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一种单晶硅片倒角装置 

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申请/专利权人:西安封候存储技术产业集团有限公司

摘要:本实用新型属于单晶硅片加工技术领域,具体涉及一种单晶硅片倒角装置,包括工作台,工作台上设有固定组件,工作台上设有打磨壳与储水箱,打磨壳内设有倒角组件,储水箱设有更换口与放置板,更换口内设有过滤盒,工作台上设有传动壳,传动壳内设有往复丝杆,传动壳外设有与往复丝杆固定连接的第一电机,往复丝杆外设有滑块,滑块下设有连接块,连接块下设有刮板,储水箱设有水泵,打磨壳设有喷淋头,喷淋头与水泵之间设有输水管;通过往复丝杆、第一电机、滑块以及刮板之间的相互配合,使得刮板对过滤盒中部的废渣推向两侧,防止大量废渣堆积在过滤盒中部,从而影响冷却液混合物的过滤,最终提高了对冷却液混合物的分离效率。

主权项:1.一种单晶硅片倒角装置,包括工作台,其特征在于:所述工作台上端前侧设有固定组件,所述工作台上端中部固定安装有打磨壳,所述打磨壳内部设有倒角组件,所述工作台下端设有与所述打磨壳相连通的储水箱,所述储水箱前端开设有更换口,所述储水箱内壁固定安装有放置板,且所述放置板与所述更换口下端相抵接,所述更换口内部滑动安装有过滤盒,且所述过滤盒与所述放置板相抵接,所述工作台与所述储水箱之间设有降温组件;所述降温组件包括有传动壳,所述传动壳固定安装于所述工作台上端后侧,所述传动壳左右内壁之间转动安装有往复丝杆,所述传动壳右端固定安装有第一电机,所述第一电机的输出端转动贯穿所述传动壳与所述往复丝杆固定连接,所述往复丝杆外侧螺纹连接有滑块,所述滑块下端固定安装有连接块,所述连接块下端固定安装有与所述过滤盒内壁相抵接的刮板,所述储水箱右端下侧固定安装有水泵,且所述水泵与所述储水箱内部连通,所述打磨壳上壁固定安装有喷淋头,所述喷淋头与所述水泵之间通过输水管连接。

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