的环优选为五元环～六元环，更优选为五元环。Rc8与Rc9键合而形成的基团为环烷叉基时，环烷叉基可以与1个以上其他环稠合。作为可与环烷叉基稠合的环的例子，可举出苯环、萘环、环丁烷环、环戊烷环、环己烷环、环庚烷环、环辛烷环、呋喃环、噻吩环、吡咯环、吡啶环、吡嗪环、及嘧啶环等。上文中说明的Rc8及Rc9中，作为优选的基团的例子，可举出式-A1-A2表示的基团。式中，A1为直链亚烷基，A2为烷氧基、氰基、卤素原子、卤代烷基、环状有机基团、或烷氧基羰基。A1的直链亚烷基的碳原子数优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下。A2为烷氧基时，烷氧基可以为直链状，也可以为支链状，优选为直链状。烷氧基的碳原子数优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下。A2为卤素原子时，优选为氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更优选为氟原子、氯原子、溴原子。A2为卤代烷基时，卤代烷基中包含的卤素原子优选为氟原子、氯原子、溴原子、碘原子，更优选为氟原子、氯原子、溴原子。卤代烷基可以为直链状，也可以为支链状，优选为直链状。A2为环状有机基团时，环状有机基团的例子与Rc8及Rc9作为取代基而具有的环状有机基团同样。A2为烷氧基羰基时，烷氧基羰基的例子与Rc8及Rc9作为取代基而具有的烷氧基羰基同样。作为Rc8及Rc9的优选的具体例，可举出乙基、正丙基、正丁基、正己基、正庚基、及正辛基等烷基；2-甲氧基乙基、3-甲氧基正丙基、4-甲氧基正丁基、5-甲氧基正戊基、6-甲氧基正己基、7-甲氧基正庚基、8-甲氧基正辛基、2-乙氧基乙基、3-乙氧基正丙基、4-乙氧基正丁基、5-乙氧基正戊基、6-乙氧基正己基、7-乙氧基正庚基、及8-乙氧基正辛基等烷氧基烷基；2-氰基乙基、3-氰基正丙基、4-氰基正丁基、5-氰基正戊基、6-氰基正己基、7-氰基正庚基、及8-氰基正辛基等氰基烷基；2-苯基乙基、3-苯基正丙基、4-苯基正丁基、5-苯基正戊基、6-苯基正己基、7-苯基正庚基、及8-苯基正辛基等苯基烷基；2-环己基乙基、3-环己基正丙基、4-环己基正丁基、5-环己基正戊基、6-环己基正己基、7-环己基正庚基、8-环己基正辛基、2-环戊基乙基、3-环戊基正丙基、4-环戊基正丁基、5-环戊基正戊基、6-环戊基正己基、7-环戊基正庚基、及8-环戊基正辛基等环烷基烷基；2-甲氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基正丙基、4-甲氧基羰基正丁基、5-甲氧基羰基正戊基、6-甲氧基羰基正己基、7-甲氧基羰基正庚基、8-甲氧基羰基正辛基、2-乙氧基羰基乙基、3-乙氧基羰基正丙基、4-乙氧基羰基正丁基、5-乙氧基羰基正戊基、6-乙氧基羰基正己基、7-乙氧基羰基正庚基、及8-乙氧基羰基正辛基等烷氧基羰基烷基；2-氯乙基、3-氯正丙基、4-氯正丁基、5-氯正戊基、6-氯正己基、7-氯正庚基、8-氯正辛基、2-溴乙基、3-溴正丙基、4-溴正丁基、5-溴正戊基、6-溴正己基、7-溴正庚基、8-溴正辛基、3，3，3-三氟丙基、及3，3，4，4，5，5，5-七氟正戊基等卤代烷基。作为Rc8及Rc9，上述中，优选的基团为乙基、正丙基、正丁基、正戊基、2-甲氧基乙基、2-氰基乙基、2-苯基乙基、2-环己基乙基、2-甲氧基羰基乙基、2-氯乙基、2-溴乙基、3，3，3-三氟丙基、及3，3，4，4，5，5，5-七氟正戊基。作为Rc10的优选的有机基团的例子，与Rc7同样，可举出烷基、烷氧基、环烷基、环烷氧基、饱和脂肪族酰基、烷氧基羰基、饱和脂肪族酰基氧基、可以具有取代基的苯基、可以具有取代基的苯氧基、可以具有取代基的苯甲酰基、可以具有取代基的苯氧基羰基、可以具有取代基的苯甲酰基氧基、可以具有取代基的苯基烷基、可以具有取代基的萘基、可以具有取代基的萘氧基、可以具有取代基的萘甲酰基、可以具有取代基的萘氧基羰基、可以具有取代基的萘甲酰基氧基、可以具有取代基的萘基烷基、可以具有取代基的杂环基、可以具有取代基的杂环基羰基、被1个或2个有机基团取代的氨基、吗啉-1-基、及哌嗪-1-基等。这些基团的具体例与针对Rc7而说明的基团同样。另外，作为Rc10，还优选环烷基烷基、可以在芳香环上具有取代基的苯氧基烷基、可以在芳香环上具有取代基的苯基硫基烷基。苯氧基烷基、及苯基硫基烷基可以具有的取代基与Rc7中包含的苯基可以具有的取代基同样。有机基团中，作为Rc10，优选烷基、环烷基、可以具有取代基的苯基、或环烷基烷基、可以在芳香环上具有取代基的苯基硫基烷基。作为烷基，优选为碳原子数为1以上且20以下的烷基，更优选为碳原子数为1以上且8以下的烷基，特别优选为碳原子数为1以上且4以下的烷基，最优选为甲基。可以具有取代基的苯基中，优选为甲基苯基，更优选为2-甲基苯基。环烷基烷基中包含的环烷基的碳原子数优选为5以上且10以下，更优选为5以上且8以下，特别优选为5或6。环烷基烷基中包含的亚烷基的碳原子数优选为1以上且8以下，更优选为1以上且4以下，特别优选为2。环烷基烷基中，优选为环戊基乙基。可以在芳香环上具有取代基的苯基硫基烷基中包含的亚烷基的碳原子数优选为1以上且8以下，更优选为1以上且4以下，特别优选为2。可以在芳香环上具有取代基的苯基硫基烷基中，优选2-4-氯苯基硫基乙基。另外，作为Rc10，还优选-A3-CO-O-A4表示的基团。A3为2价有机基团，优选为2价烃基，优选为亚烷基。A4为1价有机基团，优选为1价烃基。A3为亚烷基时，亚烷基可以为直链状，也可以为支链状，优选为直链状。A3为亚烷基时，亚烷基的碳原子数优选为1以上且10以下，更优选为1以上且6以下，特别优选为1以上且4以下。作为A4的优选例，可举出碳原子数为1以上且10以下的烷基、碳原子数为7以上且20以下的芳烷基、及碳原子数为6以上且20以下的芳香族烃基。作为A4的优选的具体例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、苯基、萘基、苄基、苯乙基、α-萘基甲基、及β-萘基甲基等。作为-A3-CO-O-A4表示的基团的优选的具体例，可举出2-甲氧基羰基乙基、2-乙氧基羰基乙基、2-正丙基氧基羰基乙基、2-正丁基氧基羰基乙基、2-正戊基氧基羰基乙基、2-正己基氧基羰基乙基、2-苄基氧基羰基乙基、2-苯氧基羰基乙基、3-甲氧基羰基正丙基、3-乙氧基羰基正丙基、3-正丙基氧基羰基正丙基、3-正丁基氧基羰基正丙基、3-正戊基氧基羰基正丙基、3-正己基氧基羰基正丙基、3-苄基氧基羰基正丙基、及3-苯氧基羰基正丙基等。以上，对Rc10进行了说明，作为Rc10，优选下述式c4a或c4b表示的基团。[化学式40]式c4a及c4b中，Rc13及Rc14各自为有机基团，n6为0以上且4以下的整数，Rc13及Rc14存在于苯环上的相邻的位置时，Rc13与Rc14可以相互键合而形成环，n7为1以上且8以下的整数，n8为1以上且5以下的整数，n9为0以上且n8+3以下的整数，Rc15为有机基团。式c4a中的Rc13及Rc14中所述的有机基团的例子与Rc7同样。作为Rc13，优选为烷基或苯基。Rc13为烷基时，其碳原子数优选为1以上且10以下，更优选为1以上且5以下，特别优选为1以上且3以下，最优选为1。即，Rc13最优选为甲基。Rc13与Rc14键合而形成环时，该环可以为芳香族环，也可以为脂肪族环。作为Rc13与Rc14形成了环的式c4a表示的基团的优选例，可举出萘-1-基、1，2，3，4-四氢萘-5-基等。上述式c4a中，n6为0以上且4以下的整数，优选为0或1，更优选为0。上述式c4b中，Rc15为有机基团。作为有机基团，可举出与针对Rc7而说明的有机基团同样的基团。有机基团中，优选烷基。烷基可以为直链状，也可以为支链状。烷基的碳原子数优选为1以上且10以下，更优选为1以上且5以下，特别优选为1以上且3以下。作为Rc15，可优选例举甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基等，这些中，更优选为甲基。上述式c4b中，n8为1以上且5以下的整数，优选为1以上且3以下的整数，更优选为1或2。上述式c4b中，n9为0以上且n8+3以下，优选为0以上且3以下的整数，更优选为0以上且2以下的整数，特别优选为0。上述式c4b中，n7为1以上且8以下的整数，优选为1以上且5以下的整数，更优选为1以上且3以下的整数，特别优选为1或2。式c4中，Rc11为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基。作为Rc11为烷基时可以具有的取代基，可优选例举苯基、萘基等。另外，作为Rc7为芳基时可以具有的取代基，可优选例举碳原子数为1以上且5以下的烷基、烷氧基、卤素原子等。式c4中，作为Rc11，可优选例举氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、苯基、苄基、甲基苯基、萘基等，这些中，更优选甲基或苯基。式c4表示的化合物可利用包括将前述的式c5表示的化合物中包含的肟基＞C＝N-OH转化为＞C＝N-O-CORc11表示的肟酯基的工序的方法来制造。Rc11与式c4中的Rc11同样。肟基＞C＝N-OH向＞C＝N-O-CORc11表示的肟酯基的转化可通过使前述的式c5表示的化合物与酰化剂反应来进行。作为提供-CORc11表示的酰基的酰化剂，可举出Rc11CO2O表示的酸酐、Rc11COHalHal为卤素原子表示的酰卤。作为式c4表示的化合物的优选的具体例，可举出以下的PI-43～PI-83。[化学式41][化学式42]相对于第1方式的感光性组合物的固态成分100质量份而言，光聚合引发剂的含量优选为0.5质量份以上且20质量份以下。通过成为上述的范围，能得到充分的耐热性、耐化学药品性，另外，能提高涂膜形成能力，抑制固化不良。如上所述，第1方式的感光性组合物含有氢阻隔剂B。在感光性组合物中含有该化合物时，可形成具有氢阻隔性能的图案。相对于上述光聚合引发剂100质量份，氢阻隔剂B的含量优选为0.5质量份以上且95质量份以下，更优选为1质量份以上且50质量份以下。通过成为上述的范围，不仅能形成氢阻隔性优异的氢阻隔膜，而且能在得到良好的显影性的同时得到良好的微小图案化特性。第1方式的感光性组合物还可以含有着色剂。通过含有着色剂，从而可优选用于例如液晶显示显示器、有机EL显示器等图像显示装置的滤色器形成用途。另外，第1方式的感光性组合物通过包含遮光剂作为着色剂，从而可优选用于例如滤色器中的黑色矩阵形成用途。作为着色剂，没有特别限制，例如，优选使用在染料索引C.I.；TheSocietyofDyersandColourists公司发行中被分类为颜料Pigment的化合物，具体而言，优选使用附有下述这样的染料索引C.I.编号的颜料。C.I.颜料黄1以下，同样也是“C.I.颜料黄”，仅记载编号。、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185；C.I.颜料橙1以下，同样也是“C.I.颜料橙”，仅记载编号。、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73；C.I.颜料紫1以下，“C.I.颜料紫”同样也是仅记载编号。、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50；C.I.颜料红1以下，同样也是“C.I.颜料红”，仅记载编号。、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265；C.I.颜料蓝1以下，同样也是“C.I.颜料蓝”，仅记载编号。、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66；C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿37；C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25、C.I.颜料棕26、C.I.颜料棕28；C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7。另外，将着色剂作为遮光剂时，优选使用黑色颜料作为遮光剂。作为黑色颜料，可举出炭黑、钛黑、铜、铁、锰、钴、铬、镍、锌、钙、银等的金属氧化物、复合氧化物、金属硫化物、金属硫酸盐、金属碳酸盐等各种颜料有机物、无机物均可。这些中，优选使用具有高遮光性的炭黑。作为炭黑，可使用槽法炭黑channelblack、炉法炭黑furnaceblack、热裂炭黑thermalblack、灯黑lampblack等已知的炭黑，优选使用遮光性优异的槽法炭黑channelblack。另外，可使用经树脂被覆的炭黑。经树脂被覆的炭黑与未经树脂被覆的炭黑相比，导电性低，因此，在作为液晶显示显示器的黑色矩阵使用时，能制造电流的泄漏少、可靠性高的低电力消耗的显示器。另外，为了调整炭黑的色调，可适当添加上述的有机颜料作为辅助颜料。另外，为了使着色剂在感光性组合物中均匀分散，可以还使用分散剂。作为这样的分散剂，优选使用聚乙烯亚胺系、聚氨酯树脂系、丙烯酸树脂系的高分子分散剂。尤其是，使用炭黑作为着色剂时，优选使用丙烯酸树脂系的分散剂作为分散剂。另外，无机颜料及有机颜料分别可以单独使用，也可以并用，在并用的情况下，相对于无机颜料和有机颜料的总量100质量份而言，优选以10质量份以上且80质量份以下的范围使用有机颜料，更优选以20质量份以上且40质量份以下的范围使用有机颜料。着色剂的含量根据第1方式的感光性组合物的用途适当确定即可，作为例子，相对于第1方式的感光性组合物的固态成分100质量份而言，优选为5质量份以上且70质量份以下，更优选为25质量份以上且60质量份以下。尤其是，使用第1方式的感光性组合物形成黑色矩阵时，优选调整感光性组合物中的遮光剂的量，以使得每1μm膜厚的黑色矩阵的OD值成为4以上。每1μm膜厚的黑色矩阵的OD值为4以上时，在用于液晶显示显示器的黑色矩阵的情况下，能得到充分的显示对比度。需要说明的是，对于着色剂而言，优选在使用分散剂以适当的浓度进行分散而制成分散液后，添加至感光性组合物中。作为第1方式的感光性组合物中的有机溶剂，可举出例如乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单正丙基醚、二乙二醇单正丁基醚、三乙二醇单甲基醚、三乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚、丙二醇单正丁基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚、二丙二醇单正丙基醚、二丙二醇单正丁基醚、三丙二醇单甲基醚、三丙二醇单乙基醚等聚亚烷基二醇单烷基醚类；乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单甲基醚乙酸酯、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯等聚亚烷基二醇单烷基醚乙酸酯类；二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、四氢呋喃等其他的醚类；甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类；2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯等乳酸烷基酯类；2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其他的酯类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类；N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、前述式a04表示的溶剂等酰胺类等。这些有机溶剂可以单独使用或组合2种以上而使用。