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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种提高晶硅电池表面氧化层钝化效果的工艺，TOPCon电池制程中，在碱抛或RCA清洗步骤的烘干过程中，将硅片干燥后通入氧化性气体，在硅片表面生长干氧氧化层。本发明不增加额外设备，可增加制程过程中硅片对非工艺环境的耐受性，增加产线节奏稳定性，增加湿法工序结束后的工艺等待Q‑Time时间或减少工艺等待Q‑time时间内非工艺环境对工艺的负面影响。本发明避免湿法药剂活性周期不统一导致湿法氧化层致密性不一致；所得表面氧化层更致密，对后续电池结构钝化增益更强，提高了电池转换效率；本发明在烘干槽第一步干燥步骤之前硅片表面不带氧化层，避免大尺寸薄片烘干过程中带液粘片，提高了量产良率。
主权项：1.一种提高晶硅电池表面氧化层钝化效果的工艺，其特征在于，TOPCon电池制程中，在碱抛或RCA清洗步骤的烘干过程中，先将硅片干燥，然后通入氧化性气体，在所述硅片表面生长干氧氧化层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 一种提高晶硅电池表面氧化层钝化效果的工艺
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