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TBC电池的制备方法、TBC电池、光伏组件及光伏系统 

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申请/专利权人:天合光能股份有限公司

摘要:本申请实施例提供一种TBC电池的制备方法、TBC电池、光伏组件及光伏系统。制备方法包括:将N型硅片放入PECVD设备的炉管内;向炉管通入第一气体,并对N型硅片进行第一次辉光放电,以在N型硅片的背面沉积第一隧穿氧化层;向炉管通入第二气体,并对沉积了第一隧穿氧化层的N型硅片进行第二次辉光放电,以在第一隧穿氧化层的表面沉积第一本征Poly层;将沉积了第一隧穿氧化层和第一本征Poly层的N型硅片放入硼扩散炉,以扩散硼元素至第一本征Poly层。本申请实施例通过PECVD制备第一隧穿氧化层和第一本征Poly层之后再进行硼扩散,制得的第一本征Poly层相致密性相对较低,可以减少硼扩散时间,降低硼扩散的温度,从而保护硅片,提升TBC电池的产品质量和生产效率。

主权项:1.一种TBC电池的制备方法,其特征在于,包括:将N型硅片放入等离子体增强化学气相沉积设备的炉管内;向所述炉管通入第一气体,并对所述N型硅片进行第一次辉光放电,以在所述N型硅片的背面沉积第一隧穿氧化层;向所述炉管通入第二气体,并对沉积了所述第一隧穿氧化层的所述N型硅片进行第二次辉光放电,以在所述第一隧穿氧化层的表面沉积第一本征Poly层;将沉积了所述第一隧穿氧化层和所述第一本征Poly层的所述N型硅片放入硼扩散炉,以扩散硼元素至所述第一本征Poly层。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 天合光能股份有限公司 TBC电池的制备方法、TBC电池、光伏组件及光伏系统

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