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申请/专利权人：聚时科技(上海)有限公司
摘要：本发明涉及半导体前道检测技术领域，尤其是涉及一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质。通过建立反射镜光轴与点光源位置映射关系，然后用点光源位置表征系统光轴，再使用相机实时采集图像，基于图像中特征的表达实现对于传感器固定位置的初步调整。基于实时图像处理，实时反馈调试数据，调试过程迅速准确，调试的位置精度较高的技术效果。
主权项：1.一种散射激光收集调试系统，应用于散射激光收集系统，所述散射激光收集系统包括光电倍增管，其特征在于，所述调试系统沿主光轴依次设置有：背光模组，配置有标定图案以及用于产生点光源；椭圆镜，用于对所述点光源进行反射，形成反射光；传感器放置位，用于可选择的放置图像采集装置或所述光电倍增管，并调节所述图像采集装置的俯仰角和实时高度，所述图像采集装置用于接收所述反射光成像获取实时图像；控制器，与所述传感器放置位连接，基于所述实时图像中多个标志点的图像特征，调节所述传感器放置位的俯仰角和相对所述背光模组的距离，以及背光模组的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 聚时科技(上海)有限公司 一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质
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