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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
摘要：本实用新型属于晶圆加工技术领域，公开了减薄机磨轮在线破损检测装置。减薄机磨轮在线破损检测装置包括至少一组对射传感器和调节机构，对射传感器包括发射端和接收端，发射端和接收端分别设置于磨轮的两侧，发射端发射的光线能够经磨轮被接收端接收。发射端和接收端各设置有一个调节机构，调节机构用于驱动发射端和接收端相对磨轮移动。该减薄机磨轮在线破损检测装置通过设置对射传感器，将发射端和接收端分别设置于磨轮的两侧，发射端发出的光线，经磨轮后被接收端接收。磨轮将经过的光线切断或者使透光量发生变化，通过检测对射传感透光量的变化，便可以实现在线检测功能。
主权项：1.减薄机磨轮在线破损检测装置，其特征在于，包括：至少一组对射传感器1，所述对射传感器1包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端分别设置于磨轮100的两侧，所述发射端发射的光线能够经所述磨轮100被所述接收端接收；调节机构2，所述发射端和所述接收端各设置有一个所述调节机构2，所述调节机构2用于驱动所述发射端和所述接收端相对所述磨轮100移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 减薄机磨轮在线破损检测装置
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