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一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和应用 

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申请/专利权人:广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

摘要:本发明属于光刻胶微电子化学技术领域,公开了一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和应用,所述改性酚醛树脂的结构如式I所示,其中,X代表多酚羟基化合物通过共聚方式引入至式I中的结构;所述R为H或CH3,m、n为摩尔百分比,m+n=1;本发明改善了酚醛树脂玻璃化转变温度。同时该改性酚醛树脂制成的光刻胶组合物具有优良的灵敏度和分辨率。

主权项:1.一种光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,所述改性酚醛树脂的结构如式I所示: 其中,X代表式Ⅱ化合物通过共聚方式引入至式I中的结构;所述R为H或CH3,m、n为摩尔百分比,m+n=1,n为15%~40%;R1为C=O、CH2、CCH32、CF2、CCF32和COO的一种;R2、R3、R4、R5和R6为H或OH中的一种,其中,基团OH为3个,H为2个;R7为H、CH3、CH2CH3、CCH33、COOH中的一种;所述改性酚醛树脂的分子量为7000-16000gmol。

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权利要求:

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