上述有机溶剂中，丙二醇单甲基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、环己酮、乙酸3-甲氧基丁酯、N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、前述式a04表示的溶剂等酰胺类相对于上述碱溶性树脂A1、上述光聚合性化合物A2、上述光聚合引发剂C、及氢阻隔剂B显示优异的溶解性，因而优选。关于有机溶剂的含量，优选第1方式的感光性组合物的固态成分浓度成为1质量％以上且50质量％以下的量，更优选第1方式的感光性组合物的固态成分浓度成为5质量％以上且30质量％以下的量。2第2方式的感光性组合物第2方式的感光性组合物为正型感光性组合物。第2方式的感光性组合物为化学放大型正型感光性组合物的情况下，含有通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂以下，也记为光产酸剂。、和通过酸的作用而使相对于碱的溶解性增大的树脂以下，也记为感光性树脂。。根据需要，感光性树脂组合物可包含碱溶性树脂、酸扩散抑制剂、及有机溶剂等成分。作为其他的第2方式的感光性组合物，可举出包含含有醌二叠氮基的化合物和Novolac酚醛树脂等碱溶性树脂例如后述的Novolac树脂C1等的正型感光性组合物。使用第2方式的感光性组合物形成的抗蚀剂图案的膜厚没有特别限制。第2方式的感光性组合物可优选用于厚膜的抗蚀剂图案的形成。使用第2方式的感光性组合物形成的抗蚀剂图案的膜厚没有特别限制，具体而言，优选为0.1μm以上，更优选为1μm以上且150μm以下，特别优选为10μm以上且120μm以下，特别优选的是，最优选为20μm以上且80μm以下。以下，对第2方式的感光性组合物所包含的必需成分或任选成分、和感光性树脂组合物的制造方法进行说明。光产酸剂为通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物，没有特别限制，只要是通过光直接或间接地产生酸的化合物即可。以下，对第2方式的感光性组合物中优选使用的光产酸剂的优选例进行说明。作为优选的光产酸剂的第1个例子，可举出下述式a1表示的化合物。[化学式43]上述式a1中，X1a表示原子价为g的硫原子或碘原子，g为1或2。h表示括号内的结构的重复单元数。R1a为键合于X1a的有机基团，表示碳原子数为6以上且30以下的芳基、碳原子数为4以上且30以下的杂环基、碳原子数为1以上且30以下的烷基、碳原子数为2以上且30以下的链烯基、或碳原子数为2以上且30以下的炔基，R1a可以被选自由烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、亚烷基氧基、氨基、氰基、硝基的各基团、及卤素组成的组中的至少1种取代。R1a的个数为g+hg-1+1，R1a分别地相互可以相同也可以不同。另外，2个以上的R1a可以相互直接连接或介由-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-NH-、-NR2a-、-CO-、-COO-、-CONH-、碳原子数为1以上且3以下的亚烷基、或亚苯基连接，形成包含X1a的环结构。R2a为碳原子数为1以上且5以下的烷基或碳原子数为6以上且10以下的芳基。X2a为下述式a2表示的结构。[化学式44]上述式a2中，X4a表示碳原子数为1以上且8以下的亚烷基、碳原子数为6以上且20以下的亚芳基、或碳原子数为8以上且20以下的杂环化合物的2价基团，X4a可以被选自由碳原子数为1以上且8以下的烷基、碳原子数为1以上且8以下的烷氧基、碳原子数为6以上且10以下的芳基、羟基、氰基、硝基的各基、及卤素组成的组中的至少1种取代。X5a表示-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-NH-、-NR2a-、-CO-、-COO-、-CONH-、碳原子数为1以上且3以下的亚烷基、或亚苯基。h表示括号内的结构的重复单元数。h+1个X4a及h个X5a分别可以相同也可以不同。R2a与前述的定义相同。X3a-为鎓的抗衡离子，可举出下述式a17表示的氟代烷基氟磷酸阴离子或下述式a18表示的硼酸根阴离子。[化学式45][R3ajPF6-j]a17上述式a17中，R3a表示氢原子的80％以上被氟原子取代而得到的烷基。j表示其个数，为1以上且5以下的整数。j个R3a分别可以相同也可以不同。[化学式46]上述式a18中，R4a～R7a各自独立地表示氟原子或苯基，该苯基的氢原子的一部分或全部可以被选自由氟原子及三氟甲基组成的组中的至少1种取代。作为上述式a1表示的化合物中的鎓离子，可举出三苯基锍、三对甲苯基锍、4-苯基硫基苯基二苯基锍、双[4-二苯基锍基苯基]硫醚、双〔4-{双[4-2-羟基乙氧基苯基]锍基}苯基〕硫醚、双{4-[双4-氟苯基锍基]苯基}硫醚、4-4-苯甲酰基-2-氯苯基硫基苯基双4-氟苯基锍、7-异丙基-9-氧代-10-硫杂-9，10-二氢蒽-2-基二对甲苯基锍、7-异丙基-9-氧代-10-硫杂-9，10-二氢蒽-2-基二苯基锍、2-[二苯基锍基]噻吨酮、4-[4-4-叔丁基苯甲酰基苯基硫基]苯基二对甲苯基锍、4-4-苯甲酰基苯基硫基苯基二苯基锍、二苯基苯甲酰甲基锍、4-羟基苯基甲基苄基锍、2-萘基甲基1-乙氧基羰基乙基锍、4-羟基苯基甲基苯甲酰甲基锍、苯基[4-4-联苯基硫基苯基]4-联苯基锍、苯基[4-4-联苯基硫基苯基]3-联苯基锍、[4-4-乙酰苯基硫基苯基]二苯基锍、十八烷基甲基苯甲酰甲基锍、二苯基碘鎓、二对甲苯基碘鎓、双4-十二烷基苯基碘鎓、双4-甲氧基苯基碘鎓、4-辛基氧基苯基苯基碘鎓、双4-癸基氧基苯基碘鎓、4-2-羟基十四烷基氧基苯基苯基碘鎓、4-异丙基苯基对甲苯基碘鎓、或4-异丁基苯基对甲苯基碘鎓等。上述式a1表示的化合物中的鎓离子中，作为优选的鎓离子，可举出下述式a19表示的锍离子。[化学式47]上述式a19中，R8a各自独立地表示选自由氢原子、烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、烷基羰基氧基、烷基氧基羰基、卤素原子、可以具有取代基的芳基、芳基羰基组成的组中的基团。X2a表示与上述式a1中的X2a相同的含义。作为上述式a19表示的锍离子的具体例，可举出4-苯基硫基苯基二苯基锍、4-4-苯甲酰基-2-氯苯基硫基苯基双4-氟苯基锍、4-4-苯甲酰基苯基硫基苯基二苯基锍、苯基[4-4-联苯基硫基苯基]4-联苯基锍、苯基[4-4-联苯基硫基苯基]3-联苯基锍、[4-4-乙酰苯基硫基苯基]二苯基锍、二苯基[4-对三联苯基硫基苯基]二苯基锍。上述式a17表示的氟代烷基氟磷酸阴离子中，R3a表示被氟原子取代的烷基，优选的碳原子数为1以上且8以下，进一步优选的碳原子数为1以上且4以下。作为烷基的具体例，可举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、辛基等直链烷基；异丙基、异丁基、仲丁基、叔丁基等支链烷基；以及环丙基、环丁基、环戊基、环己基等环烷基等，烷基的氢原子被氟原子取代的比例通常为80％以上，优选为90％以上，进一步优选为100％。氟原子的取代率低于80％时，上述式a1表示的氟代烷基氟磷酸鎓盐的酸强度下降。特别优选的R3a为碳原子数为1以上且4以下、且氟原子的取代率为100％的直链状或支链状的全氟烷基，作为具体例，可举出CF3、CF3CF2、CF32CF、CF3CF2CF2、CF3CF2CF2CF2、CF32CFCF2、CF3CF2CF3CF、CF33C。R3a的个数j为1以上且5以下的整数，优选为2以上且4以下，特别优选为2或3。作为优选的氟代烷基氟磷酸阴离子的具体例，可举出[CF3CF22PF4]-、[CF3CF23PF3]-、[CF32CF2PF4]-、[CF32CF3PF3]-、[CF3CF2CF22PF4]-、[CF3CF2CF23PF3]-、[CF32CFCF22PF4]-、[CF32CFCF23PF3]-、[CF3CF2CF2CF22PF4]-、或[CF3CF2CF23PF3]-，这些中，特别优选[CF3CF23PF3]-、[CF3CF2CF23PF3]-、[CF32CF3PF3]-、[CF32CF2PF4]-、[CF32CFCF23PF3]-、或[CF32CFCF22PF4]-。作为上述式a18表示的硼酸根阴离子的优选的具体例，可举出四五氟苯基硼酸根[BC6F54]-、四[三氟甲基苯基]硼酸根[BC6H4CF34]-、二氟双五氟苯基硼酸根[C6F52BF2]-、三氟五氟苯基硼酸根[C6F5BF3]-、四二氟苯基硼酸根[BC6H3F24]-等。这些中，特别优选四五氟苯基硼酸根[BC6F54]-。作为优选的光产酸剂的第2个例子，可举出2，4-双三氯甲基-6-胡椒基-1，3，5-三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-2-呋喃基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-5-甲基-2-呋喃基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-5-乙基-2-呋喃基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-5-丙基-2-呋喃基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-3，5-二甲氧基苯基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-3，5-二乙氧基苯基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-3，5-二丙氧基苯基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-3-甲氧基-5-乙氧基苯基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-3-甲氧基-5-丙氧基苯基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-[2-3，4-亚甲基二氧基苯基乙烯基]-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-3，4-亚甲基二氧基苯基-均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-3-溴-4-甲氧基苯基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-2-溴-4-甲氧基苯基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-2-溴-4-甲氧基苯乙烯基苯基均三嗪、2，4-双三氯甲基-6-3-溴-4-甲氧基苯乙烯基苯基均三嗪、2-4-甲氧基苯基-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、2-4-甲氧基萘基-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、2-[2-2-呋喃基乙烯基]-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、2-[2-5-甲基-2-呋喃基乙烯基]-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、2-[2-3，5-二甲氧基苯基乙烯基]-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、2-[2-3，4-二甲氧基苯基乙烯基]-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、2-3，4-亚甲基二氧基苯基-4，6-双三氯甲基-1，3，5-三嗪、三1，3-二溴丙基-1，3，5-三嗪、三2，3-二溴丙基-1，3，5-三嗪等含卤素的三嗪化合物、以及三2，3-二溴丙基异氰脲酸酯等下述式a3表示的含卤素的三嗪化合物。[化学式48]上述式a3中，R9a、R10a、R11a各自独立地表示卤代烷基。作为优选的光产酸剂的第3个例子，可举出α-对甲苯磺酰氧基亚氨基-苯基乙腈、α-苯磺酰氧基亚氨基-2，4-二氯苯基乙腈、α-苯磺酰氧基亚氨基-2，6-二氯苯基乙腈、α-2-氯苯磺酰氧基亚氨基-4-甲氧基苯基乙腈、α-乙基磺酰氧基亚氨基-1-环戊烯基乙腈、以及含有肟磺酸酯oximesulfonate基的下述式a4表示的化合物。[化学式49]上述式a4中，R12a表示1价、2价、或3价的有机基团，R13a表示取代或未取代的饱和烃基、不饱和烃基、或芳香族性化合物基团，n表示括号内的结构的重复单元数。上述式a4中，所谓芳香族性化合物基团，表示显示芳香族化合物所特有的物理·化学性质的化合物的基团，可举出例如苯基、萘基等芳基、呋喃基、噻吩基等杂芳基。它们可以在环上具有1个以上适当的取代基、例如卤素原子、烷基、烷氧基、硝基等。另外，R13a特别优选为碳原子数为1以上且6以下的烷基，可举出甲基、乙基、丙基、丁基。尤其是，优选R12a为芳香族性化合物基团、R13a为碳原子数为1以上且4以下的烷基的化合物。作为上述式a4表示的光产酸剂，n＝1时，可举出R12a为苯基、甲基苯基、甲氧基苯基中的任一种、且R13a为甲基的化合物，具体而言，可举出α-甲基磺酰氧基亚氨基-1-苯基乙腈、α-甲基磺酰氧基亚氨基-1-对甲基苯基乙腈、α-甲基磺酰氧基亚氨基-1-对甲氧基苯基乙腈、〔2-丙基磺酰氧基亚氨基-2，3-二羟基噻吩-3-叉基〕邻甲苯基乙腈等。n＝2时，作为上述式a4表示的光产酸剂，具体而言，可举出下述式表示的光产酸剂。[化学式50]作为优选的光产酸剂中的第4个例子，可举出在阳离子部具有萘环的鎓盐。此处所谓的“具有萘环”，是指具有来自萘的结构，是指至少2个环的结构，并且它们的芳香族性被维持。该萘环可以具有碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基、羟基、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷氧基等取代基。来自萘环的结构可以为1价基团游离原子价为1，也可以为2价游离原子价为2以上的基团，优选为1价基团其中，此时，将与上述取代基键合的部分除外来对游离原子价进行计数。萘环的数目优选为1以上且3以下。作为这样的在阳离子部具有萘环的鎓盐的阳离子部，优选下述式a5表示的结构。[化学式51]上述式a5中，R14a、R15a、R16a中的至少1个表示下述式a6表示的基团，剩余的表示碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基、可以具有取代基的苯基、羟基、或碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷氧基。或者，R14a、R15a、R16a中的1个为下述式a6表示的基团，剩余的2个各自独立地为碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的亚烷基，它们的末端可以键合而形成环状。[化学式52]上述式a6中，R17a、R18a各自独立地表示羟基、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷氧基、或碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基，R19a表示单键或可以具有取代基的碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的亚烷基。l及m各自独立地表示0以上且2以下的整数，l+m为3以下。其中，R17a存在多个时，它们相互可以相同也可以不同。另外，R18a存在多个时，它们相互可以相同也可以不同。上述R14a、R15a、R16a中，从化合物的稳定性方面考虑，上述式a6表示的基团的数目优选为1个，剩余的是碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的亚烷基，它们的末端可以键合而形成环状。这种情况下，包括硫原子在内，上述2个亚烷基构成三～九元环。构成环的原子包含硫原子的数目优选为5以上且6以下。