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基于驻留时间约束的多机械臂协同调度优化方法及装置 

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申请/专利权人:元始智能科技(南通)有限公司

摘要:本发明提供一种基于驻留时间约束的多机械臂协同调度优化方法及装置,涉及自动化控制技术领域,该方法包括:根据各晶圆加工腔室的驻留时间约束、处理时间和各晶圆加工腔室存储的当前晶圆信息,以及各机械臂的驻留时间约束、处理时间和各机械臂存储的当前晶圆信息,获取当前加工状态信息;将当前加工状态信息输入至决策模型,优化得到各机械臂的当前决策动作;根据当前决策动作对应的控制信号,协同调度多个机械臂执行晶圆加工作业;决策模型,是根据从经验池中循环获取的各样本数据,对DQN模型进行训练得到的;本发明通过强化学习模型获取的全局优化策略对多机械臂协同调度优化,以实现高效、低成本地进行晶圆加工。

主权项:1.一种基于驻留时间约束的多机械臂协同调度优化方法,其特征在于,包括:根据各晶圆加工腔室的驻留时间约束、处理时间和各所述晶圆加工腔室存储的当前晶圆信息,以及各机械臂的驻留时间约束、处理时间和各所述机械臂存储的当前晶圆信息,获取当前加工状态信息;将所述当前加工状态信息输入至决策模型,优化得到各所述机械臂的当前决策动作;根据所述当前决策动作对应的控制信号,协同调度多个所述机械臂执行晶圆加工作业;其中,所述决策模型,是根据从经验池中循环获取的各样本数据,对DQN模型进行训练得到的;所述样本数据包括样本加工状态信息、样本决策动作、所述样本决策动作对应的奖励值,以及所述样本决策动作对应的下一加工状态信息。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 元始智能科技(南通)有限公司 基于驻留时间约束的多机械臂协同调度优化方法及装置

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