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申请/专利权人：盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体干法刻蚀设备腔体水汽含量报警系统，包括半导体干法刻蚀设备和安装于半导体干法刻蚀设备上的水汽含量报警系统，水汽含量报警系统按照检测数据传输的过程依次设置有水汽检测装置、水汽检测计算机、继电器、蜂鸣器和工厂网络系统，水汽检测装置与半导体干法刻蚀设备之间连接有管道，管道上安装有手动阀，水汽检测装置由离子源、四级杆质量过滤器和检测器组成，离子源位于管道一侧，四级杆质量过滤器包括对称设置的两组挡板和位于挡板内部的四级杆。本发明设计的水汽检测装置实时监控干法刻蚀设备的腔体水汽状态，当超标时可以通知半导体工作人员及时处理生产设备，这样能够避免产品的报废，达到提升产品良率的目的。
主权项：1.一种半导体干法刻蚀设备腔体水汽含量报警系统，包括半导体干法刻蚀设备和安装于半导体干法刻蚀设备上的水汽含量报警系统，其特征在于：所述水汽含量报警系统按照检测数据传输的过程依次设置有水汽检测装置1、水汽检测计算机2、继电器3、蜂鸣器4和工厂网络系统5，所述水汽检测装置1与半导体干法刻蚀设备之间连接有管道6，所述管道6上安装有手动阀7，所述水汽检测装置1由离子源8、四级杆质量过滤器9和检测器10组成，所述离子源8位于管道6一侧，所述四级杆质量过滤器9包括对称设置的两组挡板11和位于挡板11内部的四级杆12，两组所述挡板11上均开设有槽口13，所述四级杆12的两端分别位于两组挡板11的内侧，所述检测器10的检测端正对位于后方的所述挡板11，所述水汽检测装置1通过线路与水汽检测计算机2相连接，所述水汽检测计算机2通过线路与继电器3相连接且通过无线网外接工厂网络系统5，所述继电器3通过线路与蜂鸣器4相连接；所述管道6的内端与半导体干法刻蚀设备的设备腔体相连接且外端与水汽检测装置1的检测端相连接；两组所述槽口13位置相对应且之间的中心线位于四级杆12的中部。
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权利要求：
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