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申请/专利权人：精工爱普生株式会社

摘要：本发明涉及双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置，提供一种双音叉振子等，能够使连接激励电极和焊盘的配线难以断线。在双音叉振子1中，两端与一对基部B1、B2连接的一对振动梁V1、V2，朝向第一方向DR1依次配置有第一端部区域TA1、第一激励区域EA1、第一中继区域RA1、第二激励区域EA2、第二中继区域RA2、第三激励区域EA3及第二端部区域TA2，在第一中继区域RA1的表面之上设有：配线L3a，连接第一激励区域EA1的激励电极EL1a和第二激励区域EA2的激励电极EL2a；以及配线L4a，连接第一激励区域EA1的激励电极EL3a和第二激励区域EA2的激励电极EL4a。

主权项：1.一种双音叉振子，其特征在于，在把相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向及第三方向时，所述双音叉振子包括：第一基部及第二基部；以及沿所述第一方向延伸的第一振动梁、以及沿所述第一方向延伸并与所述第一振动梁在所述第二方向上排列的第二振动梁，所述第一基部与所述第一振动梁的一端及所述第二振动梁的一端连接，所述第二基部与所述第一振动梁的另一端及所述第二振动梁的另一端连接，所述第一振动梁及所述第二振动梁分别朝向所述第一方向依次配置有第一端部区域、第一激励区域、第一中继区域、第二激励区域、第二中继区域、第三激励区域及第二端部区域，分别设置于所述第一振动梁及所述第二振动梁的多个激励电极被选择性地配置在所述第一激励区域、所述第二激励区域及所述第三激励区域各自的各个面上，在把所述第一振动梁及所述第二振动梁各自的与所述第三方向正交的一面设为表面、把另一面设为背面时，在所述第一中继区域的表面之上设有：第三配线，连接配置于所述第一激励区域的第一激励电极、和配置于所述第二激励区域的第二激励电极；以及第四配线，连接配置于所述第一激励区域的第三激励电极、和配置于所述第二激励区域的第四激励电极，在所述第二中继区域的表面之上设有：第七配线，连接所述第二激励电极、和配置于所述第三激励区域的第五激励电极；以及第八配线，连接所述第四激励电极、和配置于所述第三激励区域的第六激励电极；在所述第一中继区域的背面之上设有：第五配线，连接配置于所述第一激励区域的第七激励电极、和配置于所述第二激励区域的第八激励电极；以及第六配线，连接配置于所述第一激励区域的第九激励电极、和配置于所述第二激励区域的第十激励电极，在所述第二中继区域的背面之上设有：第九配线，连接所述第八激励电极、和配置于所述第三激励区域的第十一激励电极；以及第十配线，连接所述第十激励电极、和配置于所述第三激励区域的第十二激励电极。

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百度查询： 精工爱普生株式会社 双音叉振子、物理量传感器及惯性计测装置