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申请/专利权人：深圳赛贝尔自动化设备有限公司

摘要：本发明公开了一种行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘、中心回转接头和下研磨盘驱动机构；机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端；中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。本发明能够对下盘进行有效冷却，产品加工质量高、磨液的损耗量小。

主权项：1.一种行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘和下研磨盘驱动机构；机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴；下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端，其特征在于，包括中心回转接头，中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口；中心回转接头包括复数根导向杆和复数个压簧，托盘包括复数个朝下开口的弹簧座孔和复数个导向孔；弹簧座孔和导向孔分别沿托盘的周向均布，压簧安装在弹簧座孔中，压簧的底面抵住回转环的顶面；导向杆的杆部插在导向孔中，与导向孔滑动配合，导向杆下端的螺纹旋在回转环顶面的螺纹孔中；安装座的上部包括托架，固定环安装在托架上；所述下盘结构包括内齿圈升降机构，内齿圈升降机构包括端面凸轮、升降套、凸轮驱动机构和齿圈支架；端面凸轮松套在安装座的下部，底面由安装座的底座支承；升降套松套在安装座的中部，内齿圈固定在齿圈支架上，齿圈支架安装在升降套上；凸轮驱动机构安装在机架上，驱动端面凸轮转动，升降套由端面凸轮顶部的工作面驱动；端面凸轮的工作面包括两个中心对称的型面，升降套包括套筒和两套对称安装的随动机构，随动机构包括销轴和滚轮，销轴的内端固装在套筒的下部，滚轮安装在销轴的外部，滚轮由端面凸轮的型面支承；凸轮驱动机构包括提升气缸、推拉杆、驱动销和曲柄，提升气缸的缸体水平地固定在机架上，推拉杆的后端固定在提升气缸的活塞杆上；曲柄沿轴向包括扁长孔，曲柄的内端固定在端面凸轮上；驱动销固定在推拉杆的前部，穿过曲柄的扁长孔；凸轮驱动机构包括限位螺钉，推拉杆的前部包括扁长的槽孔，曲柄穿过推拉杆前部的槽孔；限位螺钉安装在机架上，位于推拉杆的前方；所述的滚轮为滚针轴承。

全文数据：一种行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构[技术领域][0001]本发明涉及研磨机或抛光机，尤其涉及一种行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构。[背景技术][0002]双面研磨抛光机非常适用于硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光，可以加工出平面度、等厚度及粗糙度要求非常高的薄形零件，所以在光学及半导体材料的加工领域得到了广泛应用。[0003]申请号为CN201510181010.4的发明申请公开了一种行星齿轮式双面研磨抛光机，太阳轮固定在太阳轮驱动轴的上端，太阳轮驱动轴的中部由安装座支承，太阳轮升降机构包括第一螺套、第二螺套、托板和复数根拉杆;第一螺套松套在安装座外面，由安装座支承，第二螺套的内螺纹与第一螺套的外螺纹旋合，第一螺套由升降驱动机构驱动;安装座的下部包括复数个拉杆孔，拉杆的上端固定在第二螺套上，拉杆的下端穿过拉杆孔，固定在托板上，托板安装在太阳轮驱动轴的下部。[0004]该发明涉及的行星齿轮式双面研磨抛光机因下盘没设计水冷结构，磨盘与工件长时间在加工过程中的接触，而造成磨盘与磨液发热，磨液蒸发快，容易产生对产品表面的损伤。而研磨抛光使用的磨液对温度有一定的使用要求，过高的温度会使磨液中的水份过快的蒸发掉，导致磨液容易结晶，从而使磨液的损耗量增加，另外设备上使用的冶具有些是使用胶水粘合的，过高的温度会使冶具脱胶，从而降低了冶具的使用寿命。[0005]另外，虽然内齿圈的高度可以通过螺套来进行调整，但是用螺套来调整内齿圈高度很缓慢，内齿圈不能快速升降，不便于快速装卸工件。