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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所
摘要：本发明公开了一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法，包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器。其中，所述处理器根据预存程序设置OLED显示屏显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，该正弦条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折，再经过显微物镜成像于待测光学元件上方，经待测光学元件表面反射后的正弦条纹像经过显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后，被相机采集。待测光学元件表面存在疵病的位置会有微观的三维突变，造成相位分布的突变和图像对比度的下降。所述处理器对采集到正弦条纹图进行分析，获取所述待测曲面元件表面面形以及缺陷信息。
主权项：1.一种基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置，其特征在于，包括OLED显示屏、照明端镜头、半反半透镜、显微物镜、基座、成像端远心镜头、相机及处理器；所述处理器连接所述OLED显示屏和所述相机，所述处理器根据预存程序进行参数设置使所述OLED显示屏产生水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，该正弦性条纹通过照明端镜头后被半反半透镜向下偏折，再经过显微物镜成像于待测光学元件上方，经待测光学元件的表面反射后的正弦的条纹像经过所述显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头后，被所述相机采集；待测光学元件的表面存在疵病的位置具有微观的三维突变，造成相位分布的突变和图像对比度的下降；所述处理器对采集到含有相位分布的突变的正弦条纹图进行分析，获取所述待测光学元件的表面面形以及缺陷信息；所述OLED显示屏和照明端镜头置于所述半反半透镜侧面，显微物镜、半反半透镜、成像端远心镜头和相机依次置于所述待测光学元件上方；所述显微物镜的机械中心轴与所述OLED显示屏、照明端镜头的中心光轴垂直；所述基座用于放置所述待测光学元件，使待测光学元件能够相对于显微物镜上下移动或偏转；所述待测光学元件置于显微物镜的焦平面上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院光电技术研究所 基于显微结构照明的曲面光学元件表面缺陷三维测量装置及方法
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