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申请/专利权人：达兴材料股份有限公司
摘要：本发明提供一种碱可溶性树脂、保护层组合物、保护层、叠层体以及光刻胶图案的形成方法。保护层组合物包括碱可溶性树脂A、疏水性树脂B以及溶剂C，其中碱可溶性树脂A包括下述式1所示的结构单元a1、下述式2所示的结构单元a2、以及下述式3所示的结构单元a3。
主权项：1.一种碱可溶性树脂A，包括下述式1所示的结构单元a1、下述式2所示的结构单元a2、以及下述式3所示的结构单元a3， 式1中，R1为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，R2为碳数为1至10的含氟直链烷基或含氟支链烷基，*表示键结位置， 式2中，R3为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Y1为碳数为1至10的亚烷基、碳数为5至10的亚环烷基、或亚芳基，*表示键结位置，其中当Y1为碳数为2至10的亚烷基或碳数为5至10的亚环烷基时，其中一个或多个-CH2-可经-O-或取代， 式3中，R4为氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Y2为碳数为2至8的未经取代的亚烷基，*表示键结位置，其中在Y2中，其中一个或多个-CH2-可经-O-或取代，其中所述式1所示的结构单元a1、所述式2所示的结构单元a2、以及所述式3所示的结构单元a3之间的摩尔比为10～50：50～90：1～20。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 达兴材料股份有限公司 碱可溶性树脂、保护层组合物、保护层、叠层体以及光刻胶图案的形成方法
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