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申请/专利权人：财团法人工业技术研究院
摘要：本发明涉及一种静电吸盘包含一基板、一电极层以及一基座。基板具有一上表面、一下表面以及多个沟槽。上表面相对于下表面，且沟槽形成于上表面并分隔出多个区域。电极层埋设于基板中，且电极层包含多个电极。电极分别位于多个区域中，且电极与上表面之间定义的距离小于沟槽在上表面上凹陷的深度。基座连接于基板的下表面，以承载并固定基板。
主权项：1.一种静电吸盘，其特征在于，包含：一基板，具有一上表面、一下表面以及多个沟槽，该上表面相对于该下表面，且该多个沟槽形成于该上表面并分隔出多个区域；一电极层，埋设于该基板中，该电极层包含多个电极，该多个电极分别位于该多个区域中，且该多个电极与该上表面之间定义的一距离小于该多个沟槽在该上表面上凹陷的一深度；以及一基座，连接于该基板的该下表面，以承载并固定该基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 财团法人工业技术研究院 静电吸盘
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