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申请/专利权人：上海车仪田科技有限公司
摘要：本发明提供了一种高精度紫外短波段的终点检测装置及方法，用于对机台腔室内刻蚀和薄膜过程所产生的光信号进行检测，包括；信号收集模块和处理模块，所述信号收集模块和处理模块通过信号线连接；所述信号收集模块包括探头和光纤，设于所述机台腔室一侧用于获取机台腔室内刻蚀过程中发出的光信号，并将所述光信号传输至处理模块；所述处理模块包括光学模组和CMOS探测器，用于处理光信号并通过上位机输出光强曲线。本发明的有益效果在于：初步筛选特定紫外短波段光经过自设计光路进行光信号准确提取与处理，并通过终点检测方法实现了终点检测准确度的提升，本发明具有全开口率适应性并适用于多种紫外短波段的刻蚀和薄膜工艺应用。
主权项：1.一种高精度紫外短波段的终点检测装置，其特征在于，用于对机台腔室内刻蚀或薄膜工艺过程所产生的光信号进行检测，包括；信号收集模块和处理模块，所述信号收集模块和处理模块通过信号线连接；所述信号收集模块包括探头和光纤，设于所述机台腔室一侧用于获取机台腔室内刻蚀过程中发出的光信号，并将所述光信号传输至处理模块；所述处理模块包括光学模组和CMOS探测器，用于处理光信号并通过上位机输出光强曲线；其中，所述光学模组包括衰减镜片，通过所述衰减镜片进行光信号的筛选，对所需检测等离子体种类相应的紫外短波段进行增强，并截止其他波段杂光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海车仪田科技有限公司 一种高精度紫外短波段的终点检测装置及方法
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