另外，作为上述亚烷基可以具有的取代基，可举出氧原子这种情况下，与构成亚烷基的碳原子一起形成羰基、羟基等。另外，作为苯基可以具有的取代基，可举出羟基、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷氧基、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基等。关于作为这些阳离子部而优选的结构，可举出下述式a7、a8表示的结构等，特别优选为下述式a8表示的结构。[化学式53]作为这样的阳离子部，可以是碘鎓盐，也可以是锍盐，从产酸效率等方面考虑，优选为锍盐。因此，关于作为在阳离子部具有萘环的鎓盐的阴离子部而优选的结构，优选可形成锍盐的阴离子。作为这样的光产酸剂的阴离子部，为氢原子的一部分或全部被氟取代的氟烷基磺酸离子或芳基磺酸离子。氟烷基磺酸离子中的烷基可以为碳原子数为1以上且20以下的直链状，也可以为支链状，还可以为环状，从产生的酸的体积大和其扩散距离考虑，优选碳原子数为1以上且10以下。尤其是，使用支链状、环状的烷基时，扩散距离短，因而优选。另外，从能廉价地合成方面考虑，可举出甲基、乙基、丙基、丁基、辛基等作为优选例。芳基磺酸离子中的芳基为碳原子数为6以上且20以下的芳基，可举出可以被烷基、卤素原子取代或未被取代的苯基、萘基。尤其是，从能廉价地合成方面考虑，优选碳原子数为6以上且10以下的芳基。作为优选的具体例，可举出苯基、甲苯磺酰基、乙基苯基、萘基、甲基萘基等。上述氟烷基磺酸离子或芳基磺酸离子中，氢原子的一部分或全部被氟取代时的氟代率优选为10％以上且100％以下，更优选为50％以上且100％以下，尤其是，用氟原子将全部氢原子取代而得到的产物能使酸的强度增强，因而优选。作为这样的离子，具体而言，可举出三氟甲磺酸根、全氟丁磺酸根、全氟辛磺酸根、全氟苯磺酸根等。这些中，作为优选的阴离子部，可举出下述式a9表示的结构。[化学式54]R20aSO3-a9上述式a9中，R20a为下述式a10、a11、及a12表示的基团。[化学式55]上述式a10中，x表示1以上且4以下的整数。另外，上述式a11中，R21a表示氢原子、羟基、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基、或碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷氧基，y表示1以上且3以下的整数。这些中，从安全性的观点考虑，优选三氟甲磺酸根、全氟丁磺酸根。另外，作为阴离子部，也可使用下述式a13、a14表示的含有氮的结构。[化学式56]上述式a13、a14中，Xa表示至少1个氢原子被氟原子取代的直链状或支链状的亚烷基，该亚烷基的碳原子数为2以上且6以下，优选为3以上且5以下，最优选碳原子数为3。另外，Ya、Za各自独立地表示至少1个氢原子被氟原子取代的直链状或支链状的烷基，该烷基的碳原子数为1以上且10以下，优选为1以上且7以下，更优选为1以上且3以下。Xa的亚烷基的碳原子数、或Ya、Za的烷基的碳原子数越小，在有机溶剂中的溶解性也越良好，因而优选。另外，Xa的亚烷基或Ya、Za的烷基中，被氟原子取代的氢原子的数目越多，酸的强度越强，因而优选。该亚烷基或烷基中的氟原子的比例、即氟代率优选为70％以上且100％以下，更优选为90％以上且100％以下，最优选为全部氢原子被氟原子取代的全氟亚烷基或全氟烷基。关于作为这样的在阳离子部具有萘环的鎓盐而优选的化合物，可举出下述式a15、a16表示的化合物。[化学式57]作为优选的光产酸剂中的第6个例子，可举出双对甲苯磺酰基重氮甲烷、双1，1-二甲基乙基磺酰基重氮甲烷、双环己基磺酰基重氮甲烷、双2，4-二甲基苯基磺酰基重氮甲烷等双磺酰基重氮甲烷类；对甲苯磺酸2-硝基苄酯、对甲苯磺酸2，6-二硝基苄酯、甲苯磺酸硝基苄酯、甲苯磺酸二硝基苄酯、磺酸硝基苄酯、碳酸硝基苄酯、碳酸二硝基苄酯等硝基苄基衍生物；连苯三酚三甲磺酸酯、连苯三酚三甲苯磺酸酯、甲苯磺酸苄酯、磺酸苄酯、N-甲基磺酰氧基琥珀酰亚胺、N-三氯甲基磺酰氧基琥珀酰亚胺、N-苯基磺酰氧基马来酰亚胺、N-甲基磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺等磺酸酯类；N-羟基邻苯二甲酰亚胺、N-羟基萘二甲酰亚胺等的三氟甲磺酸酯类；二苯基碘鎓六氟磷酸盐、4-甲氧基苯基苯基碘鎓三氟甲磺酸盐、双对叔丁基苯基碘鎓三氟甲磺酸盐、三苯基锍六氟磷酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟甲磺酸盐、对叔丁基苯基二苯基锍三氟甲磺酸盐等鎓盐类；苯偶姻甲苯磺酸酯、α-甲基苯偶姻甲苯磺酸酯等苯偶姻甲苯磺酸酯类；其他的二苯基碘鎓盐、三苯基锍盐、苯基重氮盐、碳酸苄酯等。与氢阻隔剂B组合使用时，作为特别优选的光产酸剂，可举出下述式c-5表示的萘二甲酸衍生物。[化学式58]式c-5中，R22a为1价有机基团，R23a、R24a、R25a、及R26a各自独立地为氢原子或1价有机基团，R23a与R24a、R24a与R25a、或R25a与R26a分别可以相互键合而形成环。作为R22a的有机基团在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制。该有机基团可以为烃基，也可以包含O、N、S、P、卤素原子等杂原子。另外，该有机基团的结构可以为直链状，也可以为支链状，也可以为环状，还可以为这些结构的组合。关于作为R22a而优选的有机基团，可举出可以被卤素原子、及或烷基硫基取代的碳原子数为1以上且18以下的脂肪族烃基、可以具有取代基的碳原子数为6以上且20以下的芳基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的芳烷基、可以具有取代基的碳原子数为7以上且20以下的烷基芳基、樟脑-10-基、及下式c-5a表示的基团。-R27a-Oa-R28a-Ob-Y1-R29a···c-5a式c-5a中，Y1为单键或碳原子数为1以上且4以下的烷烃二基。R27a及R28a各自为可以被卤素原子取代的碳原子数为2以上且6以下的烷烃二基、或可以被卤素原子取代的碳原子数为6以上且20以下的亚芳基。R29a为可以被卤素原子取代的碳原子数为1以上且18以下的烷基、碳原子数为3以上且12以下的脂环式烃基、可以被卤素原子取代的碳原子数为6以上且20以下的芳基、可以被卤素原子取代的碳原子数为7以上且20以下的芳烷基。a及b各自为0或1，a及b中的至少一方为1。作为R22a的有机基团具有卤素原子作为取代基时，作为该卤素原子，可举出氯原子、溴原子、碘原子、氟原子。作为R22a的有机基团为被烷基硫基取代的碳原子数为1以上且18以下的烷基时，烷基硫基的碳原子数优选为1以上且18以下。作为碳原子数为1以上且18以下的烷基硫基，可举出甲基硫基、乙基硫基、正丙基硫基、异丙基硫基、正丁基硫基、仲丁基硫基、叔丁基硫基、异丁基硫基、正戊基硫基、异戊基硫基、叔戊基硫基、正己基硫基、正庚基硫基、异庚基硫基、叔庚基硫基、正辛基硫基、异辛基硫基、叔辛基硫基、2-乙基己基硫基、正壬基硫基、正癸基硫基、正十一烷基硫基、正十二烷基硫基、正十三烷基硫基、正十四烷基硫基、正十五烷基硫基、正十六烷基硫基、正十七烷基硫基、及正十八烷基硫基。作为R22a的有机基团为可以被卤素原子、及或烷基硫基取代的碳原子数为1以上且18以下的脂肪族烃基时，该脂肪族烃基可包含不饱和双键。另外，该脂肪族烃基的结构没有特别限制，可以为直链状，也可以为支链状，也可以为环状，还可以为这些结构的组合。关于作为R22a的有机基团为链烯基时的优选例，可举出烯丙基、2-甲基-2-丙烯基。关于作为R22a的有机基团为烷基时的优选例，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、异丁基、正戊基、异戊基、叔戊基、正己基、正己烷-2-基、正己烷-3-基、正庚基、正庚烷-2-基、正庚烷-3-基、异庚基、叔庚基、正辛基、异辛基、叔辛基、2-乙基己基、正壬基、异壬基、正癸基、正十一烷基，正十二烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基、正十七烷基、及正十八烷基。作为R22a的有机基团为脂环式烃基时，作为构成该脂环式烃基的主骨架的脂环式烃的例子，可举出环丙烷、环丁烷、环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷、环癸烷、双环[2.1.1]己烷、双环[2.2.1]庚烷、双环[3.2.1]辛烷、双环[2.2.2]辛烷、及金刚烷。作为脂环式烃基，优选从这些脂环式烃中除去1个氢原子而得到的基团。关于作为R22a的有机基团为被卤素原子取代的脂肪族烃基时的优选例，可举出三氟甲基、五氟乙基、2-氯乙基、2-溴乙基、七氟正丙基、3-溴丙基、九氟正丁基、十三氟正己基、十七氟正辛基、2，2，2-三氟乙基、1，1-二氟乙基、1，1-二氟正丙基、1，1，2，2-四氟正丙基、3，3，3-三氟正丙基、2，2，3，3，3-五氟正丙基、2-降冰片基-1，1-二氟乙基、2-降冰片基四氟乙基、及3-金刚烷基-1，1，2，2-四氟丙基。关于作为R22a的有机基团为被烷基硫基取代的脂肪族烃基时的优选例，可举出2-甲基硫基乙基、4-甲基硫基正丁基、及2-正丁基硫基乙基。关于作为R22a的有机基团为被卤素原子及烷基硫基取代的脂肪族烃基时的优选例，可举出3-甲基硫基-1，1，2，2-四氟正丙基。关于作为R22a的有机基团为芳基时的优选例，可举出苯基、萘基、联苯基。关于作为R22a的有机基团为被卤素原子取代的芳基时的优选例，可举出五氟苯基、氯苯基、二氯苯基、三氯苯基。关于作为R22a的有机基团为被烷基硫基取代的芳基时的优选例，可举出4-甲基硫基苯基、4-正丁基硫基苯基、4-正辛基硫基苯基、4-正十二烷基硫基苯基。关于作为R22a的有机基团为被卤素原子及烷基硫基取代的芳基时的优选例，可举出1，2，5，6-四氟-4-甲基硫基苯基、1，2，5，6-四氟-4-正丁基硫基苯基、1，2，5，6-四氟-4-正十二烷基硫基苯基。关于作为R22a的有机基团为芳烷基时的优选例，可举出苄基、苯乙基、2-苯基丙烷-2-基、二苯基甲基、三苯基甲基。关于作为R22a的有机基团为被卤素原子取代的芳烷基时的优选例，可举出五氟苯基甲基、苯基二氟甲基、2-苯基四氟乙基、2-五氟苯基乙基。关于作为R22a的有机基团为被烷基硫基取代的芳烷基时的优选例，可举出对甲基硫基苄基。关于作为R22a的有机基团为被卤素原子及烷基硫基取代的芳烷基时的优选例，可举出2-2，3，5，6-四氟-4-甲基硫基苯基乙基。关于作为R22a的有机基团为烷基芳基时的优选例，可举出2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、3-异丙基苯基、4-异丙基苯基、4-正丁基苯基、4-异丁基苯基、4-叔丁基苯基、4-正己基苯基、4-环己基苯基、4-正辛基苯基、4-2-乙基正己基苯基、2，3-二甲基苯基、2，4-二甲基苯基、2，5-二甲基苯基、2，6-二甲基苯基、3，4-二甲基苯基、3，5-二甲基苯基、2，4-二叔丁基苯基、2，5-二叔丁基苯基、2，6-二叔丁基苯基、2，4-二叔戊基苯基、2，5-二叔戊基苯基、2，5-二叔辛基苯基、2-环己基苯基、3-环己基苯基、4-环己基苯基、2，4，5-三甲基苯基、2，4，6-三甲基苯基、2，4，6-三异丙基苯基。式c-5a表示的基团为含有醚基的基团。式c-5a中，作为Y1表示的碳原子数为1以上且4以下的烷烃二基，可举出亚甲基、乙烷-1，2-二基、乙烷-1，1-二基、丙烷-1，3-二基、丙烷-1，2-二基、丁烷-1，4-二基、丁烷-1，3-二基、丁烷-2，3-二基、丁烷-1，2-二基。式c-5a中，作为R27a或R28a表示的碳原子数为2以上且6以下的烷烃二基，可举出乙烷-1，2-二基、丙烷-1，3-二基、丙烷-1，2-二基、丁烷-1，4-二基、丁烷-1，3-二基、丁烷-2，3-二基、丁烷-1，2-二基、戊烷-1，5-二基、戊烷-1，3-二基、戊烷-1，4-二基、戊烷-2，3-二基、己烷-1，6-二基、己烷-1，2-二基、己烷-1，3-二基、己烷-1，4-二基、己烷-2，5-二基、己烷-2，4-二基、己烷-3，4-二基。式c-5a中，R27a或R28a为被卤素原子取代的碳原子数为2以上且6以下的烷烃二基时，作为卤素原子，可举出氯原子、溴原子、碘原子、及氟原子。作为被卤素原子取代的烷烃二基的例子，可举出四氟乙烷-1，2-二基、1，1-二氟乙烷-1，2-二基、1-氟乙烷-1，2-二基、1，2-二氟乙烷-1，2-二基、六氟丙烷-1，3-二基、1，1，2，2-四氟丙烷-1，3-二基、1，1，2，2-四氟戊烷-1，5-二基。式c-5a中，作为R27a或R28a为亚芳基时的例子，可举出1，2-亚苯基、1，3-亚苯基、1，4-亚苯基、2，5-二甲基-1，4-亚苯基、联苯-4，4’-二基、二苯基甲烷-4，4’-二基、2，2-二苯基丙烷-4，4’-二基、萘-1，2-二基、萘-1，3-二基、萘-1，4-二基、萘-1，5-二基、萘-1，6-二基、萘-1，7-二基、萘-1，8-二基、萘-2，3-二基、萘-2，6-二基、萘-2，7-二基。式c-5a中，R27a或R28a为被卤素原子取代的亚芳基时，作为卤素原子，可举出氯原子、溴原子、碘原子、及氟原子。作为被卤素原子取代的亚芳基的例子，可举出2，3，5，6-四氟-1，4-亚苯基。式c-5a中，作为R29a表示的可以具有支链的碳原子数为1以上且18以下的烷基，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、异丁基、正戊基、异戊基、叔戊基、正己基、正己烷-2-基、正己烷-3-基、正庚基、正庚烷-2-基、正庚烷-3-基、异庚基、叔庚基、正辛基、异辛基、叔辛基、2-乙基己基、正壬基、异壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、正十三烷基、正十四烷基、正十五烷基、正十六烷基、正十七烷基、正十八烷基。式c-5a中，R29a为被卤素原子取代的碳原子数为1以上且18以下的烷基时，作为卤素原子，可举出氯原子、溴原子、碘原子、及氟原子。作为被卤素原子取代的烷基的例子，可举出三氟甲基、五氟乙基、七氟正丙基、九氟正丁基、十三氟正己基、十七氟正辛基、2，2，2-三氟乙基、1，1-二氟乙基、1，1-二氟正丙基、1，1，2，2-四氟正丙基、3，3，3-三氟正丙基、2，2，3，3，3-五氟正丙基、1，1，2，2-四氟十四烷基。式c-5a中，R29a为碳原子数为3以上且12以下的脂环式烃基时，作为构成该脂环式烃基的主骨架的脂环式烃的例子，可举出环丙烷、环丁烷、环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷、环癸烷、双环[2.1.1]己烷、双环[2.2.1]庚烷、双环[3.2.1]辛烷、双环[2.2.2]辛烷、及金刚烷。作为脂环式烃基，优选从这些脂环式烃中除去1个氢原子而得到的基团。式c-5a中，R29a为芳基、卤代芳基、芳烷基、卤代芳烷基时，这些基团的优选例与R22a为这些基团的情况同样。式c-5a表示的基团中，优选的基团为R27a表示的基团中键合于硫原子的碳原子被氟原子取代而得到的基团。该优选的基团的碳原子数优选为2以上且18以下。作为R22a，优选碳原子数为1以上且8以下的全氟烷基。另外，从容易形成高精细的抗蚀剂图案方面考虑，樟脑-10-基也优选作为R22a。式c-5中，R23a～R26a为氢原子或一价有机基团。另外，R23a与R24a、R24a与R25a、或R25a与R26a分别可以相互键合而形成环。例如，通过R25a与R26a键合而与萘环一起形成五元环，从而可形成苊骨架。作为一价有机基团，优选：可被脂环式烃基、杂环基杂环基团、或卤素原子取代、且可具有支链的碳原子数为4以上且18以下的烷氧基；杂环基氧基；可被脂环式烃基、杂环基杂环基团、或卤素原子取代、且可具有支链的碳原子数为4以上且18以下的烷基硫基；杂环基硫基。另外，也优选该烷氧基的不与氧原子相邻的任意位置的亚甲基被-CO-取代的基团。也优选该烷氧基被-O-CO-键、或-O-CO-NH-键中断的基团。需要说明的是，-O-CO-键及-O-CO-NH-键的左端为烷氧基中的与萘二甲酸母核接近的一侧。此外，可被脂环式烃基、杂环基、或卤素原子取代、且可具有支链的碳原子数为4以上且18以下的烷基硫基也优选作为R23a～R26a。