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申请/专利权人：深圳国微芯科技有限公司
摘要：本申请公开了一种光学邻近修正方法、电子设备及计算机可读存储介质。该光学邻近修正方法包括：对电路版图进行划分，以获取多个分块；基于所有分块及电路版图的第一多边形信息构建电路版图对应的第一四叉树；对分块进行光学邻近修正操作；响应于分块中多边形发生变化，则对第一四叉树中的第一多边形信息进行更新。通过上述方式，本申请的光学邻近修正方法可以通过第一四叉树更新第一多边形信息中的全局多边形在不同分块中的行为及变化，从而解决全局多边形由于分块所产生的不一致性而导致坏点的问题。
主权项：1.一种光学邻近修正方法，其特征在于，包括：对电路版图进行划分，以获取多个分块；基于所有所述分块及所述电路版图的第一多边形信息构建所述电路版图对应的第一四叉树；对所述分块进行光学邻近修正操作；响应于所述分块中多边形发生变化，则对所述第一四叉树中的所述第一多边形信息进行更新。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳国微芯科技有限公司 光学邻近修正方法、电子设备及计算机可读存储介质
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