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具备不同粗化程度表面的微显示器件及其制备方法 

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申请/专利权人:诺视科技(苏州)有限公司

摘要:本发明公开一种具备不同粗化程度表面的微显示器件及其制备方法,涉及半导体技术领域。该微显示器件,包括:驱动晶圆;显示模组,所述显示模组包括设于所述驱动晶圆上,所述显示模组包括至少一个像素单元,所述像素单元远离所述驱动晶圆的一面为外延层表面,所述外延层表面包括具备第一粗化程度的第一部分表面、以及具备第二粗化程度的第二部分表面,所述第一部分表面、所述第二部分表面之上覆设有连续的共阴极层;其中,所述第一粗化程度大于所述第二粗化程度。基于上述技术方案,可以通过粗化程度较轻的这一部分外延层表面,与共阴极层形成良好的欧姆接触,从而提升器件的光电转化效率。

主权项:1.一种具备不同粗化程度表面的微显示器件,其特征在于,所述微显示器件,包括:驱动晶圆;显示模组,所述显示模组包括设于所述驱动晶圆上,所述显示模组包括至少一个像素单元,所述像素单元远离所述驱动晶圆的一面为外延层表面,所述外延层表面包括具备第一粗化程度的第一部分表面、以及具备第二粗化程度的第二部分表面,所述第一部分表面、所述第二部分表面之上覆设有连续的共阴极层;其中,所述第一粗化程度大于所述第二粗化程度。

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