也优选该烷基硫基的不与硫原子相邻的任意位置的亚甲基被-CO-取代的基团。也优选该烷基硫基被-O-CO-键、或-O-CO-NH-键中断的基团。需要说明的是，-O-CO-键及-O-CO-NH-键的左端为烷基硫基中的与萘二甲酸母核接近的一侧。作为R23a～R26a，优选R23a为有机基团、且R24a～R26a为氢原子，或R24a为有机基团、且R23a、R25a及R26a为氢原子。另外，R23a～R26a可以全部为氢原子。作为R23a～R26a为未取代的烷氧基时的例子，可举出正丁基氧基、仲丁基氧基、叔丁基氧基、异丁基氧基、正戊基氧基、异戊基氧基、叔戊基氧基、正己基氧基、正庚基氧基、异庚基氧基、叔庚基氧基、正辛基氧基、异辛基氧基、叔辛基氧基、2-乙基己基、正壬基氧基、正癸基氧基、正十一烷基氧基、正十二烷基氧基、正十三烷基氧基、正十四烷基氧基，正十五烷基氧基、正十六烷基氧基、正十七烷基氧基、正十八烷基氧基。作为R23a～R26a为未取代的烷基硫基时的例子，可举出正丁基硫基、仲丁基硫基、叔丁基硫基、异丁基硫基、正戊基硫基、异戊基硫基、叔戊基硫基、正己基硫基、正庚基硫基、异庚基硫基、叔庚基硫基、正辛基硫基、异辛基硫基、叔辛基硫基、2-乙基己基硫基、正壬基硫基、正癸基硫基、正十一烷基硫基、正十二烷基硫基、正十三烷基硫基、正十四烷基硫基、正十五烷基硫基、正十六烷基硫基、正十七烷基硫基、正十八烷基硫基。R23a～R26a为被脂环式烃基取代的烷氧基或烷基硫基时，作为构成脂环式烃基的主骨架的脂环式烃的例子，可举出环丙烷、环丁烷、环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷、环癸烷、双环[2.1.1]己烷、双环[2.2.1]庚烷、双环[3.2.1]辛烷、双环[2.2.2]辛烷、及金刚烷。作为脂环式烃基，优选从这些脂环式烃中除去1个氢原子而得到的基团。R23a～R26a为被杂环基取代的烷氧基或烷基硫基时，或R23a～R26a为杂环基氧基时，作为构成杂环基或杂环基氧基的主骨架的杂环的例子，可举出吡咯、噻吩、呋喃、吡喃、噻喃、咪唑、吡唑、噻唑、异噻唑、噁唑、异噁唑、吡啶、吡嗪、嘧啶、哒嗪、吡咯烷、吡唑烷、咪唑烷、异噁唑烷、异噻唑烷、哌啶、哌嗪、吗啉、硫代吗啉、色满、硫代色满、异色满、异硫代色满、吲哚啉、异吲哚啉、氮茚pyrindine、吲哚嗪、吲哚、吲唑、嘌呤、喹嗪、异喹啉、喹啉、萘啶、酞嗪、喹喔啉、喹唑啉、噌啉、蝶啶、吖啶、呸啶、菲咯啉、咔唑、咔啉、吩嗪、三氮杂蒽anthyridine、噻二唑、噁二唑、三嗪、三唑、四唑、苯并咪唑、苯并噁唑、苯并噻唑、苯并噻二唑、苯并呋咱、萘并咪唑、苯并三唑、四氮杂茚。另外，还优选对这些杂环中具有共轭键的环进行氢化而得到的饱和杂环。作为取代烷氧基或烷基硫基的杂环基、或杂环基氧基中包含的杂环基，优选从上述的杂环中除去1个氢原子而得到的基团。作为R23a～R26a为包含脂环式烃基的烷氧基时的例子，可举出环戊基氧基、甲基环戊基氧基、环己基氧基、氟环己基氧基、氯环己基氧基、环己基甲基氧基、甲基环己基氧基、降冰片基氧基、乙基环己基氧基、环己基乙基氧基、二甲基环己基氧基、甲基环己基甲基氧基、降冰片基甲基氧基、三甲基环己基氧基、1-环己基丁基氧基、金刚烷基氧基、薄荷基氧基、正丁基环己基氧基、叔丁基环己基氧基、冰片基氧基、异冰片基氧基、十氢萘基氧基、二环戊二烯基、1-环己基戊基氧基、甲基金刚烷基氧基、金刚烷基甲基氧基、4-戊基环己基氧基、环己基环己基氧基、金刚烷基乙基氧基、二甲基金刚烷基氧基。作为R23a～R26a为杂环基氧基时的例子，可举出四氢呋喃基氧基、糠基氧基、四氢糠基氧基、四氢吡喃基氧基、丁内酯基氧基、吲哚基氧基。作为R23a～R26a为包含脂环式烃基的烷基硫基时的例子，可举出环戊基硫基、环己基硫基、环己基甲基硫基、降冰片基硫基、异降冰片基硫基。作为R23a～R26a为杂环基硫基时的例子，可举出糠基硫基、四氢呋喃基硫基。作为R23a～R26a为烷氧基的不与氧原子相邻的任意位置的亚甲基被-CO-取代的基团时的例子，可举出2-氧代丁基-1-氧基、2-氧代戊基-1-氧基、2-氧代己基-1-氧基、2-氧代庚基-1-氧基、2-氧代辛基-1-氧基、3-氧代丁基-1-氧基、4-氧代戊基-1-氧基、5-氧代己基-1-氧基、6-氧代庚基-1-氧基、7-氧代辛基-1-氧基、3-甲基-2-氧代戊烷-4-氧基、2-氧代戊烷-4-氧基、2-甲基-2-氧代戊烷-4-氧基、3-氧代庚烷-5-氧基、2-金刚烷酮-5-氧基。作为R23a～R26a为烷基硫基的不与硫原子相邻的任意位置的亚甲基被-CO-取代的基团时的例子，可举出2-氧代丁基-1-硫基、2-氧代戊基-1-硫基、2-氧代己基-1-硫基、2-氧代庚基-1-硫基、2-氧代辛基-1-硫基、3-氧代丁基-1-硫基、4-氧代戊基-1-硫基、5-氧代己基-1-硫基、6-氧代庚基-1-硫基、7-氧代辛基-1-硫基、3-甲基-2-氧代戊烷-4-硫基、2-氧代戊烷-4-硫基、2-甲基-2-氧代戊烷-4-硫基、3-氧代庚烷-5-硫基。作为式c-5表示的萘二甲酸衍生物的优选例，可举出以下的化合物。[化学式59][化学式60][化学式61][化学式62][化学式63][化学式64][化学式65][化学式66][化学式67]另外，作为其他光产酸剂，可举出双对甲苯磺酰基重氮甲烷、甲基磺酰基对甲苯磺酰基重氮甲烷、1-环己基磺酰基-1-1，1-二甲基乙基磺酰基重氮甲烷、双1，1-二甲基乙基磺酰基重氮甲烷、双1-甲基乙基磺酰基重氮甲烷、双环己基磺酰基重氮甲烷、双2，4-二甲基苯基磺酰基重氮甲烷、双4-乙基苯基磺酰基重氮甲烷、双3-甲基苯基磺酰基重氮甲烷、双4-甲氧基苯基磺酰基重氮甲烷、双4-氟苯基磺酰基重氮甲烷、双4-氯苯基磺酰基重氮甲烷、双4-叔丁基苯基磺酰基重氮甲烷等双磺酰基重氮甲烷类；2-甲基-2-对甲苯磺酰基苯丙酮、2-环己基羰基-2-对甲苯磺酰基丙烷、2-甲基磺酰基-2-甲基-对甲基硫基苯丙酮、2，4-二甲基-2-对甲苯磺酰基戊烷-3-酮等磺酰基羰基烷烃类；1-对甲苯磺酰基-1-环己基羰基重氮甲烷、1-重氮-1-甲基磺酰基-4-苯基-2-丁酮、1-环己基磺酰基-1-环己基羰基重氮甲烷、1-重氮-1-环己基磺酰基-3，3-二甲基-2-丁酮、1-重氮-1-1，1-二甲基乙基磺酰基-3，3-二甲基-2-丁酮、1-乙酰基-1-1-甲基乙基磺酰基重氮甲烷、1-重氮-1-对甲苯磺酰基-3，3-二甲基-2-丁酮、1-重氮-1-苯磺酰基-3，3-二甲基-2-丁酮、1-重氮-1-对甲苯磺酰基-3-甲基-2-丁酮、2-重氮-2-对甲苯磺酰基乙酸环己酯、2-重氮-2-苯磺酰基乙酸叔丁酯、2-重氮-2-甲基磺酰基乙酸异丙酯、2-重氮-2-苯磺酰基乙酸环己酯、2-重氮-2-对甲苯磺酰基乙酸叔丁酯等磺酰基羰基重氮甲烷类；对甲苯磺酸-2-硝基苄酯、对甲苯磺酸-2，6-二硝基苄酯、对三氟甲基苯磺酸-2，4-二硝基苄酯等硝基苄基衍生物；连苯三酚的甲磺酸酯、连苯三酚的苯磺酸酯、连苯三酚的对甲苯磺酸酯、连苯三酚的对甲氧基苯磺酸酯、连苯三酚的均三甲苯磺酸酯、连苯三酚的苄磺酸酯、没食子酸烷基酯的甲磺酸酯、没食子酸烷基酯的苯磺酸酯、没食子酸烷基酯的对甲苯磺酸酯、没食子酸烷基酯烷基的碳原子数为1以上且15以下的对甲氧基苯磺酸酯、没食子酸烷基酯的均三甲苯磺酸酯、没食子酸烷基酯的苄基磺酸酯等多羟基化合物与脂肪族或芳香族磺酸的酯类；等等。这些光产酸剂可以单独使用或组合2种以上而使用。该光产酸剂可以单独使用，也可组合使用2种以上。另外，相对于第2方式的感光性组合物的总质量而言，光产酸剂的含量优选为0.1质量％以上且10质量％以下，更优选为0.5质量％以上且3质量％以下。通过使光产酸剂的使用量成为上述的范围，从而容易制备具备良好的敏感度、作为均匀的溶液的、保存稳定性优异的第2方式的感光性组合物。作为通过酸的作用而使相对于碱的溶解性增大的树脂，没有特别限制，可使用通过酸的作用而使相对于碱的溶解性增大的任意树脂。其中，优选含有选自由Novolac树脂B1、聚羟基苯乙烯树脂B2、及丙烯酸树脂B3组成的组中的至少1种树脂。[Novolac树脂B1]作为Novolac树脂B1，可使用包含下述式b1表示的结构单元的树脂。[化学式68]上述式b1中，R1b表示酸解离性溶解抑制基团，R2b、R3b各自独立地表示氢原子或碳原子数为1以上且6以下的烷基。作为上述R1b表示的酸解离性溶解抑制基团，优选为下述式b2、b3表示的基团、碳原子数为1以上且6以下的直链状、支链状、或环状的烷基、乙烯基氧基乙基、四氢吡喃基、四氢呋喃基、或三烷基甲硅烷基。[化学式69]上述式b2、b3中，R4b、R5b各自独立地表示氢原子、或碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基，R6b表示碳原子数为1以上且10以下的直链状、支链状、或环状的烷基，R7b表示碳原子数为1以上且6以下的直链状、支链状、或环状的烷基，o表示0或1。作为上述直链状或支链状的烷基，可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基等。另外，作为上述环状的烷基，可举出环戊基、环己基等。此处，作为上述式b2表示的酸解离性溶解抑制基团，具体而言，可举出甲氧基乙基、乙氧基乙基、正丙氧基乙基、异丙氧基乙基、正丁氧基乙基、异丁氧基乙基、叔丁氧基乙基、环己氧基乙基、甲氧基丙基、乙氧基丙基、1-甲氧基-1-甲基-乙基、1-乙氧基-1-甲基乙基等。另外，作为上述式b3表示的酸解离性溶解抑制基团，具体而言，可举出叔丁氧基羰基、叔丁氧基羰基甲基等。另外，作为上述三烷基甲硅烷基，可举出三甲基甲硅烷基、三叔丁基二甲基甲硅烷基等各烷基的碳原子数为1以上且6以下的三烷基甲硅烷基。[聚羟基苯乙烯树脂B2]作为聚羟基苯乙烯树脂B2，可使用包含下述式b4表示的结构单元的树脂。[化学式70]上述式b4中，R8b表示氢原子或碳原子数为1以上且6以下的烷基，R9b表示酸解离性溶解抑制基团。上述碳原子数为1以上且6以下的烷基例如为碳原子数为1以上且6以下的直链状、支链状、或环状的烷基。作为直链状或支链状的烷基，可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基等，作为环状的烷基，可举出环戊基、环己基等。作为上述R9b表示的酸解离性溶解抑制基团，可使用与上述式b2、b3中例举的酸解离性溶解抑制基团同样的酸解离性溶解抑制基团。此外，对于聚羟基苯乙烯树脂B2而言，出于适度地控制物理、化学特性的目的，可包含其他聚合性化合物作为结构单元。作为这样的聚合性化合物，可举出已知的自由基聚合性化合物、阴离子聚合性化合物。另外，作为这样的聚合性化合物，可举出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等单羧酸类；马来酸、富马酸、衣康酸等二羧酸类；琥珀酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、马来酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯等具有羧基及酯键的甲基丙烯酸衍生物类；甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯等甲基丙烯酸烷基酯类；甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯等甲基丙烯酸羟基烷基酯类；甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯等甲基丙烯酸芳基酯类；马来酸二乙酯、富马酸二丁酯等二羧酸二酯类；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、氯苯乙烯、氯甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、羟基苯乙烯、α-甲基羟基苯乙烯、α-乙基羟基苯乙烯等含有乙烯基的芳香族化合物类；乙酸乙烯酯等含有乙烯基的脂肪族化合物类；丁二烯、异戊二烯等共轭二烯类；丙烯腈、甲基丙烯腈等含有腈基的聚合性化合物类；氯乙烯、偏二氯乙烯等含有氯的聚合性化合物；丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺等含有酰胺键的聚合性化合物类；等等。[丙烯酸树脂B3]作为丙烯酸树脂B3，可使用包含下述式b5～b7表示的结构单元的树脂。[化学式71]上述式b5～b7中，R10b、及R14b～R19b各自独立地表示氢原子、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基、氟原子、或碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的氟代烷基，R11b～R13b各自独立地表示碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基、碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的氟代烷基、或碳原子数为5以上且20以下的脂肪族环式基，R12b及R13b可以相互键合从而与两者所键合的碳原子一起形成碳原子数为5以上且20以下的烃环，Yb表示可以具有取代基的脂肪族环式基或烷基，p表示0以上且4以下的整数，q表示0或1。需要说明的是，作为上述直链状或支链状的烷基，可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基等。另外，所谓氟代烷基，为上述烷基的氢原子的一部分或全部被氟原子取代的基团。作为脂肪族环式基的具体例，可举出从单环烷烃、双环烷烃、三环烷烃、四环烷烃等多环烷烃中除去1个以上氢原子而得到的基团。具体而言，可举出从环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷等单环烷烃、金刚烷、降冰片烷、异冰片烷、三环癸烷、四环十二烷等多环烷烃中除去1个氢原子而得到的基团。特别优选从环己烷、金刚烷中除去1个氢原子而得到的基团可以进一步具有取代基。上述R12b及R13b未相互键合而形成烃环时，作为上述R11b、R12b、及R13b，从对比度高、分辨率、焦点深度范围等良好方面考虑，优选为碳原子数为2以上且4以下的直链状或支链状的烷基。作为上述R15b、R16b、R18b、R19b，优选为氢原子或甲基。上述R12b及R13b可与两者所键合的碳原子一起形成碳原子数为5以上且20以下的脂肪族环式基。作为这样的脂肪族环式基的具体例，可举出从单环烷烃、双环烷烃、三环烷烃、四环烷烃等多环烷烃中除去1个以上氢原子而得到的基团。具体而言，可举出从环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷等单环烷烃、金刚烷、降冰片烷、异冰片烷、三环癸烷、四环十二烷等多环烷烃中除去1个以上氢原子而得到的基团。特别优选从环己烷、金刚烷中除去1个以上氢原子而得到的基团可以进一步具有取代基。此外，上述R12b及R13b所形成的脂肪族环式基在其环骨架上具有取代基时，作为该取代基的例子，可举出羟基、羧基、氰基、氧原子＝O等极性基团、碳原子数为1以上且4以下的直链状或支链状的烷基。作为极性基团，特别优选氧原子＝O。上述Yb为脂肪族环式基或烷基，可举出从单环烷烃、双环烷烃、三环烷烃、四环烷烃等多环烷烃中除去1个以上氢原子而得到的基团等。具体而言，可举出从环戊烷、环己烷、环庚烷、环辛烷等单环烷烃、金刚烷、降冰片烷、异冰片烷、三环癸烷、四环十二烷等多环烷烃中除去1个以上氢原子而得到的基团等。特别优选从金刚烷中除去1个以上氢原子而得到的基团可以进一步具有取代基。此外，上述Yb的脂肪族环式基在其环骨架上具有取代基时，作为该取代基的例子，可举出羟基、羧基、氰基、氧原子＝O等极性基团、碳原子数为1以上且4以下的直链状或支链状的烷基。作为极性基团，特别优选氧原子＝O。另外，Yb为烷基时，优选为碳原子数为1以上且20以下、优选6以上且15以下的直链状或支链状的烷基。这样的烷基特别优选为烷氧基烷基，作为这样的烷氧基烷基，可举出1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基、1-正丙氧基乙基、1-异丙氧基乙基、1-正丁氧基乙基、1-异丁氧基乙基、1-叔丁氧基乙基、1-甲氧基丙基、1-乙氧基丙基、1-甲氧基-1-甲基-乙基、1-乙氧基-1-甲基乙基等。