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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明属于微电子技术领域，公开了一种基于波导功分和环形运转轨道的并行多腔MPCVD装置及方法，该装置包含：大功率微波激励源、波导功分、4套反应子系统和环形运转轨道及辅助设备；所述每个子系统包含完整而独立的微波馈电系统、谐振腔、石英钟罩、载气控制系统和衬底生长载体平台及辅助设备；其核心为基于一分四功分器馈电系统的多反应腔室及连接腔室的环形运转轨道。本发明所提出的基于环形驻波谐振腔的并行MPCVD装置，与传统的石英钟罩式MPCVD装置相比，一方面在生产中具有四腔室并行生产能力，另一方面对温度、气压、掺杂气体浓度等的复杂组合工艺研究可以实现准无缝衔接，大大提升了系统作为工艺研究平台的效率和能力。
主权项：1.一种基于波导功分和环形运转轨道的并行多腔MPCVD装置，其特征在于，该装置包含：大功率微波激励源、波导功分、4套反应子系统和环形运转轨道及辅助设备；所述每个子系统包含完整而独立的微波馈电系统、谐振腔、石英钟罩、载气控制系统和衬底生长载体平台及辅助设备；其核心为基于一分四功分器馈电系统的多反应腔室及连接腔室的环形运转轨道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种基于波导功分和环形运转轨道的并行多腔MPCVD装置
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