[发明内容][0006]本发明要解决的技术问题是提供一种产品加工质量高、磨液的损耗量小的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构。[0007]本发明进一步要解决的技术问题是提供一种便于内齿圈的快速升降的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构。[0008]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是，一种行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘、中心回转接头和下研磨盘驱动机构;机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴;下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承；下研磨盘固定在托盘1，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端；中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部；下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。[0009]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，安装座包括两条轴向水道，轴向水道包括两个上部水口和两个下部水口，轴向水道的上部水口位于安装座的上部，与固定环的水口连通，轴向水道的下部水口分别进水和出水。[0010]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，中心回转接头包括复数根导向杆和复数个压簧，托盘包括复数个朝下开口的弹簧座孔和复数个导向孔;弹簧座孔和导向孔分别沿托盘的周向均布，压簧安装在弹簧座孔中，压簧的底面抵住回转环的顶面;导向杆的杆部插在导向孔中，与导向孔滑动配合，导向杆下端的螺纹旋在回转环顶面的螺纹孔中；安装座的上部包括托架，固定环安装在托架上。[0011]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括与压簧数量相同的调压螺钉和调压垫，调压垫布置在压簧顶面与弹簧座孔底面之间，弹簧座孔底部包括螺纹通孔，调压螺钉由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉的前端顶在调压垫上。[0012]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，固定环的顶部包括两道环槽，回转环的底部包括两个水孔，两个水孔分别与两道环槽径向相对;固定环的两道环槽分别与固定环的两个水口连通，回转环底部的两个水孔分别与回转环的两个水口连通；固定环的顶面和回转环的底面各包括聚四氟乙烯层。[0013]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，下研磨盘包括水冷盘和磨盘，水冷盘与磨盘连接;水冷盘的顶部包括冷却水道，水冷盘与磨盘之间用螺栓锁紧，水冷盘的顶面与磨盘的底面之间通过密封胶密封;水冷盘的底部包括两个水口，水冷盘的两个水口与冷却水道连通，水冷盘的两个水口分别通过软管与回转环的两个水口连通。[0014]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括内齿圈升降机构，内齿圈升降机构包括端面凸轮、升降套、凸轮驱动机构和齿圈支架;端面凸轮松套在安装座的下部，底面由安装座的底座支承;升降套松套在安装座的中部，内齿圈固定在齿圈支架上，齿圈支架安装在升降套上；凸轮驱动机构安装在机架上，驱动端面凸轮转动，升降套由端面凸轮顶部的工作面驱动。[0015]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，端面凸轮的工作面包括两个中心对称的型面，升降套包括套筒和两套对称安装的随动机构，随动机构包括销轴和滚轮，销轴的内端固装在套筒的下部，滚轮安装在销轴的外部，滚轮由端面凸轮的型面支承；凸轮驱动机构包括提升气缸、推拉杆、驱动销和曲柄，提升气缸的缸体水平地固定在机架上，推拉杆的后端固定在提升气缸的活塞杆上；曲柄沿轴向包括扁长孔，曲柄的内端固定在端面凸轮上;驱动销固定在推拉杆的前部，穿过曲柄的扁长孔。