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申请/专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
摘要：一种静电卡盘部件，其具备：板状基体，具有搭载试样的载置面及位于与载置面相反的一侧的下表面，并且具备位于载置面与下表面之间且沿载置面延伸的电极层及从电极层向下表面侧延伸的柱状供电部；及端子部件，与供电部的端面连接，供电部的外径为2mm以上，供电部与端子部件在钎焊部中钎焊连接，钎焊部位于比基体的下表面与电极层之间的12的位置更靠下表面侧的位置。
主权项：1.一种静电卡盘部件，其具备：板状基体，具有搭载试样的载置面及位于与所述载置面相反的一侧的下表面，并且具备位于所述载置面与所述下表面之间且沿所述载置面延伸的电极层及从所述电极层向所述下表面侧延伸的柱状供电部；及端子部件，与所述供电部的端面连接，所述供电部的外径以圆换算直径计为2mm以上，所述供电部与所述端子部件在钎焊部中钎焊连接，所述钎焊部位于比所述基体的所述下表面与所述电极层之间的12的位置更靠所述下表面侧的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 住友大阪水泥股份有限公司 静电卡盘部件及静电卡盘装置
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