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申请/专利权人：日本碍子株式会社
摘要：本发明提供一种III族元素氮化物半导体基板，其是具备第一面和第二面的III族元素氮化物半导体基板，在表面产生创伤的情况得以抑制。本发明的实施方式所涉及的III族元素氮化物半导体基板是具备第一面和第二面的III族元素氮化物半导体基板，其中，当将自该第一面的表面的外周起算为1mm的范围设为外周部，将该第一面的表面的除该外周部以外的部分设为内周部时，通过阴极发光观察，在该外周部观察到变质层，在该内周部没有观察到变质层。
主权项：1.一种III族元素氮化物半导体基板，其具备第一面和第二面，所述III族元素氮化物半导体基板的特征在于，当将自该第一面的表面的外周起算为1mm的范围设为外周部，将该第一面的表面的除该外周部以外的部分设为内周部时，通过阴极发光观察，在该外周部观察到变质层，在该内周部没有观察到变质层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本碍子株式会社 III族元素氮化物半导体基板及贴合基板
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