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申请/专利权人：中冶赛迪工程技术股份有限公司;中冶赛迪技术研究中心有限公司;中冶赛迪集团有限公司
摘要：本发明属于薄膜制备技术领域，涉及一种热流传感器、绝缘薄膜及其制备方法，该制备方法基于电子束蒸镀系统，包括以下步骤：设定电子束蒸镀系统的镀膜程序，具体包括对沉积腔室温度、镀膜起始真空度、蒸镀时电子束功率、镀率以及工艺气流量的参数设定；所述沉积腔室温度设为100～300℃，镀膜起始真空度不低于3.0*e‑5Torr，蒸镀时电子束功率设为9kW，镀膜功率输出范围控制在5％～30％，镀率设置为工艺气流量设置为10sccm～100sccm，工艺气为氧气、氨气或氮气中的一种多种组合；将需要沉积的基片粘贴固定在沉积腔室内穹顶镀锅上，添加蒸镀源材料，关闭腔沉积腔室，启动镀膜程序；镀膜结束后，待沉积腔室冷却后将沉积了绝缘薄膜的基片取出，并置于高温炉内进行退火处理。
主权项：1.一种绝缘薄膜的制备方法，该制备方法基于电子束蒸镀系统，其特征在于，具体包括以下步骤：步骤1.设定电子束蒸镀系统的镀膜程序，具体包括对沉积腔室温度、镀膜起始真空度、蒸镀时电子束功率、镀率以及工艺气流量的参数设定；所述沉积腔室温度设为100～300℃，镀膜起始真空度不低于3.0*e-5Torr，蒸镀时电子束功率设为9kW，且镀膜功率输出范围控制在5％～30％，镀率设置为工艺气流量设置为10sccm～100sccm，且工艺气为氧气、氨气或氮气中的一种多种组合；步骤2.将需要沉积的基片粘贴固定在沉积腔室内穹顶镀锅上，添加蒸镀源材料，关闭腔沉积腔室，启动镀膜程序；步骤3.镀膜结束后，待沉积腔室冷却后将沉积了绝缘薄膜的基片取出，并置于高温炉内进行退火处理。
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权利要求：
百度查询： 中冶赛迪工程技术股份有限公司 中冶赛迪技术研究中心有限公司 中冶赛迪集团有限公司 热流传感器、绝缘薄膜及其制备方法
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