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申请/专利权人：无锡光钻半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种降低MPCVD设备传输微波损耗的装置，包括微波波导转换件，所述微波波导转换件的顶部设置有用于MPCVD设备传输的微波减耗组件，所述微波减耗组件包括开设于微波波导转换件内部的圆角结构，所述微波波导转换件的内部开设有数量为四个的倒角结构，所述微波波导转换件的内部电镀有波导表面镀银层，所述微波波导转换件的内部高度安装有金属微波截止挡板。该降低MPCVD设备传输微波损耗的装置，通过在微波波导转换件的表面和内部镀银，降低微波传输损耗，优化了微波件的结构，以及微波波导转换件内部开设的圆角结构和倒角结构减少了尖端放电及缝隙放电，降低微波传输损耗，从而达到了降低微波损耗的效果。
主权项：1.一种降低MPCVD设备传输微波损耗的装置，包括微波波导转换件1，其特征在于：所述微波波导转换件1的顶部设置有用于MPCVD设备传输的微波减耗组件；所述微波减耗组件包括开设于微波波导转换件1内部的圆角结构2，所述微波波导转换件1的内部开设有数量为四个的倒角结构3，所述微波波导转换件1的内部电镀有波导表面镀银层4，所述微波波导转换件1的内部高度安装有金属微波截止挡板5，所述微波波导转换件1的顶部固定安装有底板6，所述底板6的顶部固定安装有石英环7，所述石英环7的顶部固定安装有微波天线8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡光钻半导体科技有限公司 一种降低MPCVD设备传输微波损耗的装置
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