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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
摘要：本发明公开了一种退火装置及硅片生产设备。本发明的退火装置包括炉体及输送机构，炉体限定有处理腔，处理腔包括预热区、工艺区和冷却区；输送机构包括多个第一辊轴，多个第一辊轴沿输送方向并列设置于处理腔中，并且各第一辊轴的两端分别与处理腔的两侧的腔壁转动连接；其中，第一辊轴用于承载硅片载具，第一辊轴能够与硅片载具的底面抵接，第一辊轴受驱转动并带动硅片载具移动，以使硅片载具依次经过预热区、工艺区和冷却区。本申请中，相邻两组硅片载具从工艺区移出的时间间隔为退火的工艺时间，同时也是硅片的工艺周期，相较于真空退火装置的工艺周期，本申请的退火装置的工艺周期大大缩短，从而产能得到显著提高。
主权项：1.退火装置，其特征在于，包括：炉体，所述炉体限定有处理腔，所述炉体包括预热区、工艺区和冷却区；输送机构，所述输送机构包括多个第一辊轴，多个所述第一辊轴沿输送方向并列设置于所述处理腔中，并且各所述第一辊轴的两端分别与所述处理腔的两侧的腔壁转动连接；其中，所述第一辊轴用于承载硅片载具，所述第一辊轴能够与所述硅片载具的底面抵接，所述第一辊轴受驱转动并带动所述硅片载具移动，以使所述硅片载具依次经过所述预热区、所述工艺区和所述冷却区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 退火装置及硅片生产设备
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