龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种湿法刻蚀时所用的挡板，包括：防反溅结构，其包括：内置竖直板，所述内置竖直板竖直设置于所述晶圆的一侧，且与所述晶圆之间具有间距；第一开口，所述第一开口贯穿所述内置竖直板，其设置在从所述晶圆表面甩出的刻蚀液的运动轨迹上，使得刻蚀液从所述第一开口穿过；水平板，所述水平板的第一端固定设置在所述内置竖直板远离所述晶圆的一侧，其高度低于所述第一开口所在位置；倾斜板，所述倾斜板的第一端固定设置在所述水平板的第二端，其呈斜坡结构；弧形板，所述弧形板的一端固定设置在所述倾斜板的第二端上，其呈弧形结构，且所述弧形结构的开口朝下。通过本发明解决了现有的刻蚀液飞溅的问题。
主权项：1.一种湿法刻蚀时所用的挡板，其特征在于，所述挡板设置于晶圆的外围，包括：用于对从所述晶圆甩出的刻蚀液进行减速的防反溅结构，所述防反溅结构包括：内置竖直板，所述内置竖直板竖直设置于所述晶圆的一侧，且与所述晶圆之间具有间距；第一开口，所述第一开口贯穿所述内置竖直板，其设置在从所述晶圆表面甩出的刻蚀液的运动轨迹上，使得刻蚀液从所述第一开口穿过；水平板，所述水平板的第一端固定设置在所述内置竖直板远离所述晶圆的一侧，其高度低于所述第一开口所在位置；倾斜板，所述倾斜板的第一端固定设置在所述水平板的第二端，其呈斜坡结构；弧形板，所述弧形板的一端固定设置在所述倾斜板的第二端上，其呈弧形结构，且所述弧形结构的开口朝下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 湿法刻蚀时所用的挡板
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号