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申请/专利权人：三叠纪(广东)科技有限公司;成都迈科科技有限公司
摘要：本发明公开了一种高铝硅酸盐玻璃TGV通孔的加工方法，包括步骤:1将待加工的高铝硅酸盐玻璃基板进行预处理；2采用激光对高铝硅酸盐玻璃基板的目标区域进行照射；3采用压力为0.5～10kgcm2的蚀刻液对高铝硅酸盐玻璃基板进行双面喷淋处理，蚀刻液包括1～10份氢氟酸、1～10份硫酸、1～5份盐酸、1～3份硝酸、1～15份醋酸、1～20份有机醇及95～105份水；4于步骤3后进行清洗；5重复步骤3～4，直至目标区域的玻璃脱落以形成20～52微米的通孔。本发明采用特定组分蚀刻液并采用高压蚀刻液对激光改性后的高铝硅酸盐玻璃进行通孔蚀刻，能够形成锥度较小、内壁平滑、直径为20～52微米的TGV通孔。
主权项：1.一种高铝硅酸盐玻璃TGV通孔的加工方法，其特征在于，包括步骤:1将待加工的高铝硅酸盐玻璃基板进行预处理；2采用激光对所述高铝硅酸盐玻璃基板的目标区域进行照射；3采用压力为0.5～10kgcm2的蚀刻液对所述高铝硅酸盐玻璃基板进行双面喷淋处理，以质量份计，所述蚀刻液包括1～10份氢氟酸、1～10份硫酸、1～5份盐酸、1～3份硝酸、1～15份醋酸、1～20份有机醇及95～105份水；4于步骤3后进行清洗；5重复步骤3～4，直至所述目标区域的玻璃脱落以形成20～52微米的通孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三叠纪(广东)科技有限公司 成都迈科科技有限公司 高铝硅酸盐玻璃TGV通孔的加工方法
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