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申请/专利权人：湖北鼎龙汇鑫科技有限公司
摘要：本申请提供一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘，涉及陶瓷材料领域。本申请中的陶瓷浆料的组分包括：氮化铝粉体、基体调阻剂、有机溶剂，其中氮化铝粉体的粒径分布范围为100～1000nm；基体调阻剂为过渡金属氮化物，且基体调阻剂与氮化铝粉体的质量比小于0.03％。使用本申请的陶瓷浆料制备的氮化铝陶瓷材料不仅能维持良好的热导率，而且其高温下的体积电阻率也能保持在合适的范围，从而满足静电卡盘的需求。含有本申请氮化铝陶瓷材料的静电卡盘不仅能够保证晶圆的加工精度，还具有大范围的使用温度域、稳定的吸附力与高效可控的脱附性。
主权项：1.一种陶瓷浆料，其特征在于，其组分包括：氮化铝粉体、基体调阻剂、有机溶剂，其中所述氮化铝粉体的粒径分布范围为100～1000nm；所述基体调阻剂为过渡金属氮化物，且所述基体调阻剂与所述氮化铝粉体的质量比小于0.03％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北鼎龙汇鑫科技有限公司 一种陶瓷浆料、氮化铝陶瓷材料及其制备方法、静电卡盘
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