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申请/专利权人：长三角集成电路工业应用技术创新中心;江苏集萃集成电路应用技术管理有限公司;江苏集萃集成电路应用技术创新中心有限公司
摘要：本申请公开一种eFuse存储器编程电流曲线的测量方法，芯片检测领域，包括启动集成电路自动测试机ATE，并将IO板卡设置为空跑循环运行模式；控制半导体参数分析仪向ATE发送触发信号，并对待编程eFuse存储器进行供电和电流采集；ATE基于接收到的触发信号触发编程操作，根据目标程序及编写地址生成对eFuse存储器的激励信号；从半导体参数分析仪中提取目标检测时间内采集到的电流信息，按照时间顺序绘制成编程电流曲线。利用ATE的IO板卡和半导体参数分析仪的PMU板卡联动，充分发挥了ATE的IO板卡的多通道激励特性和PMU板卡的高采样率和高电流分辨率的特性，获取高精度的eFuse存储器编程电流曲线。
主权项：1.一种eFuse存储器编程电流曲线的测量方法，其特征在于，所述方法包括：启动集成电路自动测试机ATE，并将IO板卡设置为空跑循环运行模式；控制半导体参数分析仪向ATE发送触发信号，并对待编程eFuse存储器进行供电和电流采集；所述ATE基于接收到的触发信号触发编程操作，根据目标程序及编写地址生成对eFuse存储器的激励信号；eFuse存储器目标地址的熔丝根据程序信息编程熔断；从半导体参数分析仪中提取目标检测时间内采集到的电流信息，按照时间顺序绘制成编程电流曲线。
全文数据：
权利要求：
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