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申请/专利权人：无锡亚电智能装备有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆单片清洗设备伯努利吸盘，属于晶圆生产设备技术领域。晶圆单片清洗设备伯努利吸盘中，转盘的环形槽与骨架上的环形密封环一同形成环形的气道，气体从气体通道，经过中间通气柱、通气管、环形槽，并从喷气口中流出。中间通气柱、通气管、环形槽和喷气口仅需保证加工精度就可以保证气道的横截面积一致，使得整个转盘上喷出的气体压力一致。气体被限制在了上述部件中，可以防止液体倒吸，从而腐蚀其他部件。同时，中间通气柱、通气管、环形槽为扁平状的结构，降低了吸盘整体高度。并且，设置骨架来配合固定环形密封环和通气管，使得整体装配便利，部件位置定位准确。
主权项：1.一种晶圆单片清洗设备伯努利吸盘，其特征在于，包括：转盘（1），所述转盘（1）的背面具有环形槽（11）以及穿过所述转盘（1）的一端开口位于转盘（1）顶面的、另一端开口位于环形槽（11）内的若干喷气口（10），所述转盘（1）上设置有若干定位销（4）；支撑盘（3），设置在转盘（1）的背面，与转盘（1）之间形成安装腔，空腔内设置定位销驱动组件（64）以驱动定位销（4）转动由来夹持晶圆或者放开对晶圆的夹持；骨架（2），为圆盘状结构，设置在安装腔内，具有中心孔（201）和条形槽（202），所述中心孔（201）内设置有中间通气柱（21），所述条形槽（202）内设置有通气管（22），所述骨架（2）上还设置有环形密封环，所述环形密封环设置在所述转盘（1）的环形槽（11）的槽口上以形成环形的气道，所述通气管（22）的一端与中间通气柱（21）连通，且所述通气管（22）上设置有接口以将所述通气管（22）与所述环形槽（11）连通。
全文数据：
权利要求：
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