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涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法 

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申请/专利权人:株式会社东芝;东芝能源系统株式会社

摘要:本发明提供一种涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法。根据实施方式,提供能够得到大面积且均匀的涂敷膜的涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法。实施方式的涂敷装置通过弯月面法形成涂膜,具备输送基材的部件、涂敷棒、向涂敷棒的表面供给涂敷液的狭缝式模头、以及向狭缝式模头供给涂敷液的部件,各部件配置成,使得从狭缝式模头供给的涂敷液经由涂敷棒的表面供给到涂敷棒与基材之间而形成弯月面。

主权项:1.一种涂敷装置,用于向基材的表面供给涂敷液,通过弯月面法形成涂敷膜,具备:输送上述基材的部件;涂敷棒;狭缝式模头,向上述涂敷棒的表面供给上述涂敷液;以及涂敷液供给部件,向狭缝式模头供给上述涂敷液,各部件配置成,使得从上述狭缝式模头供给的上述涂敷液经由上述涂敷棒的表面供给到上述涂敷棒与上述基材之间而形成弯月面。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社东芝 东芝能源系统株式会社 涂敷装置、弯月面头以及涂敷方法

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