作为上述式b5表示的结构单元的优选的具体例，可举出下述式b5-1～b5-33表示的结构单元。[化学式72]上述式b5-1～b5-33中，R20b表示氢原子或甲基。作为上述式b6表示的结构单元的优选的具体例，可举出下述式b6-1～b6-25表示的结构单元。[化学式73]上述式b6-1～b6-25中，R20b表示氢原子或甲基。作为上述式b7表示的结构单元的优选的具体例，可举出下述式b7-1～b7-15表示的结构单元。[化学式74]上述式b7-1～b7-15中，R20b表示氢原子或甲基。此外，丙烯酸树脂B3优选为由除了包含上述式b5～b7表示的结构单元、还包含衍生自具有醚键的聚合性化合物的结构单元的共聚物形成的树脂。作为上述具有醚键的聚合性化合物，可例举具有醚键及酯键的甲基丙烯酸衍生物等自由基聚合性化合物，作为具体例，可举出甲基丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸2-乙氧基乙酯、甲氧基三乙二醇甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸3-甲氧基丁酯、乙基卡必醇甲基丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸四氢糠基酯等。另外，上述具有醚键的聚合性化合物优选为甲基丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸2-乙氧基乙酯、甲氧基三乙二醇甲基丙烯酸酯。这些聚合性化合物可以单独使用，也可组合使用2种以上。此外，出于适度地控制物理、化学特性的目的，丙烯酸树脂B3中可包含其他聚合性化合物作为结构单元。作为这样的聚合性化合物，可举出已知的自由基聚合性化合物、阴离子聚合性化合物。作为这样的聚合性化合物，可举出例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等单羧酸类；马来酸、富马酸、衣康酸等二羧酸类；琥珀酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、马来酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯等具有羧基及酯键的甲基丙烯酸衍生物类；甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸环己酯等甲基丙烯酸烷基酯类；甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯等甲基丙烯酸羟基烷基酯类；甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苄酯等甲基丙烯酸芳基酯类；马来酸二乙酯、富马酸二丁酯等二羧酸二酯类；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、氯苯乙烯、氯甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、羟基苯乙烯、α-甲基羟基苯乙烯、α-乙基羟基苯乙烯等含有乙烯基的芳香族化合物类；乙酸乙烯酯等含有乙烯基的脂肪族化合物类；丁二烯、异戊二烯等共轭二烯类；丙烯腈、甲基丙烯腈等含有腈基的聚合性化合物类；氯乙烯、偏二氯乙烯等含有氯的聚合性化合物；丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺等含有酰胺键的聚合性化合物类；等等。另外，作为聚合性化合物，可举出具有酸非解离性的脂肪族多环式基的甲基丙烯酸酯类、含有乙烯基的芳香族化合物类等。作为酸非解离性的脂肪族多环式基，从工业上容易获得等方面考虑，特别优选三环癸基、金刚烷基、四环十二烷基、异冰片基、降冰片基等。这些脂肪族多环式基可以具有碳原子数为1以上且5以下的直链状或支链状的烷基作为取代基。作为具有酸非解离性的脂肪族多环式基的甲基丙烯酸酯类，具体而言，可例举提供下述式b8-1～b8-5的结构单元的甲基丙烯酸酯类。[化学式75]上述式b8-1～b8-5中，R21b表示氢原子或甲基。上述的感光性树脂中，优选使用丙烯酸树脂B3。这样的丙烯酸树脂B3中，优选为具有上述式b5表示的结构单元、由甲基丙烯酸衍生的结构单元、由甲基丙烯酸烷基酯类衍生的结构单元、和由甲基丙烯酸芳基酯类衍生的结构单元的共聚物。作为这样的共聚物，优选为下述式b9表示的共聚物。[化学式76]上述式b9中，R22b表示氢原子或甲基，R23b表示碳原子数为2以上且4以下的直链状或支链状的烷基，Xb表示与其键合的碳原子一起形成的碳原子数为5以上且20以下的烃环，R24b表示碳原子数为1以上且6以下的直链状或支链状的烷基或碳原子数为1以上且6以下的烷氧基烷基，R25b表示碳原子数为6以上且12以下的芳基。此外，上述式b9表示的共聚物中，s、t、u、v表示各结构单元的摩尔比，s为8摩尔％以上且45摩尔％以下，t为10摩尔％以上且65摩尔％以下，u为3摩尔％以上且25摩尔％以下，v为6摩尔％以上且25摩尔％以下。感光性树脂的按照聚苯乙烯换算质均分子量优选为10000以上且600000以下，更优选为20000以上且400000以下，进一步优选为30000以上且300000以下。通过成为这样的质均分子量，能在不使与基板表面的剥离性下降的情况下保持感光性树脂层的充分的强度，而且能防止镀覆时的外形profile的膨胀、裂缝的产生。另外，感光性树脂优选为分散度为1.05以上的树脂。此处，所谓分散度，是指将质均分子量除以数均分子量而得到的值。通过成为这样的分散度，能避免相对于所期望的镀覆的应力耐性、通过镀覆处理而得到的金属层变得容易膨胀这样的问题。相对于第2方式的感光性组合物的总质量而言，树脂的含量优选为5质量％以上且60质量％以下。为了提高裂缝耐性，第2方式的感光性组合物优选还含有碱溶性树脂。作为碱溶性树脂，优选为选自由Novolac树脂C1、聚羟基苯乙烯树脂C2、及丙烯酸树脂C3组成的组中的至少1种树脂。[Novolac树脂C1]Novolac树脂例如可通过在酸催化剂下使具有酚式羟基的芳香族化合物以下，简称为“酚类”。与醛类进行加成缩合而得到。作为上述酚类，可举出例如苯酚、邻甲酚、间甲酚、对甲酚、邻乙基苯酚、间乙基苯酚、对乙基苯酚、邻丁基苯酚、间丁基苯酚、对丁基苯酚、2，3-二甲苯酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚、2，3，5-三甲基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚、对苯基苯酚、间苯二酚、对苯二酚、对苯二酚单甲基醚、连苯三酚、间苯三酚、羟基联苯hydroxydiphenyl、双酚A、没食子酸、没食子酸酯、α-萘酚、β-萘酚等。作为上述醛类，可举出例如甲醛、糠醛、苯甲醛、硝基苯甲醛、乙醛等。加成缩合反应时的催化剂没有特别限制，例如，在酸催化剂中，可使用盐酸、硝酸、硫酸、甲酸、草酸、乙酸等。需要说明的是，通过使用邻甲酚、将树脂中的羟基的氢原子替换为其他取代基、或使用体积大的醛类，能进一步提高Novolac树脂的柔软性。Novolac树脂C1的质均分子量在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，优选为1000以上且50000以下。[聚羟基苯乙烯树脂C2]作为构成聚羟基苯乙烯树脂C2的羟基苯乙烯系化合物，可举出对羟基苯乙烯、α-甲基羟基苯乙烯、α-乙基羟基苯乙烯等。此外，聚羟基苯乙烯树脂C2优选为与苯乙烯树脂的共聚物。作为构成这样的苯乙烯树脂的苯乙烯系化合物，可举出苯乙烯、氯苯乙烯、氯甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等。聚羟基苯乙烯树脂C2的质均分子量在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，优选为1000以上且50000以下。[丙烯酸树脂C3]作为丙烯酸树脂C3，优选包含由具有醚键的聚合性化合物衍生的结构单元、及由具有羧基的聚合性化合物衍生的结构单元。作为上述具有醚键的聚合性化合物，可例举甲基丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲氧基三乙二醇甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸3-甲氧基丁酯、乙基卡必醇甲基丙烯酸酯、苯氧基聚乙二醇甲基丙烯酸酯、甲氧基聚丙二醇甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸四氢糠基酯等具有醚键及酯键的甲基丙烯酸衍生物等。上述具有醚键的聚合性化合物优选为丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲氧基三乙二醇丙烯酸酯。这些聚合性化合物可以单独使用，也可组合使用2种以上。作为上述具有羧基的聚合性化合物，可例举丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等单羧酸类；马来酸、富马酸、衣康酸等二羧酸类；琥珀酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、马来酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-甲基丙烯酰基氧基乙酯等具有羧基及酯键的化合物；等等。上述具有羧基的聚合性化合物优选为丙烯酸、甲基丙烯酸。这些聚合性化合物可以单独使用，也可组合使用2种以上。丙烯酸树脂C3的质均分子量在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，优选为50000以上且800000以下。将上述感光性树脂和碱溶性树脂的总和作为100质量份时，碱溶性树脂的含量优选为0质量份以上且80质量份以下，更优选为0质量份以上且60质量份以下。通过使碱溶性树脂的含量为上述的范围，从而存在能提高裂缝耐性、防止显影时的膜损失的倾向。对于第2方式的感光性树脂组合物而言，为了提高由感光性组合物形成的膜的放置稳定性等，优选还含有酸扩散控制剂。作为酸扩散控制剂，优选含氮化合物D1，根据需要，还可含有有机羧酸、或者磷的含氧酸或其衍生物D2。[含氮化合物D1]作为含氮化合物D1，可举出三甲基胺、二乙基胺、三乙基胺、二正丙基胺、三正丙基胺、三正戊基胺、三苄基胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正己基胺、正庚基胺、正辛基胺、正壬基胺、乙二胺、N，N，N’，N’-四甲基乙二胺、四亚甲基二胺、六亚甲基二胺、4，4’-二氨基二苯基甲烷、4，4’-二氨基二苯基醚、4，4’-二氨基二苯甲酮、4，4’-二氨基二苯基胺、甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、丙酰胺、苯甲酰胺、吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮、甲基脲、1，1-二甲基脲、1，3-二甲基脲、1，1，3，3-四甲基脲、1，3-二苯基脲、咪唑、苯并咪唑、4-甲基咪唑、8-氧基喹啉、吖啶、嘌呤、吡咯烷、哌啶、2，4，6-三2-吡啶基-S-三嗪、吗啉、4-甲基吗啉、哌嗪、1，4-二甲基哌嗪、1，4-二氮杂双环[2.2.2]辛烷、吡啶等。它们可以单独使用、也可组合使用2种以上。关于含氮化合物D1，相对于上述感光性树脂及碱溶性树脂的总质量100质量份而言，通常在0质量份以上且5质量份以下的范围内使用，特别优选在0质量份以上且3质量份以下的范围内使用。[有机羧酸、或者磷的含氧酸或其衍生物D2]有机羧酸、或者磷的含氧酸或其衍生物D2中，作为有机羧酸，具体而言，优选丙二酸、柠檬酸、苹果酸、琥珀酸、苯甲酸、水杨酸等，特别优选水杨酸。作为磷的含氧酸或其衍生物，可举出磷酸、磷酸二正丁酯、磷酸二苯酯等磷酸及它们的酯这样的衍生物；膦酸、膦酸二甲酯、膦酸二正丁酯、苯基膦酸、膦酸二苯酯、膦酸二苄酯等膦酸及它们的酯这样的衍生物；次膦酸、苯基次膦酸等次膦酸及它们的酯这样的衍生物；等等。这些中，特别优选膦酸。它们可以单独使用、也可组合使用2种以上。关于有机羧酸、或者磷的含氧酸或其衍生物D2，相对于上述感光性树脂及上述碱溶性树脂的总质量100质量份而言，通常在0质量份以上且5质量份以下的范围内使用，特别优选在0质量份以上且3质量份以下的范围内使用。另外，为了形成盐并使其稳定，有机羧酸、或者磷的含氧酸或其衍生物D2优选使用与上述含氮化合物D1同等的量。第2方式的感光性组合物含有有机溶剂。有机溶剂的种类在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，可从以往在正型的感光性树脂组合物中使用的有机溶剂中适当选择而使用。作为有机溶剂的具体例，除了第1方式的感光性组合物中列举的溶剂之外，还可举出丙酮、甲基乙基酮、环己酮、甲基异戊基酮、2-庚酮等酮类；乙二醇、乙二醇单乙酸酯、二乙二醇、二乙二醇单乙酸酯、丙二醇、丙二醇单乙酸酯、二丙二醇、二丙二醇单乙酸酯的单甲基醚、单乙基醚、单丙基醚、单丁基醚、单苯基醚等多元醇类及其衍生物；二氧杂环己烷等环式醚类；甲酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙酮酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、丙酮酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯等酯类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类；等等。它们可以单独使用，也可混合使用2种以上。有机溶剂的含量在不妨碍本发明的目的的范围内没有特别限制，例如，以感光性树脂组合物的固态成分浓度成为2质量％以上且55质量％以下的范围适当调整即可。以通过旋涂法等得到的感光性树脂层的膜厚成为10μm以上的那样的厚膜用途使用感光性组合物时，优选以感光性树脂组合物的固态成分浓度成为30质量％以上且55质量％以下的范围使用有机溶剂。为了提高可塑性，第2方式的感光性组合物可以还含有聚乙烯基树脂。作为聚乙烯基树脂的具体例，可举出聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚羟基苯乙烯、聚乙酸乙烯酯、聚乙烯基苯甲酸、聚乙烯基甲基醚、聚乙烯基乙基醚、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯基苯酚、及它们的共聚物等。从玻璃化转变温度低方面考虑，聚乙烯基树脂优选为聚乙烯基甲基醚。另外，为了提高使用感光性组合物形成的氢阻隔膜与基板、尤其是金属基板的粘接性，第2方式的感光性组合物可以还含有粘接助剂。为了对相对于显影液的溶解性进行微调，第2感光性组合物可以还含有酸、酸酐、或高沸点溶剂。作为酸及酸酐的具体例，可举出乙酸、丙酸、正丁酸、异丁酸、正戊酸、异戊酸、苯甲酸、肉桂酸等单羧酸类；乳酸、2-羟基丁酸、3-羟基丁酸、水杨酸、间羟基苯甲酸、对羟基苯甲酸、2-羟基肉桂酸、3-羟基肉桂酸、4-羟基肉桂酸、5-羟基间苯二甲酸、丁香酸等羟基单羧酸类；草酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、马来酸、衣康酸、六氢邻苯二甲酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、1，2-环己烷二甲酸、1，2，4-环己烷三甲酸、丁烷四甲酸、偏苯三甲酸、均苯四甲酸、环戊烷四甲酸、丁烷四甲酸、1，2，5，8-萘四甲酸等多元羧酸类；衣康酸酐、琥珀酸酐、柠康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、丙三甲酸酐、马来酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、纳迪克酸酐himicanhydride、1，2，3，4-丁四甲酸酐、环戊烷四甲酸二酐、邻苯二甲酸酐、均苯四甲酸酐、偏苯三甲酸酐、二苯甲酮四甲酸酐、乙二醇双偏苯三甲酸酯酐、甘油三偏苯三甲酸酯酐等酸酐；等等。