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远心镜头模块及高精度投影图像测量系统 

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申请/专利权人:宁波道谱光电科技有限公司

摘要:本发明公开了一种远心镜头模块及高精度投影图像测量系统,所述远心照明模块包括从入射照明光依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜和第九透镜,所述第一透镜与第二透镜组成密接的第二双胶合透镜,第四透镜与第五透镜组成密接的第三双胶合透镜,第六透镜与第七透镜组成密接的第三双胶合透镜,第八透镜与第九透镜组成密接的第四双胶合透镜,其它各透镜均为单透镜。所述高精度投影图像测量系统包括图像传感器、远心照明模块和远心镜头模块,从而提高投影图像测量系统的分辨率和测量精度,且镜头工作距离长,用于大尺寸工件的检测,同时结构简单紧凑,装配难度低,实用性强。

主权项:1.一种用于远心投影图像测量的远心镜头模块,其特征在于,包括从入射照明光依次排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和图像传感器,所述第一透镜与第二透镜组成密接的第二双胶合透镜,第四透镜与第五透镜组成密接的第三双胶合透镜,第六透镜与第七透镜组成密接的第三双胶合透镜,第八透镜与第九透镜组成密接的第四双胶合透镜,其它各透镜均为单透镜,远心照明光束被待测样品遮挡后从第一透镜入射,最后在图像传感器上成待测样品的阴影像;所述远心镜头模块中具有光焦度的光学部件仅为上述九片透镜;接收到的远心光束由所述第一透镜入射,由所述第九透镜出射,其中:所述第一透镜为正光焦度透镜,入射面为凸面,出射面为凸面;第二透镜为负光焦度透镜,入射面为凹面,出射面为凸面;第三透镜为正光焦度透镜,入射面为凸面,出射面为凹面;第四透镜为负光焦度透镜,入射面为凸面,出射面为凹面;第五透镜为正光焦度透镜,入射面为凸面,出射面为凸面;第六透镜为正光焦度透镜,入射面为凸面,出射面为凸面;第七透镜为负光焦度透镜,入射面为凹面,出射面为凹面;第八透镜为负光焦度透镜,入射面为凹面,出射面为凸面;第九透镜为负光焦度透镜,入射面为凹面,出射面为平面。

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权利要求:

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