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申请/专利权人：上海卓晶半导体科技有限公司
摘要：本发明提出一种激光直写多光束刻写系统及其使用方法，该系统包括光源发生装置、光源分光装置、光束调控装置、倍率调整装置、反射折向装置及光束聚焦装置，该激光直写多光束刻写系统采用AOM分光镜将激光发生器发出的激光光束分隔形成多路光束，还采用多件AOD调光镜对各路光束分别进行能量和偏振角实时处理，使其达到刻写要求，并且由各AOD调光镜分别对各光束的开闭状态进行切换，当需要刻写最细线条时打开单路光束，当刻写粗线时打开所有光束，有利于提升刻写效率，并且降低设备成本。
主权项：1.一种激光直写多光束刻写系统，其特征在于，包括：光源发生装置，该光源发生装置通过活动连接结构安装于光刻机中，可在光刻机中运动，由光源发生装置产生光源；光源分光装置，该光源分光装置通过活动连接结构安装于光刻机中，并与光源发生装置适配，其可在光刻机中伴随光源发生装置一同运动，由光源分光装置将光源发生装置产生的光源分成若干路独立光束；光束调控装置，该光束调控装置安装于光刻机中，并与光源分光装置适配，由光束调控装置对光源分光装置形成的光束进行调控；倍率调整装置，该倍率调整装置安装于光刻机中，并与光束调控装置适配，由倍率调整装置对光束调控装置调控后的光束进行调整，使其形成不同直径的光束；反射折向装置，该反射折向装置安装于光刻机中，并与倍率调整装置适配，由反射折向装置对倍率调整装置调整后的光束进行反射，使其光路折向；光束聚焦装置，该光束聚焦装置安装于光刻机中，并与反射折向装置适配，由光束聚焦装置对反射折向装置反射后的光束进行聚焦。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海卓晶半导体科技有限公司 一种激光直写多光束刻写系统及其使用方法
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