龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：清华大学
摘要：本发明公开了属于MEMS传感器技术领域的一种对Z轴方向高角加速度敏感及具能量存储的MEMS器件。器件实际上是可以等价为多个狭长形超级电容器的并联结构，并进行一体化封装。静置时，器件可以等价为储能器件。当器件突然开始快速转动，并且在毫秒的时间内转速急速升高，惯性将导致电解液在狭长流道内快速流动。电解液的快速流动影响离子分布，导致电解液电势突变，进而使电容器出现明显的电压下降。当转速趋于恒定，角加速度降低为0时，电解液不再流动，器件恢复至稳定状态进行持续放电。本发明解决现有角加速度计体积较大、量程较小的问题，对Z轴方向高过载角加速度敏感，同时具备储能功能，从而实现对外的信息输出与能量输出。
主权项：1.一种对Z轴方向高角加速度敏感及具能量存储的MEMS器件，其特征在于，所述对Z轴方向高角加速度敏感及具能量存储的MEMS器件实际上是可以等价为多个狭长形超级电容器的并联；狭长形超级电容器的结构是微流道的上基板5、金属集电极2、多孔电极4、下基板1从上而下依次叠加，金属集电极2上表面复合多孔电极4，在上基板5和下基板1合成的方框内，共同集成为狭长形超级电容器；电解液3在多孔电极中部的开孔及多孔电极孔内流动；MEMS器件的能量存储由多个狭长形超级电容器的并联，实现储能的叠加。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 对Z轴方向高角加速度敏感及具能量存储的MEMS器件
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号