另外，作为高沸点溶剂的具体例，可举出N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜、苄基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苯甲醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸乙烯酯、苯基溶纤剂乙酸酯等。为了提高敏感度，第2方式的感光性组合物可以还含有敏化剂。相对于第2方式的感光性组合物中的相当于基材成分A的树脂的质量而言，氢阻隔剂B的含量优选为0.01质量％以上且30质量％以下，更优选为0.05质量％以上且20质量％以下，特别优选为0.1质量％以上且10质量％以下。通过成为上述的范围，能在得到良好的显影性的同时得到具有氢阻隔性能的图案。3第3方式的感光性组合物第3方式的感光性组合物为含有具有酚式羟基的碱溶性树脂、酸交联性物质、光产酸剂、氢阻隔剂B、及有机溶剂的负型感光性组合物。作为第3方式的感光性组合物中的具有酚式羟基的碱溶性树脂，例如可使用聚羟基苯乙烯系树脂。聚羟基苯乙烯系树脂至少具有来自羟基苯乙烯的结构单元。此处所谓“羟基苯乙烯”，是包括羟基苯乙烯、及键合于羟基苯乙烯的α位的氢原子被卤素原子、烷基、卤代烷基等其他取代基取代而得到的产物、以及它们的衍生物的羟基苯乙烯衍生物单体的概念。“羟基苯乙烯衍生物”中，至少苯环和在其上键合的羟基被维持，例如包含：键合于羟基苯乙烯的α位的氢原子被卤素原子、碳原子数为1以上且5以下的烷基、卤代烷基等其他取代基取代而得到的产物；以及在羟基苯乙烯的羟基所键合的苯环上进一步键合碳原子数为1以上且5以下的烷基而得到的产物；在该羟基所键合的苯环上进一步键合1个以上且2个以下的羟基而得到的产物此时，羟基的总数为2以上且3以下。；等等。作为卤素原子，可举出氯原子、氟原子、溴原子等，优选氟原子。需要说明的是，所谓“羟基苯乙烯的α位”，只要没有特别说明，是指苯环所键合的碳原子。所述的来自羟基苯乙烯的结构单元例如由下述式b-1表示。[化学式77]上述式b-1中，Rb1表示氢原子、烷基、卤素原子、或卤代烷基，Rb2表示碳原子数为1以上且5以下的烷基，p表示1以上且3以下的整数，q表示0以上且2以下的整数。就Rb1的烷基而言，优选碳原子数为1以上且5以下。另外，优选为直链状或支链状的烷基，可举出甲基、乙基、丙基、异丙基、正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基、新戊基等。这些中，工业上优选甲基。作为卤素原子，可举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等，优选氟原子。作为卤代烷基，为上述的碳原子数为1以上且5以下的烷基的氢原子的一部分或全部被卤素原子取代的基团。其中，优选氢原子的全部被氟原子取代的烷基。另外，优选直链状或支链状的氟代烷基，更优选三氟甲基、六氟乙基、七氟丙基、九氟丁基等，最优选三氟甲基-CF3。作为Rb1，优选氢原子或甲基，更优选氢原子。作为Rb2的碳原子数为1以上且5以下的烷基，可举出与Rb1的情况同样的基团。q为0以上且2以下的整数。这些中，优选为0或1，工业上特别优选为0。就Rb2的取代位置而言，q为1时，可以为邻位、间位、对位中的任一者，此外，q为2时，可将任意的取代位置组合。p为1以上且3以下的整数，优选为1。就羟基的取代位置而言，p为1时，可以为邻位、间位、对位中的任一者，从能容易地获得且价格低方面考虑，优选为对位。此外，p为2或3时，可将任意的取代位置组合。上述式b-1表示的结构单元可以单独使用或组合2种以上而使用。聚羟基苯乙烯系树脂中，相对于构成聚羟基苯乙烯系树脂的全部结构单元而言，来自羟基苯乙烯的结构单元的比例优选为60摩尔％以上且100摩尔％以下，更优选为70摩尔％以上且100摩尔％以下，进一步优选为80摩尔％以上且100摩尔％以下。通过成为上述的范围内，在形成感光性组合物时可得到适度的碱溶性。聚羟基苯乙烯系树脂优选还具有来自苯乙烯的结构单元。此处所谓“来自苯乙烯的结构单元”，被定义为包含苯乙烯及苯乙烯衍生物其中，不包含羟基苯乙烯。的烯键式双键断裂而形成的结构单元。“苯乙烯衍生物”被定义为包含键合于苯乙烯的α位的氢原子被卤素原子、烷基、卤代烷基等其他取代基取代而得到的衍生物、以及苯乙烯的苯基的氢原子被碳原子数为1以上且5以下的烷基等取代基取代而得到的衍生物等。作为卤素原子，可举出氯原子、氟原子、溴原子等，优选氟原子。需要说明的是，所谓“苯乙烯的α位”，只要没有特别说明，是指苯环所键合的碳原子。所述的来自苯乙烯的结构单元例如由下述式b-2表示。式中，Rb1、Rb2、q与上述式b-1含义相同。[化学式78]作为Rb1及Rb2，可举出分别与上述式b-1的Rb1及Rb2同样的基团。q为0以上且2以下的整数。这些中，优选为0或1，工业上特别优选为0。对于Rb2的取代位置而言，q为1时，可以为邻位、间位、对位中的任一者，此外，q为2时，可将任意的取代位置组合。上述式b-2表示的结构单元可以单独使用或组合2种以上而使用。聚羟基苯乙烯系树脂中，相对于构成聚羟基苯乙烯系树脂的全部结构单元而言，来自苯乙烯的结构单元的比例优选为40摩尔％以下，更优选为30摩尔％以下，进一步优选为20摩尔％以下。通过成为上述的范围，从而不仅能在形成感光性组合物时得到适度的碱溶性，而且与其他结构单元的均衡性也变得良好。需要说明的是，聚羟基苯乙烯系树脂可以具有除来自羟基苯乙烯的结构单元、来自苯乙烯的结构单元以外的其他结构单元。更优选上述聚羟基苯乙烯系树脂为仅由来自羟基苯乙烯的结构单元组成的聚合物、或由来自羟基苯乙烯的结构单元和来自苯乙烯的结构单元组成的共聚物。聚羟基苯乙烯系树脂的质均分子量没有特别限制，优选为1500以上且40000以下，更优选为2000以上且8000以下。另外，作为具有酚式羟基的碱溶性树脂，也可使用Novolac树脂。该Novolac树脂可通过在酸催化剂的存在下使酚类与醛类进行加成缩合而得到。作为酚类，可举出苯酚、邻甲酚、间甲酚、对甲酚等甲酚类；2，3-二甲苯酚、2，4-二甲苯酚、2，5-二甲苯酚、2，6-二甲苯酚、3，4-二甲苯酚、3，5-二甲苯酚等二甲苯酚类；邻乙基苯酚、间乙基苯酚、对乙基苯酚、2-异丙基苯酚、3-异丙基苯酚、4-异丙基苯酚、邻丁基苯酚、间丁基苯酚、对丁基苯酚、对叔丁基苯酚等烷基酚类；2，3，5-三甲基苯酚、3，4，5-三甲基苯酚等三烷基酚类；间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、对苯二酚单甲基醚、连苯三酚、间苯三酚等多元酚类；烷基间苯二酚、烷基邻苯二酚、烷基对苯二酚等烷基多元酚类烷基多元酚类中包含的烷基的碳原子数为1以上且4以下；α-萘酚、β-萘酚、羟基联苯hydroxydiphenyl、双酚A等。这些酚类可以单独使用或组合2种以上而使用。这些酚类中，优选间甲酚、对甲酚，更优选将间甲酚和对甲酚并用。这种情况下，可通过调整两者的配合比例来调整敏感度等各特性。作为醛类，可举出甲醛、多聚甲醛paraformaldehyde、糠醛、苯甲醛、硝基苯甲醛、乙醛等。这些醛类可以单独使用或组合2种以上而使用。作为酸催化剂，可举出盐酸、硫酸、硝酸、磷酸、亚磷酸等无机酸类；甲酸、草酸、乙酸、硫酸二乙酯、对甲苯磺酸等有机酸类；乙酸锌等金属盐类等。这些酸催化剂可以单独使用或组合2种以上而使用。作为如上所述地得到的Novolac树脂，具体而言，可举出苯酚甲醛缩合Novolac树脂、甲酚甲醛缩合Novolac树脂、苯酚-萘酚甲醛缩合Novolac树脂等。Novolac树脂的质均分子量没有特别限制，优选为1000以上且30000以下，更优选为3000以上且25000以下。另外，作为具有酚式羟基的碱溶性树脂，也可使用苯酚-苯二甲醇缩合树脂、甲酚-苯二甲醇缩合树脂、苯酚-二环戊二烯缩合树脂等。相对于第3方式的感光性组合物的固态成分而言，具有酚式羟基的碱溶性树脂的含量优选为20质量％以上且80质量％以下，更优选为35质量％以上且65质量％以下。通过成为上述的范围，存在容易取得显影性的均衡性的倾向。作为第3方式的感光性组合物中的酸交联性物质，没有特别限制，可使用现有已知的酸交联性物质。作为酸交联性物质，具体而言，可举出具有羟基或烷氧基的氨基树脂、例如三聚氰胺树脂、尿素树脂、胍胺树脂、乙酰胍胺树脂、苯并胍胺树脂、甘脲-甲醛树脂、琥珀酰亚胺-甲醛树脂、亚乙基脲-甲醛树脂等。这些酸交联性物质可通过下述方式容易地得到：使三聚氰胺、脲、胍胺、乙酰胍胺、苯并胍胺、甘脲、琥珀酰亚胺、亚乙基脲在沸水中与福尔马林反应，进行羟甲基化，或使其进一步与低级醇反应，进行烷氧基化。实际使用上，可以以NIKALACMX-750、NIKALACMW-30、NIKALACMW100LM等三聚氰胺树脂、NIKALACMX-290等尿素树脂均为SanwaChemicalCo.，Ltd.制的形式获得。另外，CYMEL1123、CYMEL1128MitsuiCyanamidCo.，Ltd.制等苯并胍胺树脂也能以市售品形式获得。另外，也可使用1，3，5-三甲氧基甲氧基苯、1，2，4-三异丙氧基甲氧基苯、1，4-双仲丁氧基甲氧基苯等具有烷氧基的苯化合物、2，6-二羟基甲基对叔丁基苯酚等具有羟基或烷氧基的酚化合物等。这些酸交联性物质可以单独使用或组合2种以上而使用。相对于具有酚式羟基的碱溶性树脂100质量份而言，酸交联性物质的含量优选为5质量份以上且50质量份以下，更优选为10质量份以上且30质量份以下。通过成为上述的范围，从而感光性组合物的固化性、图案化特性变得良好。作为第3方式的感光性组合物中的光产酸剂，没有特别限制，可使用现有已知的光产酸剂。作为优选的光产酸剂，可举出针对第2方式的感光性组合物而说明的光产酸剂。相对于具有酚式羟基的碱溶性树脂100质量份而言，光产酸剂的含量优选为0.05质量份以上且30质量份以下，更优选为0.1质量份以上且10质量份以下。通过成为上述的范围，从而感光性组合物的固化性变得良好。如上所述，第3方式的感光性组合物含有氢阻隔剂B。在感光性组合物中含有该化合物时，能形成具有氢阻隔性能的图案。相对于第3方式的感光性组合物中的相当于基材成分A的树脂的质量而言，氢阻隔剂B的含量优选为0.01质量％以上且30质量％以下，更优选为0.05质量％以上且20质量％以下，特别优选为0.1质量％以上且10质量％以下。通过成为上述的范围，能在得到良好的显影性的同时得到具有氢阻隔性能的图案。第3方式的感光性组合物可以还含有具有4个以上酚式羟基的分子量低于2000的化合物。作为这样的化合物，具体而言，除了各种四羟基二苯甲酮、五羟基二苯甲酮、六羟基二苯甲酮、七羟基二苯甲酮等二苯甲酮化合物之外，还可举出双[2-羟基-3-2’-羟基-5’-甲基苄基-5-甲基苯基]甲烷、双4-羟基-3，5-二甲基苯基-3，4-二羟基苯基甲烷、双4-羟基-2，5-二甲基苯基-3，4-二羟基苯基甲烷、双4-羟基-3，5-二甲基苯基-2，4-二羟基苯基甲烷、双4-羟基-2，5-二甲基苯基-2，4-二羟基苯基甲烷、双3-环己基-4-羟基-6-甲基苯基-3，4-二羟基苯基甲烷、双3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基-3，4-二羟基苯基甲烷、双4-羟基-2，3，5-三甲基苯基-3，4-二羟基苯基甲烷等羟基芳基系化合物；2-2，3，4-三羟基苯基-2-2’，3’，4’-三羟基苯基丙烷、2-2，4-二羟基苯基-2-2’，4’-二羟基苯基丙烷等双羟基苯基烷烃系化合物；分子量小于2000的聚邻羟基苯乙烯、聚间羟基苯乙烯、聚对羟基苯乙烯、聚α-甲基-对羟基苯乙烯、聚4-羟基-3-甲基苯乙烯等聚羟基苯乙烯系化合物；等等。这些二苯甲酮系化合物、羟基芳基系化合物、双羟基苯基烷烃系化合物、聚羟基苯乙烯系化合物可以具有羟基以外的取代基。这些化合物可以单独使用或组合2种以上而使用。相对于具有酚式羟基的碱溶性树脂100质量份而言，具有4个以上酚式羟基的分子量低于2000的化合物的含量优选为0.5质量份以上且5质量份以下。通过成为上述的范围，能抑制将感光性组合物图案化时的尖端变细现象。作为第3方式的感光性组合物中的有机溶剂，可举出第1方式的感光性组合物中例举的有机溶剂。关于有机溶剂的含量，优选第3方式的感光性组合物的固态成分浓度成为1质量％以上且50质量％以下的量，更优选第3方式的感光性组合物的固态成分浓度成为5质量％以上且30质量％以下的量。第3方式的感光性组合物与第1方式的感光性组合物同样，根据需要，可含有上述的各种添加剂。4第4方式的感光性组合物第4方式的感光性组合物含有环氧化合物及氢阻隔剂B，进而可任选地含有有机溶剂。作为第4方式的感光性组合物中的环氧化合物，例如，可举出与作为上述的环氧树脂前体而列举的环氧化合物同样的环氧化合物。相对于第4方式的感光性组合物的固态成分而言，环氧化合物的含量优选为55质量％以上且99质量％以下，更优选为70质量％以上且95质量％以下。通过成为上述的范围，能提高涂膜形成能力。第4方式的感光性组合物含有前述的氢阻隔剂B。由于氢阻隔剂B为包含咪唑环的化合物，因而在曝光时能促进环氧化合物的固化，向感光性组合物赋予良好的图案化特性及氢阻隔性能。相对于环氧化合物100质量份而言，氢阻隔剂B的含量优选为0.01质量份以上且30质量份以下，更优选为0.05质量份以上且20质量份以下，特别优选为0.1质量份以上且10质量份以下。通过成为上述的范围，能得到图案化特性及氢阻隔性能。作为第4方式的感光性组合物中的有机溶剂，可举出第1方式的感光性组合物中例举的有机溶剂。其中，优选丙二醇单甲基醚、甲基乙基酮、环戊酮、环己酮、乙酸乙酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、γ-丁内酯等极性溶剂、甲苯等芳香族烃类、及它们的混合溶剂。关于含有有机溶剂时的有机溶剂的含量，优选第4方式的感光性组合物的固态成分浓度成为1质量％以上且50质量％以下的量，更优选第4方式的感光性组合物的固态成分浓度成为5质量％以上且30质量％以下的量。第4方式的感光性组合物与第1方式的感光性组合物同样，根据需要，可含有上述的各种添加剂。需要说明的是，对于后述的第5方式中的含有环氧基的聚羧酸树脂而言，不限于全部环氧基通过与“具有醇式羟基的单羧酸”及“多元酸酐”的反应而被消耗，通常，从具有残留的环氧基方面考虑，也属于第4方式的感光性组合物中的环氧树脂。从这点考虑，作为第4方式的感光性组合物中的环氧树脂，有时也可使用第4方式的感光性组合物中的含有环氧基的聚羧酸树脂。本说明书中，第4方式的感光性组合物中的环氧树脂中，有时将第4方式的感光性组合物中的含有环氧基的聚羧酸树脂以外的树脂称为非羧酸改性环氧树脂。5第5方式的感光性组合物第5方式的感光性组合物为包含含有环氧基的聚羧酸树脂、光产酸剂、氢阻隔剂B、及有机溶剂的负型感光性组合物。作为第5方式的感光性组合物中的含有环氧基的聚羧酸树脂，例如可使用将使在1分子中具有2个以上环氧基的环氧化合物与在1分子中具有1个以上醇式羟基的单羧酸反应而得到的反应产物进一步与多元酸酐反应而得到的树脂。作为在一分子中具有2个以上环氧基的环氧化合物，可举出例如作为上述的环氧树脂前体而列举的环氧化合物、与上述的含有环氧基的树脂同样的物质。其中，可举出Novolac型环氧树脂、双酚型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、三2，3-环氧丙基异氰脲酸酯、联苯基二缩水甘油基醚、脂环式环氧树脂、共聚型环氧树脂等。作为Novolac型环氧树脂，可举出例如使Novolac类其是在酸性催化剂下使苯酚、甲酚、卤代苯酚、烷基酚等酚类与甲醛反应而得到的与表氯醇、甲基表氯醇反应而得到的环氧树脂等。作为市售品，可举出EOCN-102S、EOCN-103S、EOCN-104S、EOCN-1027、EPPN-201、BREN-S均为日本化药公司制；DEN-431、DEN-439均为DowChemicalCompany制；N-730、N-770、N-865、N-665、N-673、VH-4150均为大日本油墨化学工业公司制等。作为双酚型环氧树脂，可举出例如使双酚A、双酚F、双酚S、四溴双酚A等双酚类与表氯醇、甲基表氯醇反应而得到的环氧树脂、使双酚A、双酚F的二缩水甘油基醚、与上述双酚类的缩合物、与表氯醇、甲基表氯醇反应而得到的环氧树脂等。