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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供图像生成装置和图像生成方法。生成关于基片的缺陷的检查用的基片图像的图像生成装置，其中：在基片的表面形成有对于该基片的各个种类的处理方案所特有的图案即框格图案，该图像生成装置包括：区域推断部，其基于通过事先的机器学习得到的、用于识别基片图像所包含的所述框格图案的图像的识别模型，推断检查对象的基片图像中的与所述框格图案相应的区域；和消除处理部，其基于所述区域推断部的推断结果，从所述检查对象的基片图像消除所述框格图案的图像，生成检查用的基片图像。本发明能够提高基片图像中的缺陷部分的辨识精度。
主权项：1.一种图像生成装置，其生成关于基片的缺陷的检查用的基片图像，该图像生成装置的特征在于：在基片的表面形成有对于该基片的各个种类的处理方案所特有的图案即框格图案，所述框格图案是半导体器件的非形成区域和所述半导体器件间的边界线中的至少任一者，该图像生成装置包括：区域推断部，其基于通过事先的机器学习得到的、用于识别基片图像所包含的所述框格图案的图像的识别模型，推断检查对象的基片图像中的与作为所述框格图案的所述非形成区域和所述边界线中的至少任一者相应的区域；和消除处理部，其基于所述区域推断部的推断结果，从所述检查对象的基片图像消除作为所述框格图案的所述非形成区域和所述边界线中的至少任一者的图像，生成检查用的基片图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 图像生成装置和图像生成方法
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