[0016]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，凸轮驱动机构包括限位螺钉，推拉杆的前部包括扁长的槽孔，曲柄穿过推拉杆前部的槽孔;限位螺钉安装在机架上，位于推拉杆的前方;所述的滚轮为滚针轴承。[0017]以上所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括内齿圈驱动机构，内齿圈驱动机构包括轴承套和内齿圈驱动齿轮，轴承套通过轴承安装在升降套的上部，齿圈支架固定在轴承套的上部，内齿圈驱动齿轮固定在轴承套的下部。[0018]本发明能够对下盘进行有效冷却，产品加工质量高、磨液的损耗量小。[附图说明][0019]下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。[0020]图1是本发明实施例行星齿轮式双面研磨抛光机下盘结构的主视图。[0021]图2是本发明实施例行星齿轮式双面研磨机下盘结构的俯视图。[0022]图3是图1中的A向剖视图。[0023]图4是图1中的B向剖视图。[0024]图5是图3中的C向剖视图。[0025]图6是图3中的D向剖视图。[0026]图7是图5中的E向剖视图。[0027]图8是图5中的F向剖视图。[0028]图9是图5中的G向剖视图。[0029]图10是图5中的H向剖视图。[0030]图11是图1中的I向剖视图。[0031]图12是图5中的K向剖视图。[0032]图13是本发明实施例水冷盘的俯视图。[0033]图14是图5中的L向剖视图。[0034]图15是图11中的M向剖视图。[0035]图16是图3中I部位的局部放大图。[具体实施方式][0036]本发明实施例行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构如图1至图16所示，包括机架、太阳轮10、内齿圈11、下研磨盘，太阳轮驱动机构、内齿圈驱动机构、下研磨盘驱动机构、上研磨盘驱动机构、内齿圈升降机构和下盘水冷机构。[0037]机架包括机座19和固定在机座19上的安装座1，安装座1中空，下部有安装突缘101，安装座的突缘101用螺丝栓89固定在机座19上。[0038]太阳轮驱动轴2为空心轴，上研磨盘驱动机构包括中心轴4和拨轮401、上轴承23、下轴承24、中心轴轴承27、中心轴驱动齿轮上盘驱动齿轮28和上研磨盘的驱动盘30。中心轴4穿过太阳轮驱动轴2的内孔，上研磨盘的驱动盘固定在中心轴4的上端，中心轴驱动齿轮28固定在中心轴4的下部，中心轴4的下端通过中心轴轴承27安装在机座19的下部。上轴承23和下轴承24的内圈分别固定在中心轴4的上部和下部。上轴承23的外圈安装在太阳轮驱动轴2内孔的上端，下轴承24的外圈安装在太阳轮驱动轴2内孔的下端。[0039]中心轴驱动齿轮上盘驱动齿轮28与副减速机92上的副减速机齿轮93啮合，副电机94直连安在副减速机92上，上盘由副电机94带动拔轮401旋转，拔轮401与上盘卡舌啮合.可以带动整个上盘旋转。[0040]下研磨盘驱动机构包括托盘37,下研磨盘驱动轴3和下研磨盘驱动齿轮15。下研磨盘驱动轴3穿过安装座1的内孔，上部和下部由安装座1内孔中的上轴承16,下轴承35支承。下研磨盘固定在托盘37上，托盘37固定在下研磨盘驱动轴3的上端，下研磨盘驱动齿轮15通过螺母17固定在下研磨盘驱动轴3的下端。主电机84通过主减速机85、主减速机齿轮86和分配轴88上的输入齿轮87带动分配轴88。安装在分配轴88中部的磨盘主动轮90与下研磨盘驱动齿轮15啮合，带动下研磨盘驱动轴3转动。[0041]下研磨盘驱动轴3为空心轴，太阳轮驱动轴2穿过下研磨盘驱动轴3的内孔，分别由下研磨盘驱动轴3内孔中的上轴承25和下轴承26支承。太阳轮驱动齿轮36固定在太阳轮驱动轴2的下端，由小电机81通过小减速机82和小减速机齿轮83驱动。[0042]下研磨盘包括水冷盘13和磨盘12,水冷盘13与磨盘12连接。水冷盘13的顶部包括冷却水道1301，水冷盘13与磨盘12之间用螺栓锁紧，水冷盘I3的顶面与磨盘I2的底面之间通过密封胶密封，水冷盘13的冷却水道1301封闭后形成下研磨盘的冷却水套。[0043]水冷盘13的底部包括两个进水口1302和两个出水口1303，水冷盘13的两个进水口1302和两个出水口1303分别与内部的冷却水道1301连通。