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一种多晶硅水淬系统 

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申请/专利权人:宁夏润阳硅材料科技有限公司

摘要:本申请涉及一种多晶硅水淬系统,加热设备用于加热硅棒至500℃至600℃,水箱中装有低于50℃的超纯水,干燥冷却装置用于干燥冷却水淬后的硅棒,破碎设备用于破碎硅棒,两个桁架间隔对称设置于生产线两侧,移动平台设置于桁架上,转动平台可转动设置于移动平台上,升降驱动部设置于转动平台上,升降驱动部与升降杆驱动相连,升降杆的底端设置有手爪。搬运机构通过移动平台、转动平台和升降驱动部不断调整手爪的位置、高度、姿态,以将经过加热后的硅棒经水淬、干燥冷却后破碎,水淬后的硅棒再经碎系统破碎,减少硅棒受到物理打击或锤击产生的粉尘和颗粒,大大降低了硅棒的破碎损耗率,破碎后的物料中粉末料占比较低。

主权项:1.一种多晶硅水淬系统,其特征在于,包括生产线和搬运机构(400),所述生产线包括依次间隔设置的加热设备(100)、水箱(200)、干燥冷却装置(300)和破碎设备,所述加热设备(100)用于加热硅棒至500℃至600℃,所述水箱(200)中装有低于50℃的超纯水,所述干燥冷却装置(300)用于干燥冷却水淬后的硅棒,所述破碎设备用于破碎硅棒,所述搬运机构(400)包括桁架(410)、移动平台(420)、转动平台(430)、升降驱动部(440)、升降杆(450)和用于搬运硅棒的手爪(460),两个所述桁架(410)间隔对称设置于所述生产线两侧,且每个所述桁架(410)顶部沿其长度方向开设有轨道(411),所述移动平台(420)设置于所述桁架(410)上,且与所述轨道(411)滑动配合,所述转动平台(430)可转动设置于所述移动平台(420)上,所述升降驱动部(440)设置于所述转动平台(430)上,所述移动平台(420)和所述转动平台(430)均开设有避让孔(470),所述升降杆(450)一端穿过所述避让孔(470),所述升降驱动部(440)与所述升降杆(450)驱动相连,所述升降杆(450)的底端设置有所述手爪(460),所述搬运机构(400)用于在所述生产线内搬运硅棒。

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权利要求:

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