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申请/专利权人：之江实验室
摘要：本申请提供一种光子引线及其制备方法和应用。所述光子引线的制备方法包括将光子引线虚拟原型进行细分处理得到多个细分部分，将多个细分部分中虚拟支撑台的中心线设计成直线，虚拟支撑跨梁的中心线设计成抛物线或悬链线。在制图软件中建立空间直角坐标系并绘制出各个细分部分的中心线，然后对各个中心线进行三维等距离拉伸形成光子引线的三维模型，输出光子引线文件并将其导入至光刻设备中，将光刻设备内置的三维空间坐标系与空间直角坐标系进行对准，并设计光刻设备的工艺参数，对形成于基板上的光刻胶进行光刻，再进行显影和干燥处理制备得到光子引线。本申请提供的制备方法可以制备出结构稳定可靠的光子引线。
主权项：1.一种光子引线的制备方法，其特征在于，包括：在制图软件中构建光子引线的虚拟原型，将所述虚拟原型进行细分处理得到多个细分部分，所述多个细分部分包括两个虚拟支撑台和设置于所述两个虚拟支撑台之间的虚拟支撑跨梁；所述虚拟支撑台的中心线设计成直线，所述虚拟支撑跨梁的中心线设计成抛物线或悬链线；在所述制图软件中建立空间直角坐标系，在所述空间直角坐标系内绘制出各个所述细分部分的中心线，对各个所述中心线进行三维等距离拉伸，形成光子引线的三维模型，并输出含有所述光子引线三维模型信息的光子引线文件；将所述光子引线文件导入至光刻设备中，将所述光刻设备内置的三维空间坐标系与所述空间直角坐标系进行对准，并设计所述光刻设备的工艺参数，对形成于基板上的光刻胶进行光刻，再进行显影和干燥处理，制备得到光子引线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 之江实验室 一种光子引线及其制备方法和应用
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