[0044]如图3至图5所示，下盘水冷机构包括中心回转接头，中心回转接头包括相互配合的回转环40和固定环50,回转环40安装在托盘37下方，跟随托盘37转动，固定环50固定在安装座1上部的托架109上。[0045]固定环50的顶部有两道环槽，一条是进水环槽51，另一条是回水环槽52。回转环40的底部有两个出水孔41和两个回水孔42,两个出水孔41与进水环槽51径向相对，两个回水孔42与回水环槽52径向相对。固定环50的进水环槽51与固定环50的两个进水口53连通；回水环槽52与两个回水口54连通。回转环40底部的两个出水孔41与回转环40顶部的两个出水口43连通，回转环40底部的两个回水孔42分别与回转环40顶部的两个回水口44连通。[0046]固定环50的顶面有聚四氟乙烯层55,回转环40的底面有聚四氟乙烯层45。[0047]水冷盘13底部的两个进水口1302分别通过软管46与回转环40顶部的两个出水口43连通，水冷盘13底部的两个出水口1303分别通过软管47与回转环40顶部的两个回水口44连通。[0048]安装座1包括两条轴向进水道102和两条轴向回水道105,轴向进水道102包括上部水口103和两个下部水口104,轴向进水道102的上部水口103位于安装座1的上部，通过软管56与固定环50的进水口53连通。轴向回水道105包括上部水口106和两个下部水口107，轴向回水道105的上部水口106位于安装座1的上部，通过软管57与固定环50的回水口54连通。[0049]轴向进水道102的下部水口104用下盘水冷机构进水，轴向回水道1〇5的下部水口107用下盘水冷机构回水。[0050]如图6和图7所示，中心回转接头包括回转环的的压紧装置，压紧装置包括3根导向杆61、6个压簧62、6个调压螺钉63和6个调压垫64。[0051]托盘37有6个朝下开口的弹簧座孔3701和3个导向孔3702。弹簧座孔3701和导向孔37〇2分别沿托盘37的周向均布，压簧62和调压垫64安装在弹簧座孔3701中，压簧62的底面抵住回转环40的顶面。导向杆61的杆部插在导向孔3702中，与导向孔3702滑动配合，导向杆61下端的螺纹旋在回转环40顶面的螺纹孔中。[0052]调压垫64布置在压簧62顶面与弹簧座孔3701底面之间，弹簧座孔3701底部包括螺纹通孔，调压螺钉63由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉63的前端顶在调压垫64上。[0053]内齿圈升降机构和驱动机构包括端面凸轮6、升降套30、凸轮驱动机构、齿圈支架34、轴承套38和内齿圈驱动齿轮32。安装在分配轴88上部的齿圈主动齿轮91与内齿圈驱动齿轮32啮合，带动齿圈支架34与内齿圈11一起旋转。[00M]环形的端面凸轮6松套在安装座1的下部，底面由安装座1的底座支承。[0055]升降套3〇松套在安装座1的中部，内齿圈1丨固定在齿圈支架34上，齿圈支架34通过轴承套38安装在升降套30上。[0056]轴承套38通过两个轴承33安装在升降套30的上部，齿圈支架34固定在轴承套38的上部，内齿圈驱动齿轮32固定在轴承套38的下部。[0057]升降套30包括套筒31和两套对称安装的随动机构39,套筒31松套在安装座1的中部，位于端面凸轮6的上方。套筒31由端面凸轮6顶部的工作面驱动，端面凸轮6的工作面包括两个中心对称的型面。[0058]随动机构39包括销轴3901和滚针轴承滚轮3902,销轴3901的内端固装在套筒31的下部。滚针轴承3902安装在销轴3901的外部，由端面凸轮6的型面支承。[0059]凸轮驱动机构包括提升气缸71、推拉杆72、驱动销73、曲柄74和限位螺钉75,提升气缸71的缸体水平地固定在机座19上，推拉杆72的后端固定在提升气缸71的活塞杆上。[0060]曲柄74沿轴向有一个扁长通孔7401，曲柄74的内端固定在端面凸轮6上。[0061]推拉杆72的前部有一个扁长的槽孔7201，曲柄74穿过推拉杆72前部的槽孔7201。驱动销73固定在推拉杆72的前部，穿过曲柄74的扁长孔。[0062]限位螺钉75安装在机架上，位于推拉杆72的前方。所述的滚轮为。[0063]凸轮驱动机构驱动端面凸轮6转动，凸轮6转动时，凸轮6的工作面带动升降套30，升降套30通过轴承套和齿圈支架34带动内齿圈11上下运动。[0064]本发明以上实施例通过凸轮驱动内齿圈上下运动，内齿圈能够迅速地降落，让出空间，便于在操作工在下研磨盘上装卸工件;操作工在下研磨盘上装卸工件后，内齿圈能够迅速地回位，节省工时。

