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摘要：本发明公开了一种基于不同调制深度的激光相调干涉直线度与位移测量的装置及方法。单频激光器输出线偏振光束经电光相位调制器调制后，进入由半透半反平面镜和渥拉斯顿棱镜组成的感测单元，产生两束直线度测量光束和一束位移测量光束，分别形成渥拉斯顿型干涉仪和迈克尔逊型干涉仪，同时测得直线度误差与位移。本发明利用不同调制深度的两束直线度测量光束、位移测量和参考光束形成多路相位调制干涉信号，直接从两束直线度测量光束光程变化差获取直线度误差，避免了分别检测单个直线度测量光束光程变化而引入的额外测量误差，并利用波前差分感测获得测量镜转角误差，对位移测量结果进行补偿，提高了直线度误差与位移的测量精度。
主权项：1.一种基于不同调制深度的激光相调干涉直线度与位移测量装置，其特征在于：包括单频激光器1、第一偏振片2、电光相位调制器3、分光棱镜4、四分之一波片5、平面镜6、半透半反平面镜7、渥拉斯顿棱镜8、反射镜9、第二偏振片10、透镜11、集成四光电探测器12、第三偏振片13和光电探测器14；单频激光器1输出激光光束，激光光束被第一偏振片2和电光相位调制器3调制后入射到分光棱镜4发生反射和透射的分光；反射光束作为位移参考光束，经四分之一波片5入射到平面镜6发生反射进而逆反回到分光棱镜4发生透射；透射分光光束作为测量光束，入射到由半透半反平面镜7和渥拉斯顿棱镜8组成的测量镜产生一束反射的位移测量光束和两束透射的直线度测量光束，一束反射的位移测量光束逆反回到分光棱镜4发生反射，并和逆反回到分光棱镜4发生透射的位移参考光束一起再依次经第二偏振片10、透镜11后入射到集成四光电探测器12被探测接收；两束透射的直线度测量光束入射到由上下直角棱镜组成的反射镜9进而再入射到渥拉斯顿棱镜8发生透射，透射出渥拉斯顿棱镜8的直线度测量光束经第三偏振片13后被光电探测器14探测接收。
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百度查询： 浙江理工大学 基于不同调制深度的激光相调干涉直线度与位移测量的装置及方法
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