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申请/专利权人:核工业理化工程研究院
摘要:本发明提供一种四三氟膦镍气体热分解温度的确定系统及方法,属于分析测量技术领域,其中,所述系统包括:进料罐,用于提供四三氟膦镍气体;与进料罐连通的反应装置,用于按照预设反应条件分解四三氟膦镍气体;与反应装置连通的收集罐,用于收集分解产生的三氟化磷气体;与收集罐连通设置的抽真空装置,用于对整个系统进行抽真空;设置于反应装置上的信息采集装置,用于实时采集在反应过程中反应装置内部的状态信息;与信息采集装置通信连接的上位机,用于根据信息采集装置采集到的状态信息,确定反应装置内四三氟膦镍气体的热分解温度。本发明的方案可以实现四三氟膦镍气体热分解温度的实时在线测量以及测量时的安全性。
主权项:1.一种四三氟膦镍气体热分解温度的确定系统,其特征在于,包括:进料罐1,用于提供四三氟膦镍气体;与所述进料罐1连通的反应装置2,用于按照预设反应条件分解所述进料罐1提供的四三氟膦镍气体;与所述反应装置2连通的收集罐3,用于收集所述反应装置2产生的三氟化磷气体;与所述收集罐3连通设置的抽真空装置4,用于对整个系统进行抽真空;设置于所述反应装置2上的信息采集装置,所述信息采集装置用于实时采集在反应过程中所述反应装置2内部的状态信息;与所述信息采集装置通信连接的上位机9,用于根据所述信息采集装置8采集到的状态信息,确定所述反应装置2内四三氟膦镍气体的热分解温度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 核工业理化工程研究院 一种四(三氟膦)镍气体热分解温度的确定系统及方法
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