权利要求：1.一种行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，包括机架、太阳轮、内齿圈、下研磨盘和下研磨盘驱动机构;机架包括机座和固定在机座上的安装座，下研磨盘驱动机构包括托盘和下研磨盘驱动轴;下研磨盘驱动轴穿过安装座的内孔，由安装座中的轴承支承;下研磨盘固定在托盘上，托盘固定在下研磨盘驱动轴的上端，其特征在于，包括中心回转接头，中心回转接头包括相互配合的回转环和固定环，回转环安装在托盘下方，跟随托盘转动，固定环固定在安装座上部;下研磨盘包括冷却水套，冷却水套的两个水口分别通过管道与回转环的两个水口连通，固定环的两个水口分别为进水口和出水口。2.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，安装座包括两条轴向水道，轴向水道包括两个上部水口和两个下部水口，轴向水道的上部水口位于安装座的上部，与固定环的水口连通，轴向水道的下部水口分别进水和出水。3.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，中心回转接头包括复数根导向杆和复数个压簧，托盘包括复数个朝下开口的弹簧座孔和复数个导向孔;弹簧座孔和导向孔分别沿托盘的周向均布，压簧安装在弹簧座孔中，压簧的底面抵住回转环的顶面;导向杆的杆部插在导向孔中，与导向孔滑动配合，导向杆下端的螺纹旋在回转环顶面的螺纹孔中；安装座的上部包括托架，固定环安装在托架上。4.根据权利要求3所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，包括与压簧数量相同的调压螺钉和调压垫，调压垫布置在压簧顶面与弹簧座孔底面之间，弹簧座孔底部包括螺纹通孔，调压螺钉由外向内旋入螺纹通孔，调压螺钉的前端顶在调压垫上。5.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，固定环的顶部包括两道环槽，回转环的底部包括两个水孔，两个水孔分别与两道环槽径向相对；固定环的两道环槽分别与固定环的两个水口连通，回转环底部的两个水孔分别与回转环的两个水口连通;固定环的顶面和回转环的底面各包括聚四氟乙烯层。6.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，下研磨盘包括水冷盘和磨盘，水冷盘与磨盘连接;水冷盘的顶部包括冷却水道，水冷盘与磨盘之间用螺栓锁紧，水冷盘的顶面与磨盘的底面之间通过密封胶密封;水冷盘的底部包括两个水口，水冷盘的两个水口与冷却水道连通，水冷盘的两个水口分别通过软管与回转环的两个水口连通。7.根据权利要求1所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，包括内齿圈升降机构，内齿圈升降机构包括端面凸轮、升降套、凸轮驱动机构和齿圈支架;端面凸轮松套在安装座的下部，底面由安装座的底座支承;升降套松套在安装座的中部，内齿圈固定在齿圈支架上，齿圈支架安装在升降套上；凸轮驱动机构安装在机架上，驱动端面凸轮转动，升降套由端面凸轮顶部的工作面驱动。8.根据权利要求7所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，端面凸轮的工作面包括两个中心对称的型面，升降套包括套筒和两套对称安装的随动机构，随动机构包括销轴和滚轮，销轴的内端固装在套筒的下部，滚轮安装在销轴的外部，滚轮由端面凸轮的型面支承；凸轮驱动机构包括提升气缸、推拉杆、驱动销和曲柄，提升气缸的缸体水平地固定在机架上，推拉杆的后端固定在提升气缸的活塞杆上；曲柄沿轴向包括扁长孔，曲柄的内端固定在端面凸轮上;驱动销固定在推拉杆的前部，穿过曲柄的扁长孔。9.根据权利要求8所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，凸轮驱动机构包括限位螺钉，推拉杆的前部包括扁长的槽孔，曲柄穿过推拉杆前部的槽孔•，限位螺钉安装在机架上，位于推拉杆的前方;所述的滚轮为滚针轴承。10.根据权利要求7所述的行星齿轮式双面研磨抛光机的下盘结构，其特征在于，包括内齿圈驱动机构，内齿圈驱动机构包括轴承套和内齿圈驱动齿轮，轴承套通过轴承安装在升降套的上部，齿圈支架固定在轴承套的上部，内齿圈驱动齿轮固定在轴承套的下部。

百度查询： 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 一种行星齿轮式双面研磨/抛光机的下盘结构