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一种扩大金刚石籽晶生长数量的弧形基台装置 

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申请/专利权人:安徽碳索芯材科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种扩大金刚石籽晶生长数量的弧形基台装置,包括外部基台,所述外部基台为具有倾斜角度且带有凹槽的晶种放置区域组成的弧形圆环设计,所述外部基台的内部固定安装有中部基台,所述中部基台为圆环形设计,所述中部基台的内部固定安装有内部基台,所述内部基台和中部基台的顶部均设置有条形凸条,所述内部基台为下沉设计。本实用新型根据等离子体形状设计弧形基台装置,不仅扩大了等离子体沉积的有效沉积面积,增加金刚石籽晶的生长数量,而且基台表面凸起和方形放置区域有利于对金刚石籽晶进行定位,防止弧度的倾斜导致籽晶受重力的影响出现位移。同时内、中、外基台的划分能够实现对金刚石产品的分级。本发明结构简单、设计科学合理、使用方便。

主权项:1.一种扩大金刚石籽晶生长数量的弧形基台装置,包括外部基台(1),其特征在于:所述外部基台(1)为为具有倾斜角度且带有凹槽的晶种放置区域组成的弧形圆环设计,所述外部基台(1)的内部固定安装有中部基台(3),所述中部基台(3)为圆环形设计,所述中部基台(3)的内部固定安装有内部基台(2),所述内部基台(2)和中部基台(3)的顶部均设置有条形凸条(4),所述内部基台(2)为下沉设计,所述外部基台(1)上沿圆周方向开设有若干个方形放置区域(5)。

全文数据:

权利要求:

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