作为市售品，可举出EPIKOTE1004、EPIKOTE1002、EPIKOTE4002、EPIKOTE4004均为YukaShellEpoxyK.K.制等。作为三苯酚甲烷型环氧树脂，可举出例如使三苯酚甲烷、三甲酚甲烷与表氯醇、甲基表氯醇反应而得到的环氧树脂等。作为市售品，可举出EPPN-501、EPPN-502均为日本化药公司制等。作为脂环式环氧树脂，可举出与上述的脂环式环氧化合物同样的物质。作为市售品，可举出DaicelCorporation制的CELLOXIDE2021；三井石油化学工业公司制的EpomicEpomikVG-3101；YukaShellEpoxyK.K.制的E-1031S、日本曹达公司制的EPB-13、EPB-27等。另外，作为共聚型环氧树脂，可举出作为甲基丙烯酸缩水甘油酯与苯乙烯与α-甲基苯乙烯的共聚物的日本油脂公司制的CP-50M、CP-50S、或甲基丙烯酸缩水甘油酯与环己基马来酰亚胺等的共聚物等。作为这些在1分子中具有2个以上环氧基的环氧树脂的特别优选的例子，可举出例如甲酚Novolac型环氧树脂、苯酚Novolac型环氧树脂、双酚型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂等。尤其是，优选α-羟基苯基-ω-氢聚联苯基二亚甲基-羟基苯撑与1-氯-2，3-环氧丙烷的缩聚物、及α-2，3-环氧丙氧基苯基-ω-氢聚{2-2，3-环氧丙氧基-亚苄基-2，3-环氧丙氧基苯撑}。作为在1分子中具有1个以上醇式羟基的单羧酸，可举出例如二羟甲基丙酸、二羟甲基乙酸、二羟甲基丁酸、二羟甲基戊酸、二羟甲基己酸、羟基特戊酸等羟基单羧酸类。这些中，优选在1分子中具有1个以上且5个以下的醇式羟基的单羧酸。作为多元酸酐，可举出例如琥珀酸酐、马来酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基内亚甲基四氢邻苯二甲酸酐、偏苯三甲酸酐、均苯四甲酸酐等。关于上述环氧化合物与上述单羧酸的反应，相对于环氧化合物的环氧基1当量而言，单羧酸优选为0.1摩尔以上且0.7摩尔以下，更优选为0.2摩尔以上且0.5摩尔以下。该反应中，优选使用不与环氧化合物、多元酸酐反应的、不具有羟基、羧基的有机溶剂。此外，为了促进反应，可使用催化剂例如，三苯基膦、苄基二甲基胺、三烷基氯化铵、三苯基锑等。使用了催化剂时，尤其是在反应结束后，使用有机过氧化物等使催化剂失活而得到的产物稳定且保存性良好，是优选的。相对于反应混合物而言，反应催化剂的使用量优选为0.1质量％以上且10质量％以下，反应温度优选为60℃以上且150℃以下。由此，能得到上述环氧化合物与上述单羧酸的反应产物。该反应产物与多元酸酐的反应中，优选使最终得到的含有环氧基的聚羧酸树脂的酸值成为50mgKOHg以上且150mgKOHg以下的量的多元酸酐进行反应。反应温度优选为60℃以上且150℃以下。如上所述地操作，能得到含有环氧基的聚羧酸树脂。这些含有环氧基的聚羧酸树脂可以单独使用或组合2种以上而使用。相对于第5方式的感光性组合物的固态成分而言，含有环氧基的聚羧酸树脂的含量优选为30质量％以上且80质量％以下，更优选为40质量％以上且70质量％以下。通过成为上述的范围，能提高涂膜形成能力。作为第5方式的感光性组合物中的光产酸剂，可举出在第2方式的感光性组合物中例举的光产酸剂。相对于第5方式的感光性组合物的固态成分而言，光产酸剂的含量优选为0.5质量％以上且30质量％以下，更优选为1质量％以上且20质量％以下。通过成为上述的范围，从而感光性组合物的固化性变得良好。如上所述，第5方式的感光性组合物含有氢阻隔剂B。在感光性组合物中含有该化合物时，能形成具有氢阻隔性能的图案。相对于第5方式的感光性组合物中的相当于基材成分A的树脂的质量而言，氢阻隔剂B的含量优选为0.01质量％以上且30质量％以下，更优选为0.05质量％以上且20质量％以下，特别优选为0.1质量％以上且10质量％以下。通过成为上述的范围，能在得到良好的显影性的同时得到具有氢阻隔性能的图案。第5方式的感光性组合物可以还含有用于调整耐湿性、耐热性、密合性等的改性成分。对于该改性成分而言，可以是其自身通过热、紫外线等而发生固化，也可通过热、紫外线等与含有环氧基的聚羧酸树脂的残留羟基、羧基等反应。具体而言，可举出在1分子中具有1个以上环氧基的环氧化合物、三聚氰胺衍生物例如，六甲氧基三聚氰胺、六丁氧基化三聚氰胺、缩合六甲氧基三聚氰胺等、双酚A系化合物例如，四羟甲基双酚A等、噁唑啉化合物等。作为在1分子中具有1个以上环氧基的环氧化合物，可举出EPIKOTE1009、1031均为YukaShell公司制、EPICLONN-3050、N-7050均为大日本油墨化学工业公司制、DER-642U、DER-673MF均为DowChemicalCompany制等双酚A型环氧树脂；ST-2004、ST-2007均为东都化成公司制等氢化双酚A型环氧树脂；YDF-2004、YDF-2007均为东都化成公司制等双酚F型环氧树脂；SR-BBS、SR-TBA-400均为坂本药品工业公司制、YDB-600、YDB-715均为东都化成公司制等溴化双酚A型环氧树脂；EPPN-201、EOCN-103、EOCN-1020、BREN均为日本化药公司制等Novolac型环氧树脂；大日本油墨化学工业公司制的EPICLONN-880等双酚A的Novolac型环氧树脂；大日本油墨化学工业公司制的EPICLONTSR-601、ACR公司制的R-1415-1等橡胶改性环氧树脂；日本化药公司制的EBPS-200、大日本油墨化学工业公司制的EPICLONEXA-1514等双酚S型环氧树脂；日本油脂公司制的BLEMMERDGT等对苯二甲酸二缩水甘油酯；日产化学公司制的TEPIC等三缩水甘油基异氰脲酸酯；YukaShell公司制的YX-4000等联二甲苯酚型环氧树脂；YukaShell公司制的YL-6056等双酚型环氧树脂；DaicelCorporation制的CELLOXIDE2021等脂环式环氧树脂；等等。相对于第5方式的感光性组合物的固态成分而言，改性成分的含量优选为50质量％以下，更优选为30质量％以下。第5方式的感光性组合物与第1方式的感光性组合物同样，可以还含有着色剂。作为第5方式的感光性组合物中的有机溶剂，可举出第1方式的感光性组合物中例举的有机溶剂。关于有机溶剂的含量，优选第5方式的感光性组合物的固态成分浓度成为1质量％以上且50质量％以下的量，更优选第5方式的感光性组合物的固态成分浓度成为5质量％以上且30质量％以下的量。氢阻隔膜形成用组合物或第1～5方式的感光性组合物根据需要可含有各种添加剂。作为添加剂，可举出敏化剂、固化促进剂、填充剂、密合性赋予剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、抗絮凝剂、热聚合阻止剂、消泡剂、流平剂、表面活性剂、增稠剂等。作为敏化剂，例如优选在9位及10位具有烷氧基的蒽化合物9，10-二烷氧基蒽衍生物。作为烷氧基，可举出碳原子数为1以上且4以下的烷氧基。9，10-二烷氧基蒽衍生物可以进一步具有取代基。作为取代基，可举出卤素原子、碳原子数为1以上且4以下的烷基、磺酸烷基酯基、羧酸烷基酯基等。作为磺酸烷基酯基、羧酸烷基酯基中的烷基，可举出碳原子数为1以上且4以下的烷基。这些取代基的取代位置优选为2位。作为9，10-二烷氧基蒽衍生物，可举出例如9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、9，10-二丙氧基蒽、9，10-二甲氧基-2-乙基蒽、9，10-二乙氧基-2-乙基蒽、9，10-二丙氧基-2-乙基蒽、9，10-二甲氧基-2-氯-蒽、9，10-二甲氧基蒽-2-磺酸甲酯，9，10-二乙氧基蒽-2-磺酸甲酯，9，10-二甲氧基蒽-2-羧酸甲酯等。这些化合物可通过以下方式得到：在碱水溶液中，用锌粉、连二亚硫酸盐、钯-碳、硼氢化钠等还原剂对蒽醌衍生物进行处理，形成9，10-二羟基蒽衍生物，然后用硫酸二甲酯、硫酸二乙酯等硫酸酯、甲苯磺酸甲酯、甲苯磺酸乙酯、甲苯磺酸丙酯、甲苯磺酸单乙二醇酯等甲苯磺酸酯、或苯磺酸甲酯、苯磺酸乙酯、苯磺酸丙酯等苯磺酸酯将9，10位烷氧基化。这些敏化剂可以单独使用或组合2种以上而使用。各组合物包含光产酸剂时，相对于光产酸剂而言，敏化剂的含量以摩尔比计优选为0.1以上且6以下，更优选为0.2以上且4以下。通过成为上述的范围，各组合物的敏感度、固化性变得良好。作为填充剂，可举出硫酸钡、钛酸钡、二氧化硅、滑石、粘土、碳酸镁、碳酸钙、氧化铝、云母等已知的填充剂。相对于各组合物的固态成分而言，填充剂的含量优选为60质量％以下，更优选为5质量％以上且40质量％以下。作为表面活性剂，可举出BM-1000、BM-1100均为BMChemie公司制、MegafacF142D、MegafacF172、MegafacF173、MegafacF183均为大日本油墨化学工业公司制、FluoradFC-135、FluoradFC-170C、FluoradFC-430、FluoradFC-431均为Sumitomo3MLtd.制、SurflonS-112、SurflonS-113、SurflonS-131、SurflonS-141、SurflonS-145均为旭硝子公司制、SH-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428均为ToraySilicone公司制等市售的氟系表面活性剂，但不限于这些。作为增稠剂，可举出超微粉二氧化硅、蒙脱石等。作为消泡剂及或流平剂，可举出聚硅氧烷系高分子、氟系高分子等。作为密合性赋予剂，可举出硅烷偶联剂等。另外，对于氢阻隔膜形成用组合物或第1～5方式的感光性组合物而言，作为任选的添加剂，可单独使用或以组合2种以上的方式使用1-N，N-二2-乙基己基氨基甲基-1H-苯并三唑、1-N，N-二2-乙基己基氨基甲基-1H-甲基苯并三唑、羧基苯并三唑、苯并三唑、甲基苯并三唑、二羟基丙基苯并三唑、双氨基甲基苯并三唑等苯并三唑衍生物等。对于氢阻隔膜形成用组合物或第1～5的方式的感光性组合物可以含有的上述各种添加剂的添加量而言，只要没有特别记载，相对于组合物整体而言，例如以0.001质量％以上且10质量％以下的范围适当调整即可，优选为0.1质量％以上且5质量％以下。感光性组合物可通过用搅拌机将上述的各成分混合来制备。需要说明的是，可使用膜滤器等进行过滤以使得制备的感光性组合物变得均匀。《氢阻隔膜的制造方法》通过使用上文中说明的包含氢阻隔剂B的氢阻隔膜形成用组合物，能形成包含氢阻隔剂B的氢阻隔膜。在氢阻隔膜形成用组合物包含聚缩醛树脂、聚酰胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯树脂聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚芳酯等、FR-AS树脂、FR-ABS树脂、AS树脂、ABS树脂、聚苯醚树脂、聚苯硫醚树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚醚醚酮树脂、氟系树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰胺双马来酰亚胺树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂、聚苯并噻唑树脂、聚苯并咪唑树脂、有机硅树脂、BT树脂、聚甲基戊烯、超高分子量聚乙烯、FR-聚丙烯、甲基丙烯酸树脂例如，聚甲基丙烯酸甲酯等、及聚苯乙烯等树脂材料作为基材成分A的情况下，如针对氢阻隔膜的形成方法在上文中说明的那样。氢阻隔膜形成用组合物包含热固性材料作为基材成分A的情况下，通过涂布等方法将氢阻隔膜形成用组合物形成膜后，将形成的膜加热至与固化性材料的种类相适应的温度，使其固化，由此可形成氢阻隔膜。氢阻隔膜形成用组合物为前述的各种感光性组合物时，典型地，可通过包括以下步骤的方法来制造氢阻隔膜：将氢阻隔膜形成用组合物涂布于基板上而形成涂布膜的步骤，对涂布膜进行曝光的步骤。更具体而言，首先，利用适当的涂布方法形成涂膜。例如，可使用辊涂机、逆转涂布机reversecoater、棒涂机等接触转印型涂布装置、旋涂器旋转式涂布装置、幕涂流动涂料器curtainflowcoater等非接触型涂布装置，将感光性组合物涂布于基板上，进行干燥，由此形成涂布膜。干燥方法没有特别限制，例如，可举出下述方法：1用加热板，于80℃以上且120℃以下、优选90℃以上且100℃以下的温度，进行60秒以上且120秒以下的预烘烤的方法；2在室温下，放置数小时以上且数天以下的方法；3在热风加热器、红外线加热器中放入数十分钟以上且数小时以下，从而除去溶剂的方法；等等。接下来，针对涂布膜，位置选择性地照射电磁波，进行曝光。感光性组合物为通过曝光而发生固化的负型的感光性组合物时，可以对涂布膜的整面进行曝光。在位置选择性地进行曝光时，电磁波可以隔着正型或负型的掩模照射，也可直接照射。曝光量根据感光性组合物的组成的不同而不同，例如优选为5mJcm2以上且500mJcm2以下左右。对涂布膜整个面进行曝光时，可将经曝光的涂布膜直接作为氢阻隔膜使用。位置选择性地进行曝光时，通过显影液对曝光后的涂布膜进行显影，由此，能得到已进行图案化而成为所期望的形状的氢阻隔膜。显影方法没有特别限制，例如可利用浸渍法、喷雾法等。作为显影液，可举出单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有机系的显影液、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、氨、季铵盐等的水溶液。优选于200℃以上且250℃以下左右，对显影后的经图案化的氢阻隔膜进行后烘烤。按照以上方式形成的氢阻隔膜可以没有特别限制地用于要求阻隔氢气的各种用途，可在后述的电子元件中特别合适地使用。需要说明的是，氢阻隔膜由于能抑制分子量及分子尺寸小的氢气的透过，因而也能抑制分子尺寸比氢大的气体的透过。作为所述气体，可举出氮气、氧气、臭氧气体、水蒸气、一氧化碳气体、二氧化碳气体、氮氧化物气体、及硫氧化物气体等。《电子元件》使用上文中说明的氢阻隔膜形成用组合物形成的氢阻隔膜可在具备钝化膜的电子元件中合适地使用。钝化膜是为了保护半导体层等功能层免受离子、气体等损伤、物理性损伤等而设置的膜。作为电子元件，没有特别限制，可优选举出具备有机导电层、有机半导体层、有机发光层等的有机电子元件。作为电子元件的优选的具体例，可举出LED元件及有机EL元件等发光元件、半导体元件、太阳能电池元件、和固体撮像元件。钝化膜例如包含金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物、金属氧化氮化物、或金属氧化碳化物等。更具体而言，可优选使用包含选自Si、Al、In、Sn、Zn、Ti、Cu、Ce、及Ta中的1种以上金属的氧化物、氮化物、碳化物、氮氧化物、或碳氧化物等。这些材料中，优选选自Si、Al、In、Sn、Zn、及Ti中的金属的氧化物、氮化物、或氮氧化物，更优选Si、或Al的氧化物、或氮化物，特别优选氮化硅Si氮化物。它们可以含有其他元素作为次要成分。例如，氮化硅可以包含氢而形成氢化氮化硅，可以进一步包含氧而形成氢化氮氧化硅。Si的氧化物膜、或氮化物膜可以是对含有聚硅氮烷、聚硅氧烷、聚硅氧硅氮烷polysiloxazane、或聚硅烷等含硅聚合物的组合物的涂膜进行烧成而得到的氧化物膜、或氮化物膜。从钝化膜的保护性能的方面考虑，钝化膜优选包含氮化硅SiN。对于上文中说明的钝化膜而言，由于其原材料及制造方法，有时包含氢气、或氨、胺类等能产生氢气的化合物。包含氮化硅的钝化膜特别容易产生氢气。另一方面，对于电子元件而言，如有机EL元件那样，为了驱动元件，常常具备TFT。另外，电子元件常常还具备由铜等金属形成的布线。对于TFT而言，可能由于因与氢气的接触而导致的还原反应而损害功能，关于金属布线，也可能由于基于氢气的还原而改变电气特性。然而，电子元件在具备钝化膜的同时具备氢阻隔膜时，能够用氢阻隔膜阻隔从钝化膜产生的氢气，抑制受到因氢气导致的影响的构件中的不良影响的发生。氢阻隔膜例如优选被设置在TFT等想要保护的保护其免受氢损害对象物、与氢的发生源之间。