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申请/专利权人：昆明物理研究所
摘要：本发明公开了一种逆向生长黑化层及薄膜吸气剂的制冷型冷屏及其制作方法，所述冷屏由薄壁挡片和薄壁筒状形外壳构成，所述薄壁挡片与薄壁筒状形外壳采用低放气率的粘接胶固定；本发明的冷屏上集成了逆向生长的薄膜吸气剂以及原位生长的黑化层，解决了冷屏上集成吸气剂的技术难题，能够极大地提高抽气效果，实现快速抽真空的目的，有利于杜瓦真空的长期保持；原位法生长的黑化层提高了黑化层的附着牢固度，避免黑化层脱落造成成像黑斑，实现高可靠红外焦平面探测器组件。另外一方面，采用原位生长黑化层技术有利于制备过程的自动化程度，保证产品的一致性。
主权项：1.一种逆向生长黑化层及薄膜吸气剂的制冷型冷屏，其特征在于，所述冷屏由薄壁挡片200和薄壁筒状形外壳100构成，所述薄壁挡片200与薄壁筒状形外壳100采用低放气率的粘接胶固定；所述薄壁筒状形外壳100由内到外分为第一黑化层61、第一薄膜吸气剂层21、第二铜薄膜31、第一电铸层41及第一电镀金层51共5层复合薄层：所述薄壁挡片200由上到下分为第二黑化层822、第二薄膜吸气剂层22、第四铜薄膜32、第二电铸层42、第五铜薄膜52、第三薄膜吸气剂层62及第三黑化层821共7层复合薄层；所述第一薄膜吸气剂层21、第二薄膜吸气剂层22及第三薄膜吸气剂层62均包括低温激活的薄膜吸气剂，能够实现排气过程中激活；所述第一电铸层41及第二电铸层42作为冷屏的骨架。
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百度查询： 昆明物理研究所 逆向生长黑化层及薄膜吸气剂的制冷型冷屏及其制作方法
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