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申请/专利权人：深圳格芯集成电路装备有限公司

摘要：本发明公开了一种三维缺陷检测装置，包括：基座；第一拍摄器；第二拍摄器；第一直线模组，用于驱动第一拍摄器沿第一预定直线方向移动；第一直线模组安装在基座上；以及三维移动机构，用于分别驱动所述第二拍摄器沿第二预定直线方向、第三预定直线方向、第四预定直线方向移动；第二预定直线方向、第三预定直线方向、第四预定直线方向相互垂直，第一预定直线方向与第二预定直线方向平行，三维移动机构安装在基座上。其中，三维移动机构的数量和第二拍摄器的数量分别有多个，多个三维移动机构和多个第二拍摄器一一对应，多个第二拍摄器沿着第一拍摄器的周向均匀间隔布设。本发明可以提升芯片料条的检测效率和检测准确率，属于芯片检测的技术领域。

主权项：1.一种三维缺陷检测装置，其特征在于：包括：基座；第一拍摄器，用于拍摄放置在预定平面内的待检测物品；第二拍摄器，用于拍摄放置在预定平面内的待检测物品；第一直线模组，用于驱动所述第一拍摄器沿第一预定直线方向移动；所述第一直线模组安装在所述基座上；以及三维移动机构，用于分别驱动所述第二拍摄器沿第二预定直线方向、第三预定直线方向，以及第四预定直线方向移动；所述第二预定直线方向、所述第三预定直线方向、所述第四预定直线方向相互垂直，所述第一预定直线方向与所述第二预定直线方向平行，所述三维移动机构安装在所述基座上；其中，所述三维移动机构的数量和所述第二拍摄器的数量分别有多个，多个所述三维移动机构和多个所述第二拍摄器一一对应，多个所述第二拍摄器沿着所述第一拍摄器的周向均匀间隔布设；各所述第二拍摄器均包括第二相机、安装在所述第二相机上的第二远心镜头，以及安装在所述第二远心镜头上的第二同轴光源；所述第二远心镜头上开设有第二螺纹接口，所述第二同轴光源具有第二外螺纹管，所述第二同轴光源通过所述第二外螺纹管和所述第二螺纹接口的配合与所述第二远心镜头螺纹连接，各所述第二远心镜头分别具有垂直于所述预定平面的第二光传播路径；各所述第二远心镜头上分别安装有反射棱镜；所述预定平面与所述反射棱镜之间具有与所述第二光传播路径相接的第三光传播路径，所述反射棱镜具有用于将沿所述第三光传播路径传播的光线反射至所述第二光传播路径的反光平面；所述反光平面与所述预定平面之间呈第一预定夹角A，所述第一预定夹角A大于45°且小于90°，所述第三光传播路径与所述预定平面之间呈第二预定夹角B，所述第二预定夹角B大于0°且小于90°，其中A、B满足：B＝2A-90°；还包括安装在所述基座上的定位座、安装在所述定位座上的照明器；所述照明器包括滑动件、均安装在所述滑动件上的多个条形光源；多个所述条形光源和多个所述第二拍摄器一一对应；所述滑动件滑动式安装在所述定位座上并沿平行于所述第一预定直线方向的第五预定直线方向滑动，所述滑动件具有用于所述第一拍摄器穿过的第一通孔，所述第一通孔沿所述第一预定直线方向贯穿所述滑动件；各所述条形光源分别转动式安装在所述滑动件上，各所述条形光源的转动轴线分别垂直于所述第一预定直线方向，多个所述条形光源沿着所述第一拍摄器的周向均匀间隔布设，各所述条形光源分别具有与其转动轴线平行的第一发光面；所述第一发光面朝下设置，所述第一发光面与滑动件的竖直方向的中心线的角度为C，C的调节范围为25°-75°。

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