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申请/专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
摘要：本发明提供一种金属掩膜板及其制备方法和应用，制备方法包括如下步骤：提供金属基板，所述金属基板具有第一表面和第二表面；通过飞秒激光加工所述第一表面，在所述金属基板上依次形成掩膜阵列图案和位于边缘位置的填充图案，所述掩膜阵列图案由若干第一贯穿孔组成，所述填充图案由若干第二贯穿孔组成，即得到所述金属掩膜板。本发明利用飞秒激光瞬时能量高、热效应低、加工精度高的特点，制备出了高精度高平整度的金属掩膜板；通过在边缘设置填充图案的方式，可以均衡热应力，进一步提供金属掩膜板的平整度；而通过对尺寸偏差进行预先的补偿设计，可以确保金属掩膜板图案的精度。
主权项：1.一种金属掩膜板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、提供金属基板，所述金属基板具有第一表面和第二表面；S2、通过飞秒激光加工所述第一表面，在所述金属基板上依次形成掩膜阵列图案和位于边缘位置的填充图案，所述掩膜阵列图案由若干第一贯穿孔组成，所述填充图案由若干第二贯穿孔组成，即得到所述金属掩膜板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海新微技术研发中心有限公司 一种金属掩膜板及其制备方法和应用
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