在电子元件的外部环境中存在的氢可能侵入电子元件内的保护对象物时，可以在被设置于电子元件与外部环境接触的面的硬涂层中配合氢阻隔剂，设置氢阻隔膜。另外，保护电子元件内的TFT等保护对象物免受从钝化膜等成为氢发生源的膜产生的氢损害的情况下，优选在成为氢发生源的膜与保护对象物之间形成氢阻隔膜。这种情况下，例如，可将平坦化膜形成为氢阻隔膜。如上文中说明那样，在具备钝化膜的电子元件中设置氢阻隔膜时，能保护TFT、金属布线等可能受到氢的不良影响的构件，能制造动作的可靠性高的电子元件。实施例以下，示出实施例进一步具体地说明本发明，但本发明的范围不受这些实施例的限制。〔合成例1〕上述式1表示的化合物的合成1[化学式79]向50ml三颈瓶中添加化合物A2.00g，8.12mmol和甲醇20g，进行氮置换，然后，用水浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，按照上述合成路径，滴加二氮杂双环十一碳烯DBU；1.24g，8.12mmol，于60℃进行4小时反应。反应结束后，冷却至室温25℃，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式1表示的化合物化合物1。收量＝3.27g，收率＝95％，黄色粘稠液体1H-NMR氘代DMSO，400MHz：阳离子δppm＝3.48CH2，2H，3.40CH2，2H，3.15CH2，2H，2.65CH2，2H，1.82CH2，2H，1.70-1.45CH2，6H、阴离子δppm＝7.70CH，1H，7.22Ph，2H，7.15CH，1H，6.85Ph，2H，6.80CH，1H，5.63CH，1H，3.70CH3，3H，2.85-2.65CH2，2H〔合成例2〕上述式1表示的化合物的合成2[化学式80]向50ml三颈瓶中添加化合物A2.00g，8.12mmol和甲醇20g，进行氮置换，然后，用水浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，按照上述合成路径，滴加二氮杂双环壬烯DBN；1.11g，8.12mmol，于60℃进行4小时反应。反应结束后，冷却至室温，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式1表示的化合物化合物2。收量＝2.91g，收率＝90％，黄色粘稠液体1H-NMR氘代DMSO，400MHz：阳离子δppm＝3.55CH2，2H，3.40-3.25CH2，4H，2.81CH2，2H，2.00CH2，2H，1.88CH2，2H阴离子δppm＝7.70CH，1H，7.22Ph，2H，7.15CH，1H，6.85Ph，2H，6.80CH，1H，5.63CH，1H，3.70CH3，3H，2.85-2.65CH2，2H〔合成例3〕上述式1表示的化合物的合成3[化学式81]向50ml三颈瓶中添加化合物A2.00g，8.12mmol和甲醇20g，进行氮置换，然后，用水浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，添加咪唑IM；0.55g，8.12mmol，于60℃进行4小时反应。反应结束后，冷却至室温，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式1表示的化合物化合物3。收量＝2.43g，收率＝95％，白色固体1H-NMR氘代DMSO，400MHz：阳离子δppm＝7.03CH，2H，7.65CH，1H阴离子δppm＝7.86CH，1H，7.353H，6.993H，5.70CH，1H，3.71CH3，3H，3.35-3.16CH2，2H对于原料的化合物A单体、咪唑单体、及得到的化合物3，分别利用X射线衍射测定装置RigakuCorporation制；商品名“全自动水平型多功能X射线衍射测定装置SmartLab”，在以下的条件下，进行X射线衍射图案的测定。对于得到的化合物3而言，由于显示与原料的各单体中的任一种均不同的反射图案，因此判断为并非单纯的混合物而是盐。*使用的X射线：来自旋转对阴极型X射线发生源的CuKα线，45kV-200mA*扫描速度2θ：4.0°min*发散狭缝：23°*散射狭缝：23°此外，基于封装测定“通用测定通用集中法”的标准条件设定。〔合成例4〕上述式1表示的化合物的合成4[化学式82]向20ml茄型瓶中添加化合物A1.60g，6.50mmol和四氢呋喃3g，进行氮置换，然后，用油浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，按照上述合成路径，滴加7-甲基-1，5，7-三氮杂双环[4.4.0]癸-5-烯MTBD；1.00g，6.50mmol，于60℃进行30分钟反应。反应结束后，冷却至室温，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式1表示的化合物化合物4。收量＝2.5g，收率＝95％，黄色粘稠液体1H-NMR氘代DMSO，500MHz：阳离子δppm＝9.20NH，1H，3.27-3.226H，3.17-3.152H，2.90CH3，3H，1.92-1.892H，1.81-1.792H阴离子δppm＝7.67CH，1H，7.212H，7.121H，6.842H，6.791H，5.62CH，1H，3.71CH3，3H，2.73-2.61CH2，2H〔合成例5〕上述式1表示的化合物的合成5[化学式83]向20ml茄型瓶中添加化合物A1.50g，6.09mmol和甲醇9g，进行氮置换，然后，用油浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，按照上述合成路径，滴加1，5，7-三氮杂双环[4，4，0]癸-5-烯TBD；0.85g，6.09mmol，于60℃进行30分钟反应。反应结束后，冷却至室温，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式1表示的化合物化合物5。收量＝2.2g，收率＝95％，黄色固体1H-NMR氘代DMSO，500MHz：阳离子δppm＝10.48NH，2H，3.22-3.174H，3.10-3.074H，1.86-1.814H阴离子δppm＝7.71CH，1H，7.252H，7.171H，6.862H，6.801H，5.65CH，1H，3.71CH3，3H，2.87-2.73CH2，2H〔合成例6〕上述式1表示的化合物的合成6[化学式84]向20ml茄型瓶中添加化合物A1.50g，6.09mmol和甲醇9g，进行氮置换，然后，用油浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，按照上述合成路径，滴加1，1，3，3-四甲基胍TMG；0.7g，6.09mmol，于60℃进行30分钟反应。反应结束后，冷却至室温，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式1表示的化合物化合物6。收量＝2.2g，收率＝100％，黄色固体1H-NMR氘代DMSO，500MHz：阳离子δppm＝2.846H阴离子δppm＝7.67CH，1H，7.212H，7.121H，6.852H，6.791H，5.62CH，1H，3.71CH3，3H，2.28-2.64CH2，2H〔合成例7〕上述式1表示的化合物的合成7[化学式85]向20ml茄型瓶中添加化合物A1.00g，4.06mmol和甲醇9g，进行氮置换，然后，用油浴加热至60℃，使化合物A溶解。接下来，按照上述合成路径，滴加亚氨基三二甲基氨基膦烷imino-trisdimethylaminophosphorane0.72g，4.06mmol，于60℃进行30分钟反应。反应结束后，冷却至室温，然后，针对反应液，使用旋转蒸发器将溶剂馏去，由此，得到上述式表示的化合物化合物7。收量＝1.7g，收率＝98％，黄色固体1H-NMR氘代DMSO，500MHz：阳离子δppm＝2.639H，2.61，9H，阴离子δppm＝7.65CH，1H，7.182H，7.101H，6.842H，6.841H，5.61CH，1H，3.71CH3，3H，2.28-2.64CH2，2H〔实施例1〕将下述结构的碱溶性树脂12质量份、二季戊四醇六丙烯酸酯6质量份、下述结构的光聚合引发剂1.0质量份、表面调节剂BYK-310、聚酯改性聚二甲基硅氧烷，BYK-ChemieJapanK.K.制0.04质量份、和氢阻隔剂前述的化合物32.0质量份溶解于混合溶剂中，得到加工性组合物。作为混合溶剂，使用由丙二醇单甲基醚45质量份、二乙二醇单甲基醚30质量份、和N，N，N’，N’-四甲基脲形成的混合溶剂。以下记载碱溶性树脂的结构、光聚合引发剂的结构、和氢阻隔剂的结构。关于碱溶性树脂，各结构单元的右下的数字为树脂中的各结构单元的含量质量％。[化学式86]用旋涂机将得到的感光性组合物涂布于SiN基板在硅晶圆上具有SiN层的层叠体上，然后，于105℃对涂布膜进行100秒预烘烤。使用紫外线固化机，以50mJcm2的曝光量对经预烘烤的涂布膜进行整面曝光ghi线宽带，使涂布膜固化。于230℃对曝光后的涂布膜进行20分钟后烘烤，由此，得到膜厚为2.0μm的固化膜。针对具备固化膜的SiN基板，对硅晶圆侧进行加热，利用热沉积光谱TDS法，对从固化膜的表面产生的分子量为1的成分氢自由基或氢离子、分子量为2的成分氢气、和分子量为18的成分水蒸气的量进行测定。对于测定气体产生量时的加热而言，以10℃分钟的速度从50℃升温至280℃而进行。达到280℃时，结束加热。将上述的气体的产生量峰强度示于表1。〔比较例1〕针对未形成固化膜的SiN基板，与实施例1同样地操作，对分子量为1的成分氢自由基或氢离子、分子量为2的成分氢气、和分子量为18的成分水蒸气的产生量进行测定。将上述的气体的产生量峰强度示于表1。需要说明的是，产生气体量为从SiN表面产生的气体量。〔比较例2〕除了未使用氢阻隔剂之外，与实施例1同样地操作，得到感光性组合物。使用得到的感光组合物，与实施例1同样地操作，在SiN基板上形成固化膜。对于具备固化膜的SiN基板，与实施例1同样地操作，对分子量为1的成分氢自由基或氢离子、分子量为2的成分氢气、和分子量为18的成分水蒸气的产生量进行测定。将上述的气体的产生量峰强度示于表1。〔比较例3〕以固态成分中的比率成为20质量％的方式，向感光性组合物中添加市售的分子筛粉末，进行分散以使其变得均匀，除此之外，与实施例1同样地操作，得到感光性组合物。使用得到的感光组合物，与实施例1同样地操作，在SiN基板上形成固化膜。对于具备固化膜的SiN基板，与实施例1同样地操作，对分子量为1的成分氢自由基或氢离子、分子量为2的成分氢气、和分子量为18的成分水蒸气的产生量进行测定。将上述的气体的产生量峰强度示于表1。[表1]通过实施例1与比较例1及2的对比可知，使用包含规定结构的氢阻隔剂的感光性组合物在SiN基板上形成固化膜时，能利用固化膜有效地抑制由SiN产生的气体的透过。另一方面，通过比较例3与比较例1及2的对比可知，即使在使用感光性组合物形成的固化膜中添加分子筛等能吸附氢气、水的材料，也几乎无法利用固化膜来抑制由SiN产生的气体的透过。[实施例2]使用了将实施例1的碱溶性树脂的含有环氧基的结构单元替换为来自甲基丙烯酸缩水甘油酯的结构单元而成的树脂，除此之外，与实施例1同样地操作，得到氢阻隔膜形成用组合物。[比较例4]除了未使用上述结构的氢阻隔剂之外，与实施例2同样地操作，得到比较用的膜形成组合物。[实施例3]使用将实施例1的碱溶性树脂的含有环氧基的结构单元替换为来自甲基丙烯酸3，4-环氧环己基甲酯的结构单元而成的树脂，除此之外，与实施例1同样地操作，得到氢阻隔膜形成用组合物。[比较例5]除了未使用上述结构的氢阻隔剂之外，与实施例3同样地操作，得到比较用的膜形成组合物。[实施例4]使实施例1的氢阻隔剂的添加量成为0.6质量份，除此之外，与实施例1同样地操作，得到氢阻隔膜形成用组合物。将得到的各组合物以膜状涂布于SiN基板在硅晶圆上具有SiN层的层叠体上，然后，于80℃对涂布膜进行100秒预烘烤。使用紫外线固化机、以50mJcm2的曝光量对经预烘烤的涂布膜进行整面曝光ghi线宽带，使涂布膜固化。于230℃对曝光后的涂布膜进行20分钟后烘烤，由此，得到膜厚为2.0μm的固化膜。分别作为固化膜2～4、及比较固化膜4～5。对于得到的具备各固化膜的SiN基板，与实施例1同样地操作，对各气体的产生量进行比较，结果，在实施例涉及的固化膜2～3中，与对应的比较固化膜4～5相比，有效地抑制了气体的透过。另外，在实施例涉及的固化膜4中，与比较例2相比，有效地抑制了气体的透过。[实施例5]将作为基材成分的下述式A-2表示的化合物100质量份、与1质量份的下述式a1-2-1表示的固化剂及10质量份的氢阻隔剂前述的化合物3混合，得到氢阻隔膜形成用组合物。[化学式87][化学式88][比较例6]除了未使用氢阻隔剂之外，与实施例5同样地操作，得到比较用的膜形成组合物。[实施例6]代替上述式A-2表示的化合物，使下述式A-3表示的化合物为100质量份，除此之外，与实施例5同样地操作，得到氢阻隔膜形成用组合物。[化学式89][比较例7]除了未使用氢阻隔剂之外，与实施例6同样地操作，得到比较用的膜形成组合物。将得到的各组合物以膜状涂布于SiN基板在硅晶圆上具有SiN层的层叠体上，然后，使用紫外线固化机，以50mJcm2的曝光量进行整面曝光ghi线宽带，得到膜厚约为2.0μm的固化膜。分别作为固化膜5～6、及比较固化膜6～7。对于得到的具备各固化膜的SiN基板，与实施例1同样地操作，对各气体的产生量进行比较，结果，在实施例涉及的固化膜5～6中，与对应的比较固化膜6～7相比，有效地抑制了气体的透过。[实施例7]使用作为基材成分的下述式A-3及下述式A-4表示的混合树脂成分质量比A-3∶A-4＝70∶30100质量份、下述式a1-2-2表示的固化剂萘二甲酸衍生物5质量份、氢阻隔剂前述的化合物315质量份、和丙二醇单甲基醚乙酸酯700质量份进行混合，得到氢阻隔膜形成用组合物。[化学式90][化学式91][化学式92][比较例8]除了未使用氢阻隔剂之外，与实施例7同样地操作，得到比较用的膜形成组合物。[实施例8]作为基材成分，使混合树脂成分为下述式A-5及下述式A-6表示的混合树脂成分质量比A-5∶A-6＝70∶30100质量份，除此之外，与实施例7同样地操作，得到氢阻隔膜形成用组合物。[化学式93][化学式94][比较例9]除了未使用氢阻隔剂之外，与实施例8同样地操作，得到比较用的膜形成组合物。将得到的各组合物以膜状涂布于SiN基板在硅晶圆上具有SiN层的层叠体上，然后，于80℃对涂布膜进行120秒预烘烤。使用紫外线固化机，以50mJcm2的曝光量对经预烘烤的涂布膜进行整面曝光ghi线宽带，使涂布膜固化。于100℃对曝光后的涂布膜进行20分钟烘烤，由此，得到膜厚为2.0μm的固化膜。分别作为固化膜7～8及比较固化膜8～9。对于得到的具备各固化膜的SiN基板，与实施例1同样地操作，对各气体的产生量进行比较，结果，在实施例涉及的固化膜7～8中，与对应的比较固化膜8～9相比，有效地抑制了气体的透过。

权利要求：1.氢阻隔剂，其包含下式1表示的化合物，[化学式1]式1中，Xm+表示m价的抗衡阳离子，R1表示可以具有取代基的芳香族基团，R2表示可以具有取代基的亚烷基，R3表示卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酸酯基、或有机基团，m表示1以上的整数，n表示0以上且3以下的整数，R2可以与R1键合而形成环状结构。2.氢阻隔膜形成用组合物，其包含基材成分A和权利要求1所述的氢阻隔剂B。3.如权利要求2所述的氢阻隔膜形成用组合物，其中，所述基材成分A包含碱溶性树脂A1和光聚合性化合物A2，所述氢阻隔膜形成用组合物还包含光聚合引发剂C。4.氢阻隔膜，其包含权利要求1所述的氢阻隔剂B。5.氢阻隔膜，其是由权利要求3所述的氢阻隔膜形成用组合物的固化物形成的。6.氢阻隔膜的制造方法，其包括下述步骤：将权利要求3所述的氢阻隔膜形成用组合物涂布于基板上而形成涂布膜的步骤；和对所述涂布膜进行曝光的步骤。7.电子元件，其包含：钝化膜和权利要求4或5所述的氢阻隔膜。8.如权利要求7所述的电子元件，其还包含TFT。

百度查询： 东京应化工业株式会社 氢阻隔剂、氢阻隔膜形成用组合物、氢阻隔膜、氢阻隔膜的制造方法、及电子元件