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红外中波带通滤光片的镀膜工艺 

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申请/专利权人:安徽光智科技有限公司

摘要:一种红外中波带通滤光片的镀膜工艺包括步骤:S1,对镜片超声波表面处理;S2,将镜片装在公转盘上;S3,将蒸发镀膜机抽真空至低于1.0×10‑5Pa;S4,蒸发镀膜机对镜片加热至120‑150℃,恒温30‑60min;S5,开启离子源清洗镜片表面5‑10min;S6,在步骤S5完成后,蒸发镀膜机抽真空至低于1.5×10‑3Pa后开始镀膜,公转盘旋转,蒸发源启动蒸发,蒸发镀膜机对镜片的一面镀长波通膜系和短波通膜系中的一个波通膜系,镀长波通膜系和短波通膜系均由锗膜层和硫化锌膜层交替构成,蒸发镀制锗膜层不通入任何气体,蒸发镀制硫化锌膜层时通入氩气保持恒压;S7,步骤S6完成后降温,降温后停止公转盘旋转;S8,步骤S7完成后,将镜片取下,再重复步骤S1至步骤S7对镜片的另一面镀另一波通膜系。

主权项:1.一种红外中波带通滤光片的镀膜工艺,其特征在于,包括步骤:S1,对镜片进行超声波表面处理;S2,将镜片装在蒸发镀膜机的公转盘上;S3,将蒸发镀膜机抽真空至低于1.0×10-5Pa;S4,蒸发镀膜机对镜片加热至120-150℃,恒温30-60min;S5,开启离子源清洗镜片表面5-10min;S6,在步骤S5完成后,蒸发镀膜机抽真空至低于1.5×10-3Pa后开始镀膜,公转盘旋转,蒸发源启动蒸发,蒸发镀膜机对镜片的一面镀长波通膜系和短波通膜系中的一个波通膜系,镀长波通膜系和短波通膜系均由锗膜层和硫化锌膜层交替构成,蒸发镀制锗膜层不通入任何气体,蒸发镀制硫化锌膜层时通入氩气保持恒压;S7,步骤S6完成后降温,降温后停止公转盘旋转;S8,步骤S7完成后,将镜片从公转盘取下,再重复步骤S1至步骤S7对镜片的另一面镀长波通膜系和短波通膜系的另一波通膜系。

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