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申请/专利权人：中电科技德清华莹电子有限公司
摘要：本发明提供一种多管芯堆叠式射频器件，属于压电复合材料领域，包括第一裸片和多颗滤波器裸片，所述滤波器裸片与第一裸片的正面耦合，在第一裸片与耦合面相对的反面制作信号引出，所述第一裸片包括多层异质键合衬底、功能化金属孔、晶圆级封装以及至少一个制作于第一裸片正反面的声表面波滤波器，所述功能化金属孔包含贯穿式导通孔和或介质阻隔式射频导通孔中的至少一种，所述声表面波滤波器通过功能化金属孔进行射频信号联通。所述功能化金属孔能够实现多颗滤波器裸片、裸片两面多个薄膜型声表面波滤波器三者的电容电感串并联匹配以及性能耦合提升或隔离共存，滤波器集成度更高，损耗更小。
主权项：1.一种多管芯堆叠式射频器件，其特征在于：包括第一裸片和多颗滤波器裸片，所述滤波器裸片与第一裸片的正面耦合，在第一裸片与耦合面相对的反面制作信号引出，所述第一裸片包括多层异质键合衬底、功能化金属孔、晶圆级封装以及至少一个制作于第一裸片正反面的声表面波滤波器，所述功能化金属孔包括贯穿式导通孔和或介质阻隔式射频导通孔中的至少一种，所述声表面波滤波器通过功能化金属孔进行射频信号联通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中电科技德清华莹电子有限公司 一种多管芯堆叠式射频器件
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