买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:住友大阪水泥股份有限公司
摘要:一种静电卡盘部件,其具有:基体,一个主表面为载置板状试样的载置面;及静电吸附用电极,设置于与载置面相反的一侧或基体的内部,在基体的与载置面连续的侧周面至少具有:第1曲面,其为在载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面;及第2曲面,在与第1曲面不同的高度位置沿周向设置。
主权项:1.一种静电卡盘部件,其具有:基体,一个主表面为载置板状试样的载置面;及静电吸附用电极,设置于与所述载置面相反的一侧或所述基体的内部,在所述基体的与所述载置面连续的侧周面至少具有:第1曲面,其为在所述载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面;及第2曲面,在与所述第1曲面不同的高度位置沿所述周向设置。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 住友大阪水泥股份有限公司 静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。