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申请/专利权人：住友大阪水泥股份有限公司
摘要：一种静电卡盘部件，其具有：基体，一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，设置于与载置面相反的一侧或基体的内部，在基体的与载置面连续的侧周面至少具有：第1曲面，其为在载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面；及第2曲面，在与第1曲面不同的高度位置沿周向设置。
主权项：1.一种静电卡盘部件，其具有：基体，一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，设置于与所述载置面相反的一侧或所述基体的内部，在所述基体的与所述载置面连续的侧周面至少具有：第1曲面，其为在所述载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面；及第2曲面，在与所述第1曲面不同的高度位置沿所述周向设置。
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百度查询： 住友大阪水泥股份有限公司 静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法
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