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一种圆弧状红外加热灯管 

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申请/专利权人:南京丹联科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种圆弧状红外加热灯管,主体包括石英加热管,灯管似近半圆弧状,且尺寸精度高,与某半导体加热设备可高度适配并快捷安装,导线与端子采用冷压压接,压封处使用护卡,两者皆减少灯管上灰渣等的出现,保证半导体领域的洁净度使用要求,采用杆外绕旋接丝方法,相比于甩尾丝可承受大电流的冲击,且绕接丝使灯丝组合的连接牢固、紧密,增大内部灯丝组合的整体结构强度,并在旋接处进行支撑架的密绕,减少此处因弧度而造成的接丝易脱落问题,内部保护气体与炉内被加热件不发生任何反应;本实用新型尺寸精度高,功率稳定,响应快,灯丝结构牢固,洁净度高,主要用于半导体加热设备上加热模块使用。

主权项:1.一种圆弧状红外加热灯管,其特征在于:包括石英加热管(1)、不锈钢护卡(2)、裸导线(3)、鼓簧式插头(4)、排气端口(5)、导线接杆(6)、固定套(7)、钼片(8)、铰接丝杆(9)、支撑架(10)、发热丝(11)、保护气体(12);所述石英加热管(1)两端皆设有所述导线接杆(6),所述导线接杆(6)通过所述固定套(7)与所述裸导线(3)连接,所述裸导线(3)的另一端与所述鼓簧式插头(4)相连,所述石英加热管(1)的压封处设有所述不锈钢护卡(2),所述发热丝(11)通过所述支撑架(10)排列组合固定在所述石英加热管(1)中,所述发热丝(11)通过所述铰接丝杆(9)与所述钼片(8)相连,所述钼片(8)与所述导线接杆(6)接合,所述保护气体(12)通过所述排气端口(5)充入所述石英加热管(1)中,所述排气端口(5)设于所述石英加热管(1)外侧。

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